SM411 Service Manual(CHI).pdf - 第205页

Head Module 4-81 97~370 Hz(9~14N))  没有测定仪的情况下，请参照邻近的其他 R 轴的同步齿型带进行设置。 10. 打开设备前面的 Main Switch ，启动 PC 。 11. 同样地执行到 Ball spline 替换次序 No.1 1~No.13 。 12. 需要以下 Calibration 作业。  Detect Z Offset 와 R Offset Calibration 执行 ( …

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8. 用固定螺丝（M3-4个）把Spindle Housing Ass’y固定在Bearing Plate。

9. 组装R轴同步齿型带时，请如下设置皮带张力。

 请使用Unitta测定仪，在皮带的中央测定同步齿型带的张力. (检查基准 - 2

Ball Spline

Spline Housing

Ass’y

ozzle Holde

Bearing Plate

Ball Spline Nut

Head Module

4-81

97~370 Hz(9~14N))

 没有测定仪的情况下，请参照邻近的其他R轴的同步齿型带进行设置。

10. 打开设备前面的Main Switch，启动 PC。

11. 同样地执行到Ball spline 替换次序 No.11~No.13。

12. 需要以下 Calibration作业。

 Detect Z Offset 와 R Offset Calibration 执行 (请参照 “3.2.10.2 Head Z / R

Offset Calibration“)

 Head Offset Calibration 执行 (请参照 “3.2.10.4 Head Offset Calibration”)

 Fly-Camera Sacle Calibration 执行 (请参照 “3.2.10.5 Fly Camera Scale

Calibration”)

 Fly-Camera Offset Calibration 执行 (请参照 “3.2.10.6 Fly Camera Offset

Calibration” )

 Fly to Fix Camera Offset Calibration 详细的事项请参考 “3.2.10.7 Fly to Fix

Camera & Fly Runout Offset Calibration (3-61

页

)”

 R-Axis Offset Calibration 执行 (请参照 “3.2.10.8 R-Axis Offset Calibration” )

13. 完成校正后，为确认是否正常贴装部件，请执行测试。

测定位置

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4.10. Vacuum/Blow

4.10.1. Vacuum/Blow 问题点发生时代表事例

 发生部件吸附关联问题

 部件贴装关联问题发生

4.10.2. 必要工具

 Blow Setting 齿垢(J6710006A)

 內 4mm Air Hose 150mm

 Straight Fitting

4.10.3. Vacuum 有关服务次序

4.10.3.1. 确认Main Air压力Setting

请确认Main Air压是否 “0.5Mpa。

因Blow设置时受Main Air压影响，请务必在Blow设置及Blow确认前把 Main A

ir压设置为“0.5Mpa”。

4.10.3.2. Head vacuum level的0点 Setting

 Setting 基准 : -20~20 (mmHg)

 请确认各Head的Vacuum Level(Current Level)。此时，所有Head的 Vaccum状

态为Off。

此操作为Vac uum 及Blow 设置的基准，如果结果值无法满足此基准, 请重新执

行Head Vacuum Level “0”点 Setting。

 调整Head I/F Board的可变电阻，使之符合Setting基准。

0.45~0.55Mpa 范围内

压力减小

逆时针方向

压力增加

顺时针方向