SM411 Service Manual(CHI).pdf - 第386页
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Feeder Base & ANC
7-17
4. Shutter的Open状态下，移动Open感知传感器确认传感器良等状态来确认感知范
围。(上端传感器)
从Open 感知传感器的感知范围内的左侧末端向右移动1mm 进行组装。
5. 作业完成后 ANC 测试时, ANC快门的Open及Close反复执行50次以上，确认N
ozzle顶面有无刮痕。
6. 如果持续发生问题时, 请替换ANC Close/Open Sensor。
Feeder Base & ANC
8-1
第 8 章. Flat Cable 作业指南
SM411 Flat Cable构成为从Head Bracket到Y Frame Bracket，总共由20个 Round电
缆构成。
8.1. Bracket 电缆的功能及不良症状
No. Name 不良症状 备注
1
X Axis Sensor+Crash Sensor Cable
X Axis Home & Limit,Crash 动作不能
2
X Axis Motor Power Cable
X电动机动作不能
3
X Axis Encoder Cable
电动机异常动作
4
Fiducial Camera Data Cable
Fiducial Camera画像不良及识别不良
5
Fly Camera #1,2,3 Cable
Fly Camera 1号~3号画像不良 Use Spare
6
Fly Camera #4,5,6 Cable
Fly Camera 4号~6号画像不良 Use Spare
7
Fly Camera Power Cable
不显示Fly Camera 全部影像
8
Z1, Z2 Encoder Cable
Z1,Z2 异常动作及motor alarm
9
Z1, Z2 Power Cable
Z1,Z2 异常动作及动作不能
10
Z3, Z4 Encoder Cable
Z3,Z4 异常动作及motor alarm
11
Z3, Z4 Power Cable
Z3,Z4 异常动作及动作不能
12
Z5, Z6 Encoder Cable
Z5,Z6 异常动作及motor alarm
13
Z5, Z6 Power Cable
Z5,Z6 异常动作及动作不能
14
Mirror Swing Motor Encoder Cable
Fly Mirror 异常动作及motor alarm
15
Mirror Swing Motor PWR Cable
Fly Mirror 驱动不可
16
R1.2 Axis Step Motor Power Cable
R1, 2 轴轴动作异常/不能
17
R3 Axis Step Motor Power Cable
R3 轴动作异常/不能
18
Head Sensor + 24V Power Cable
Z, SW, R 轴home传感器驱动不良， HEAD电源
19
Head IO B’D CAN Signal Cable
驱动中 MPU STOP I/O 5号
20
Head Vacuum/Blow Sol. Cable
Sol动作异常/不能