YSH20_Ope_K.pdf - 第103页
2-45 2 4.2. 5 익스펜더 유니트 와 팔레 트 클램프 의 교환 웨 이 퍼 트레 이 체 인 저는 , 사 용하 는 매 거진 사이 즈 ( 다이싱 프레 임 사 이즈 ) 를 변경 할 경 우 , 익스펜 더 유니트 및 팔레트 클램프를 교 환할 필 요 가 있습니 다 . 다 음 과 같이 교환방법 에 대해서 설 명 합니 다 . c 주의 작 업순 서 중에커넥 터 를탈착하 는작 업 이있 으므로…
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2
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피치 이동에 대해서
피치이동은 ,「피치이동」탭내의화살표키를누르면 ,설정된피치별로카메라를이동시킬수가있습니다 .「피치이동보정」
을실행함으로서부품의중심을추종할수있게됩니다 .
피치이동을 할 때마다
십자 커서가 부품의
중심에 온다
이 버튼을 눌러 둔다커런트 좌표
티칭 화면
피치 이동
설정된 피치이동단위
28225-H0-0 0
「이동단위」
디폴트는「1 피치」입니다만 ,「2 피치」또는「5 피치」로도선택이가능합니다 .
「피치이동 보정」버튼
이버튼을유효하게하면 ,피치이동시에부품위치를인식해서화면중심에표시합니다 .단 ,피치이동보정을실행하기위
해서는 ,셋업화면의[ 부품 ] →「웨이퍼」→「기본」탭내의「I: 부품인식용마크」에마크번호가지정되어있을필요가
있습니다 .
여기를 설정한다
웨이퍼 정보
부품 인식용 마크
28226-H0- 00
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2
4.2.5 익스펜더 유니트와 팔레트 클램프의 교환
웨이퍼 트레이체인저는 , 사용하는 매거진 사이즈 ( 다이싱 프레임 사이즈 ) 를 변경할 경우 , 익스펜더 유니트
및 팔레트 클램프를 교환할 필요가 있습니다 . 다음과 같이 교환방법에 대해서 설명합니다 .
c
주의
작업순서중에커넥터를탈착하는작업이있으므로 ,반드시전원을차단시켜주십시오 .전원을차단시키지않고작업을하면 ,
고장의원인이됩니다 .
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익스펜더 유니트
1
장비의 전원을 OFF 합니다 .
2
하네스 ( 커넥터 ) 를 분리합니다 .
1. 장비뒷면의안전커버를오픈합니다 .
2. 아래그림의커넥터 (PLTSTG) 를분리합니다 .
3. 하네스브라켓을고정하고있는볼트 (4 개 ) 를1.5mm 렌치로분리합니다 .
익스펜더 유니트의 교환
스텐드 볼트
(4mm 렌치)
고정볼트는
좌우 대칭으로 사용
고정볼트/5-10 (3mm 렌치)
하네스 브라켓 고정볼트
(1.5mm 렌치)
커넥터
(PLT STG)
고정볼트/5-25
(3mm 렌치)
어태치먼트
익스펜드 링위치 결정부하네스 브라켓
27226-H0 - 00
3
어태치먼트를 고정하고 있는 볼트를 분리해 주십시오 .
1. 윗그림을참고해서스텐드볼트를4mm 렌치로분리해주십시오 .
2. 그밖의고정볼트를3mm 렌치로분리합니다 .
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어태치먼트와 익스펜드 링을 분리합니다 .
익스펜드링은 ,볼트등으로고정되어있지않아서그대로빼낼수있습니다 .
c
주의
어태치먼트를분리할때 ,웨이퍼카메라에부딪히거나익스펜드링을상처내지않도록주의해주십시오 .또 ,익스펜더유니트는
상당히무거우므로떨어뜨려서부상을입지않도록주의해주십시오 .
5
교환할 익스펜더 유니트를 배치합니다 .
1. 익스펜드링을위치결정핀에맞춰서끼웁니다 .
2. 어태치먼트를장착홀에맞춰서배치합니다 .
c
주의
익스펜더유니트를배치하기전에 ,이면에이물질등이부착되어있지않은지확인해주십시오 .
6
어태치먼트를 고정합니다 .
1. 좌우의스텐드볼트4 개를4mm 렌치로장착합니다 .
2. 남은고정볼트8 개를3mm 렌치로장착합니다 .
7
하네스 브라켓을 고정합니다 .
하네스브라켓을1.5mm 렌치를사용해서어태치먼트에고정해주십시오 .
8
커넥터를 접속합니다 .
커넥터 (PLTSTG) 를원위치에접속시켜주십시오 .