SM411 Service Manual(CHI).pdf - 第117页
Calibration 3-63 10. 请按照对磁头 1 的校正方法，从 Head 2~6 号执行校正。对所有磁头正常完成 Ca libration 次序，则如下图显示结果值。 11. 完成对 Gantry1 的校正后在 <Gantry> 组合框中选择 ‘Gan try2’ 以相同的方法执行 校正。结果值可在 Fly-Fix Offset 对话框中确认 。
Samsung Component Placer SM411 Service Manual
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示“准备标准。对于标准 ， 点击[下一步]” 消息 。 此时点击 <亮度>后在 “亮
度控制”对话框中 SMVision窗显示的Calibration Tool上的 Fiducial Mark明显为
止调整照明亮度后点击<下个>按钮。
8. 校正首先旋转45度校正 Tool的同时用Fly-Camera识别校正 Tool底面的Fiducial
Mark 2点。之后把校正 Tool位于ANC顶面的校正 Tool位置后，用Fiducial Ca
mera识别校正 Tool上面的Fiducial Mark 2点。
之后，重新Pick旋转90度放置于此位置后，用Fiducial Camera识别校正 Tool上
面的Fiducial Mark 2点。用此方法对一个Head以90度为单位进行旋转测量0
度、90度、180度、270度的四个方向。
9. 自动执行校正后。结束校正则如下图显示结果值。
Calibration
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10. 请按照对磁头1的校正方法，从Head 2~6号执行校正。对所有磁头正常完成 Ca
libration 次序，则如下图显示结果值。
11. 完成对Gantry1的校正后在<Gantry> 组合框中选择‘Gantry2’以相同的方法执行
校正。结果值可在Fly-Fix Offset对话框中确认。
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Fly to Fix Offset的校正基准值如下。
Offset X : -0.050 ~ 0.050(mm)
Offset Y : -0.050 ~ 0.050(mm)
Fly Runout Offset的校正基准值如下。
Offset X : -0.020 ~ 0.020(mm)
Offset Y : -0.020 ~ 0.020(mm)
" 备注