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iii  2. 각 장 의 내용 본서 는아 래 와같은장 으로구성되 어있 습니 다 . 안 전의 길잡 이 기계 의사용 상안전 에관한중 요 한내 용을설 명 합니다 . 본서에 대해 서 제 1 장 각부의 명 칭과 기능 각부 의명 칭과기 능등 ,조 작을시작하 기전에알아두어 야할항목에대해서설 명합니 다 . 제 2 장 기 본적인 조 작에 대 해 서 •  장비 를…



1.2 메뉴얼의 기재내용

아래에 각 메뉴얼의 기재내용에 대해서 설명합니다 .

■ 부속 메뉴얼의 기재내용

작업자용 메뉴얼 프로그래밍 메뉴얼

작업자용메뉴얼입니다 .장비전체의설명및운전조작에필

요한내용을설명합니다 .

안전의 길잡이

본서에 대해서

제 1 장 각부의 명칭과 기능

제 2 장 기본적인 조작에 대해서

제 3 장 생산시작과 종료

데이터의프로그래머용메뉴얼입니다 .장비를운전하기위한

데이터작성및편집방법을설명합니다 .

안전의 길잡이

본서에 대해서

제 1 장 기판데이터의 개요

제 2 장 각 기판 파라미터의 설정

제 3 장 기능의 활용

제4장 용도에 알맞는 데이터의 작성

제5장 에디터에 의한 편집

제6장 데이터의 관리

메인터넌스 메뉴얼

장비의성능을유지하기위한일상의유지보수용메뉴얼입니

다 .구입하신장비의노즐청소나샤프트청소 ,필터의교환

방법등을설명합니다 .

안전의 길잡이

머리말

제 1 장 유지보수에 대해서

제 2 장 일상 유지보수 항목

제 3 장 정기점검 ( 본체측 )

제 4 장 정기점검 ( 웨이퍼 트레이체인저 )

제 5 장 급유개소 일람

제 6 장 소모품의 교환방법

제 7 장 옵션장치의 취급

■ 옵션 메뉴얼의 기재내용

옵션 메뉴얼 사용자 메뉴얼

마운터 ,HybridPlacer,인쇄기 ,검사기등각각따로따로

작성되어있고 ,옵션취급에관해설명합니다 .

•

작업자용메뉴얼,프로그래밍,메인터넌스가1 권으로정리

되어있습니다 .( 표지가녹색 )

•

소프트웨어에관한기능설명및조작설명용메뉴얼입니

다 .( 표지가노란색 )

■ 그 밖의 메뉴얼 및 자료

MAINTENANCE PARTS LIST

장비성능을유지하기위해필요한유지

보수부품의파트리스트입니다 .

주의

메뉴얼에기재되어있는내용은 ,예고없이변경될가능성이있습니다 .부품명이나품번에관해서는 ,반드시대리점또는폐사에

확인해주실것을당부드립니다 .

iii



2. 각 장의 내용

본서는아래와같은장으로구성되어있습니다 .

안전의 길잡이

기계의사용상안전에관한중요한내용을설명합니다 .

본서에 대해서

제 1 장 각부의 명칭과 기능

각부의명칭과기능등 ,조작을시작하기전에알아두어야할항목에대해서설명합니다 .

제 2 장 기본적인 조작에 대해서

•

장비를조작함에있어 ,각버튼의사용법및각화면의내용에대해서설명합니다 .

•

기판을생산하기위해필요한기본적인작업이나컨베이어유니트의셋업전환등에대해서설명합니다 .

•

장비의기동에서종료까지의순서를설명합니다 .

•

대표적인에러와대처방법을소개합니다 .

제 3 장 생산시작과 종료

생산의시작에서종료까지의순서와생산중의모니터표시에관해설명합니다 .

부록

장비의사양

색인

알고싶은항목이어디에설명되어있는지를빨리찾을수있도록하기위해 ,본서의권말에색인이준비되어있습니다 .



3. 페이지 구성

본서의대표적인페이지구성을다음과같이표시합니다 .

27001-L0-00

■ 스텝

조작의순서를설명합니다 .

■ 스텝보충

스텝의상세또는스텝중의스텝을설명합니다 .

■ 일러스트 / 표 타이틀

일러스트와표의타이틀을왼쪽위에표시합니다 .

■ 요점 , 주의 , 경고문

「안전의길잡이」에서상세하게설명하고있습니다 .