NPM-D3维修手册.pdf - 第44页

NPM-D3 SERVICE MANUAL 4.2 XY Drive Axes Page 4-6 EJM6D3-MB-04SM-02.DOC 4.2 XY Drive Axes XY 軸駆動関 係 XY 轴驱动关 系 The NPM uses linear motors in the X and Y axes driving units. Since the linear motor has very powerful permanen…

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SERVICE MANUAL
4.1 Adjustment Criteria
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Unit Items to be checked Criteria Reference
Support unit
基板ホルダ部
基板支架部
Clamp plate height
クランププレート高さ
夹板的高度
117.5
0.05 mm
4.6.4
Clamp plate planarity
クランププレート平面度
夹板的平面度
0.05 mm
Level difference between clamp plate and support
plate
クランププレートと下受けプレートの段差
夹板与支撑板的高低差
3.6
0.05 mm
Support plate planarity
下受けプレート平面度
支撑板平面度
0.1 mm
Support holder rise time (From speed controller
close position to 3 rotate open)
基板ホルダ上昇時間
(
スピコン閉から
3
回転開
)
基板支架上升时间
(
从速度控制旋钮闭的位置向打开方向转动
3
周
)
1.1 s
Support holder fall time (From speed controller close
position to 3 rotate open)
基板ホルダ下降時間
(
スピコン閉から
3
回転開
)
基板支架下降时间
(
从速度控制旋钮闭的位置向打开方向转动
3
周
)
0.9 s
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4.2 XY Drive Axes
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4.2 XY Drive Axes
XY 軸駆動関係
XY 轴驱动关系
The NPM uses linear motors in the X and Y axes driving units.
Since the linear motor has very powerful permanent magnet, improper use of it might be hazardous even
when it is turned OFF (
).
Those who are using a cardiac pacemaker must not do work such as maintenance inside the safety
covers.
NPM
は
X
軸および、
Y
軸の駆動部にリニアモータを使用しています。
リニアモータは非常に強力な永久磁石を使用しているため、電源
OFF(
○
)
の状態であっても取り扱いを誤ると大変危険です。
心臓ペースメーカを使用している人は、メンテナンス作業など、安全カバー内での作業は行わないでください。
NPM
，在
X
轴以及
Y
轴的驱动部使用线性电机。
由于线性电机使用非常强力的永久磁石，如果使用不当，即使主电源处于
OFF (O)
状态，也将导致极度危险。
安装心脏起搏器的人员，请勿在安全盖内进行维护作业等的作业。
4.2.1 Linear Scale Adjustment
リニアスケールの調整
线性刻度的调整
Unit No.
N610052923AA
N610052924AA
4.2.1 Linear Scale
Adjustment
リニアスケールの調整
线性刻度的调整
4.2.2 Origin Adjustment
原点調整
原点调整
Clearance gauge 0.4 mm
PC (Signal adjustment program)
スキマゲージ
PC (
信号調整プログラム
)
间
隙
规
PC (
信号
调
整程序
)
1.
Linear Scale Head Installation
リニアスケールヘッドの取り付け
线性标尺头的安装
The correction value of the currently used scale is
registered in the head of the linear head. A correction
value is peculiar data for every scale. When exchange of
only linear head or scale is to be carried out, the correction
value of the scale used for the linear head needs to be
reregistered.
As a rule, exchange of only linear head or scale is not
impossible.
リニアヘッドには使用しているスケールの補正値が登録されています。補正値はスケール毎の固
有のデータで、リニアヘッドまたは、スケールのみを交換しようとした場合、リニアヘッドに使
用するスケールの補正値を再登録する必要があり、通常リニアヘッドまたは、スケールのみの交
換はできません。
在线性头中登录了所使用的标尺的补正值。补正值是每个标尺固有的数据，如果要单单更换线性头
或者标尺时，就需要再次向线性头登录所使用的标尺的补正值。通常，不能仅仅更换线性头或者标
尺。
1. Turn OFF the power and air.
電源・エアーを OFF にします。
将电源和空气置于 OFF。
2. Adjust the clearance between the linear head and scale using a clearance gauge. (Figs. 1 and 2)
スキマゲージを使用し、リニアヘッドとスケールのすき間を調整します。(Fig. 1, Fig. 2)
使用间隙规，调整线性头和标尺之间的间隙。(Fig. 1, Fig. 2)
Clearance: 0.40.1 mm
すき間
间隙
Fig. 1
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4.2 XY Drive Axes
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