YSH20_Ope_K.pdf - 第104页

2-46 2 4 어 태 치 먼트 와 익 스 펜 드 링 을 분 리 합 니 다 . 익 스펜 드링 은 ,볼트등 으로고정 되 어있 지않아서그대 로빼낼수있 습니 다 . c 주의  어태 치 먼 트 를분리 할때 ,웨 이퍼카메 라 에부딪 히 거 나익 스펜 드링 을상처내 지않 도 록주의 해주십시 오 .또 ,익 스펜더유 니 트는 상당 히무 거 우 므로떨어 뜨려…

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4.2.5 익스펜더 유니트와 팔레트 클램프의 교환
웨이퍼 트레이체인저는 , 사용하는 매거진 사이즈 ( 다이싱 프레임 사이즈 ) 를 변경할 경우 , 익스펜더 유니트
및 팔레트 클램프를 교환할 필요가 있습니다 . 다음과 같이 교환방법에 대해서 설명합니다 .
c
주의
작업순서중에커넥터를탈착하는작업이있으므로 ,반드시전원을차단시켜주십시오 .전원을차단시키지않고작업을하면 ,
고장의원인이됩니다 .
█
익스펜더 유니트
1
장비의 전원을 OFF 합니다 .
2
하네스 ( 커넥터 ) 를 분리합니다 .
1. 장비뒷면의안전커버를오픈합니다 .
2. 아래그림의커넥터 (PLTSTG) 를분리합니다 .
3. 하네스브라켓을고정하고있는볼트 (4 개 ) 를1.5mm 렌치로분리합니다 .
익스펜더 유니트의 교환
스텐드 볼트
(4mm 렌치)
고정볼트는
좌우 대칭으로 사용
고정볼트/5-10 (3mm 렌치)
하네스 브라켓 고정볼트
(1.5mm 렌치)
커넥터
(PLT STG)
고정볼트/5-25
(3mm 렌치)
어태치먼트
익스펜드 링위치 결정부하네스 브라켓
27226-H0 - 00
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어태치먼트를 고정하고 있는 볼트를 분리해 주십시오 .
1. 윗그림을참고해서스텐드볼트를4mm 렌치로분리해주십시오 .
2. 그밖의고정볼트를3mm 렌치로분리합니다 .
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어태치먼트와 익스펜드 링을 분리합니다 .
익스펜드링은 ,볼트등으로고정되어있지않아서그대로빼낼수있습니다 .
c
주의
어태치먼트를분리할때 ,웨이퍼카메라에부딪히거나익스펜드링을상처내지않도록주의해주십시오 .또 ,익스펜더유니트는
상당히무거우므로떨어뜨려서부상을입지않도록주의해주십시오 .
5
교환할 익스펜더 유니트를 배치합니다 .
1. 익스펜드링을위치결정핀에맞춰서끼웁니다 .
2. 어태치먼트를장착홀에맞춰서배치합니다 .
c
주의
익스펜더유니트를배치하기전에 ,이면에이물질등이부착되어있지않은지확인해주십시오 .
6
어태치먼트를 고정합니다 .
1. 좌우의스텐드볼트4 개를4mm 렌치로장착합니다 .
2. 남은고정볼트8 개를3mm 렌치로장착합니다 .
7
하네스 브라켓을 고정합니다 .
하네스브라켓을1.5mm 렌치를사용해서어태치먼트에고정해주십시오 .
8
커넥터를 접속합니다 .
커넥터 (PLTSTG) 를원위치에접속시켜주십시오 .
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█
팔레트 클램프
1
장비의 전원을 OFF 합니다 .
2
웨이퍼 수납부를 탈착합니다 .
웨이퍼수납부의탈착순서에따라서웨이퍼수납부를탈착해주십시오 .
n
요점
웨이퍼 수납부의 탈착순서에 관해서는 , 웨이퍼 수납부의 도어를 열면 설명내용이 기재되어 있습니다 .
3
고정볼트를 분리합니다 .
4mm 렌치를사용해서팔레트클램프를고정하고있는3 군데의고정볼트를분리해주십시오 .
팔레트 클램프 교환
고정볼트 (3mm 렌치)
플러그센서 커넥터
팔레트 클램프
27227-H0 -0 0
4
커넥터를 분리합니다 .
좌우의실린더용센서커넥터를분리해주십시오 .
5
에어 호스를 분리합니다 .
주황색과검은색의에어호스를플러그부분에서분리해주십시오 .
6
팔레트 클램프를 교환합니다 .
Step2 에서Step5 의반대순서로팔레트클램프를교환해주십시오 .
n
요점
장착작업을 할 경우 , 센서 커넥터는 고정볼트를 장착하기 전에 접속해 두면 작업을 수월하게 할 수 있습니다 .