维修手册_RX-7R_SVC.pdf - 第141页
第 2 章 操作顺序书 2- 3. 校准 67 高度开关 触摸［校准执行］。 1 进行 左右一次性更换台车上升 、前面护罩 锁定 ，传感器对吸嘴高度检测 开关的高度 进行 测 定。 会显示基板面高 度与吸嘴高度检测开关的高 度差，确认在± 0.05 以内。 如不符合规格入，请松 开螺丝调整差分 ，再次进行校准。 触摸［完毕］。 2
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
66
触摸［校准执行］。
5
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，以传感器测定基板面高度，显示基准高度
的测定结果。
校准正常完成后，显示［校准处理正常完成。］的信息。
确认测定结果没有问题。
6
触摸［完毕］。
7
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
67
高度开关
触摸［校准执行］。
1
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩锁定，传感器对吸嘴高度检测开关的高度进行测定。
会显示基板面高度与吸嘴高度检测开关的高度差，确认在±
0.05
以内。如不符合规格入，请松
开螺丝调整差分，再次进行校准。
触摸［完毕］。
2
第
2
章
操作顺序书
2-3.
校准
68
治具芯片放置台
基板面的高度测定完成后，显示如下画面。从转写校准的治具放置台上拆下治具芯片。
触摸［开始拆卸］。
1
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定后，
XY
轴向待机位置移动，进行左右一次性更
换台车下降、前面护罩解除锁定。
打开前面护罩，从右侧装置转写校准治具放置台上拆下治具芯片。
2
关闭前面护罩，触摸［拆卸完成］。
3
进行左右一次性更换台车上升、前面护罩的锁定。
Tips
•
不进行这一操作顺序也可进到下一工序。
触摸［完毕］。
4
显示转写校准治具放置台的高度测定画面。
装置前面