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第 三章 调整 3 - 17 第 五 步 检查各头的 漏 气 情况 如下 图 , 在 工作 头 上 放 置 一个 32 型 吸嘴 后 连 接一 块 真空表 , 测 量 真空 压 力 ( m m Hg )。 真空 压力 为“ - 5 00 mm Hg ” 或 更高 时 为 理 想 。 l 测 量 真空 压力 参考 如 测 量 的 真空 压力 低 于 “ - 500 mm Hg ” 时, 真空发 生 部 分可 能 阻塞 。如 果 没 有 阻…

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三章 调整
3-15
1.1.2. 检查真空发生器
以下过解释如何检查空发及通过空发器的真空度
是否需要护。检查真空发
气管的空表
第一步 按下急停
第二步 打开输出监示屏并选标头。
1) <3/4/C1 OUTPUT MONITOR>回车键。
2) 使用方向移动光标至H01(1 头真空)H022 头真空
第三步 按回车键使选定的头空。
真空发时,入监屏幕为“1
检查真空情况
吸嘴开口,检查真空情况
l 检查真空发生器
三章 调整
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参考
真空工作不正使用输出屏幕操作
l 急停
l 按气上的手动键以真空
式可行,的电气部分可损坏。检查以下置。如
,电线断裂DC24V 给错误I/O 输出
,气给错误气管或阀门损坏。检查空发器供管。
l 真空发生器手动按
三章 调整
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检查各头的情况
如下工作一个 32 吸嘴接一真空表真空
mmHg)。 真空压力为“-500mmHg更高
l 真空压力
参考
真空压力-500mmHg时,真空发分可阻塞。如
阻塞真空发器可故障
三章 调整
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1.1.3. 检查真空传感器功能
检查真空传感功能可按以下过行。
第一步 使目标工作头真空
参考前一分第一至
第二步 <3/4/MANUAL>-<3A VACUUM SENSOR>并按回车键。
传感器检当前真空度示于操显示器上。
l 真空度
第三步 检查真空传感器功能
吸嘴开口移开时,保真空度吸嘴开口
封闭空度增加
回输出监示屏幕关闭空。
检查光标在输出屏幕工作头真空度的目工作上,按回车
真空发器。
三章 调整
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1.2. 位置机器
机器调模式,<3/3/B1 ADJUST TARGET>-Position
键,以下窗口显示表明部件机器原点置及置。
屏幕上,可行示辑各项设置。描述了如何设置
工作主要。( 其他可按[F1]获取帮助息)
l 位置机器屏幕
参考
“位屏幕过选机器数模式中的<3/2/A1 SELECT
TARGET>-Position回车键显示。
小心
置数据机器前已正确设定。通加修改。必要的,按
节所正确操作。
三章 调整
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1.2.1. 超细角
单光学镜 QFP 时选模式,角度定了
角度应被调整特定角度。此数可设 0.01,0.02,0.03 0.04
推荐调整时设 0.01实际时设 0.02 0.04。使用[INS],[DEL]
修改
注意
数设置别角度然而也将延长,或
因没调整角度丢弃
1.2.2. 复合镜
复合镜Y
此数据为元工作通过复合镜移动速度mm/sec。此 速度
设置为“900更改
复合镜Z”,“ R
这些数据复合镜于各角度偏差Z合镜 2
R合镜 1。通设置为“0.00