SM411 Service Manual(CHI).pdf - 第109页
Calibration 3-55 10. 自动执行 Calibration 后完成 Calibration 则如下图显示结果 值，请点击 < 下个 > 按钮。 11. 显示 “Next, Remove the Calibrati on T ool From Head 1. Click [ Next] for Movi ng Down Head. After Movi ng, Remove the T ool Manually…
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的 Fiducoal Mark明显为止调整照明亮度后点击<下个> 按钮。
9. 校正是：用Fly-Camera识别校正 Tool底面的Fiducial Mark 2点后，校正 Tool放
到ANC顶面的校正 Tool位置，之后识别校正 Tool上面的边缘Fiducial Mark 2
点。
Calibration
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10. 自动执行 Calibration后完成 Calibration则如下图显示结果值，请点击 <下个>
按钮。
11. 显示“Next, Remove the Calibration Tool From Head 1. Click [Next] for Movi
ng Down Head. After Moving, Remove the Tool Manually.”消息。为了在磁头
1号的吸嘴支架手动除去Calibration Tool请点击 <下个> 按钮。
12. 请按照对Fly Camera1的校正方法，同样地从Fly Camera 2~6执行校正。 对所
有Fly Camera正常完成校正次序如下图显示结果值。
13. <Gantry> 组合框中选择Gantry2后，与Gantry1相同的方式执行 校正。结果值
在System Setup菜单的Camera对话框中可以确认。
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Fly Camera 的校正基准值为如下
FOV 16
ScaleX: 33.34~35.42 (μm/pixel)
ScaleY: 33.34~35.42 (μm/pixel)
FOV 16 (MEGA)
ScaleX: 15.39~16.35 (μm/pixel)
ScaleY: 15.39~16.35 (μm/pixel)
" 备注