XPF系统手册.pdf - 第213页
SYS-XPF-4.1S 4. 固有值 XPF 系统手册 201 _CamHeight BaseHeigh t × [ 说明 ] 测定高度基准位置实测高度 [ um] [ 标准设定值 ] ( 测定值 ) _CamHeight HeatMarkH eight × [ 说明 ] 测定高度热补正定位点位置实测高 度 [um] [ 标准设定值 ] ( 测定值 ) _CamHeight HeatMarkP arallax × [ 说明 ] 测定高…

4. 固有值 SYS-XPF-4.1S
200 XPF 系统手册
_Cam3UnitX_Low × R
[ 说明 ] 相机编号 3 视差补正侧单元值 X
[ 标准设定值 ] (测定值)
_Cam3UnitY_Low × R
[ 说明 ] 相机编号 3 视差补正侧单元值 Y
[ 标准设定值 ] (测定值)
_Cam4UnitX × R
[ 说明 ] 相机编号 4 单元值 X
[ 标准设定值 ] (测定值)
_Cam4UnitY × R
[ 说明 ] 相机编号 4 单元值 Y
[ 标准设定值 ] (测定值)
_Cam4UnitX_Low × R
[ 说明 ] 相机编号 4 视差补正侧单元值 X
[ 标准设定值 ] (测定值)
_Cam4UnitY_Low × R
[ 说明 ] 相机编号 4 视差补正侧单元值 Y
[ 标准设定值 ] (测定值)
_CamHeightResolutoi
n
×
[ 说明 ] 测定高度分辨率 [nm/pix]
[ 标准设定值 ] ( 测定值 )
_CamHeightBaseParal
lax
×
[ 说明 ] 测定高度基准位置视差量 [1/1000 pix]
[ 标准设定值 ] ( 测定值 )

SYS-XPF-4.1S 4. 固有值
XPF 系统手册 201
_CamHeightBaseHeigh
t
×
[ 说明 ] 测定高度基准位置实测高度 [um]
[ 标准设定值 ] ( 测定值 )
_CamHeightHeatMarkH
eight
×
[ 说明 ] 测定高度热补正定位点位置实测高度 [um]
[ 标准设定值 ] ( 测定值 )
_CamHeightHeatMarkP
arallax
×
[ 说明 ] 测定高度热补正定位点位置视差量 [1/1000 pix]
[ 标准设定值 ] ( 测定值 )
_Cam1Calibration 0 ~ 1 × R
[ 说明 ] 相机号码 1 歪曲像差补正
0:Off
1:On
[ 标准设定值 ] 0
_Cam2Calibration 0 ~ 1 × R
[ 说明 ] 相机号码 2 歪曲像差补正
0:Off
1:On
[ 标准设定值 ] 0
_Cam3Calibration 0 ~ 1 × R
[ 说明 ] 相机号码 3 歪曲像差补正
0:Off
1:On
[ 标准设定值 ] 0

4. 固有值 SYS-XPF-4.1S
202 XPF 系统手册
_Cam4Calibration 0 ~ 1 × R
[ 说明 ] 相机号码 4 歪曲像差补正
0:Off
1:On
[ 标准设定值 ] 0