维修手册_RX-7R_SVC.pdf - 第140页
第 2 章 操作顺序书 2- 3. 校准 66 触摸［校准执行］。 5 进行 左右一次性更换台车上升 、前面护罩的锁定后，以传 感器测定基板面高度，显示 基准高度 的测定结果。 校准 正常完成后，显示［校准 处理正常完成。］的信息。 确认测定结果没有问题。 6 触摸［完毕］。 7
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
65
基板面
基板翘曲检测传感器转写调整治具板的拆卸完成后，显示如下画面。
把右侧装置传送轨道的基板压条位
置设定为
“
手按位置
”
。
触摸［装置内作业开始］。
1
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，
XY
轴向待机位置移动，进行左右一次性更
换台车下降、前面护罩解除锁定。
打开前面护罩，把右侧装置前后通道传送轨道的基板压条位置移动到
“
手按位置
” 2
( )
。
关闭前面护罩，触摸［装置内作业完成］。
3
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
触摸［完毕］。
4
显示右侧装置前后通道的基板面高度测定画面。
装置前面
第 3 轨道
第 1 轨道
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
66
触摸［校准执行］。
5
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，以传感器测定基板面高度，显示基准高度
的测定结果。
校准正常完成后，显示［校准处理正常完成。］的信息。
确认测定结果没有问题。
6
触摸［完毕］。
7
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
67
高度开关
触摸［校准执行］。
1
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩锁定，传感器对吸嘴高度检测开关的高度进行测定。
会显示基板面高度与吸嘴高度检测开关的高度差，确认在±
0.05
以内。如不符合规格入，请松
开螺丝调整差分，再次进行校准。
触摸［完毕］。
2