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2-36 2 4.2.2 부품 을 매거진 에 세팅 한다 다 이 싱 프레 임 또는 웨 이 퍼 팔레트 ( 이후 , 웨 이퍼 부 품이 라 고 함 ) 를 매거진 에 세 팅 하 는 방법에 대 해서 다 음과 같 이 설 명 합니다 . 1 매 거 진 을 수 평 한 장 소 에 놓습 니 다 . 2 스톱퍼를 오 픈합니다 . 웨 이 퍼부품을넣 기쉽 도 록스톱퍼 를바 깥쪽 으로열 어주십 시 오 . 매거진…
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4.2 웨이퍼 트레이체인저
█
팔레트와 매거진의 취급에 관한 주의점
팔레트및매거진은 ,다음항목에주의해서취급해주십시오 .
•
팔레트및매거진은 ,먼지나기름등이없는깨끗한환경에서보관하여주십시오 .
•
팔레트나매거진을떨어뜨리거나 ,심한충격이나힘을주지않도록주의하여주십시오 .떨어뜨려서변형된경우에는사
용하지말아주십시오 .
•
팔레트나매거진의엣지에다치지않게주의하여주십시오 .
•
매거진을들어옮길때에는 ,매거진윗면의좌우핸들을양손으로잡아서기울지않게해주십시오 .
•
매거진은 ,스톱퍼 (4.2.2참조 ) 를끼운상태에서들어옮겨주십시오 .스톱퍼를끼우지않고옮기면 ,수납한팔레트가
매거진으로부터빠져나와서낙하할우려가있습니다 .
•
매거진을세팅할때에는 ,스톱퍼를원상태로한후에세팅해주십시오 .
4.2.1 다이싱 프레임 ( 부품 ) 을 트레이에 세팅한다
다이싱 프레임을 웨이퍼 팔레트에 세팅해서 사용할 경우의 세팅방법에 대해서 다음과 같이 설명합니다 .
1
링 누름대의 고정 너트를 떼어냅니다 .
스패너를사용해서4 군데에있는링누름대의고정너트를떼어내주십시오 .
2
링 누름대를 돌립니다 .
링누름대를위로들어올리면서다이싱프레임이닿지않는위치까지돌려주십시오 .
웨이퍼 팔레트의 세팅
다이싱 프레임
고정너트
링 누름대
노치
로케이트 핀
27218-H0 - 00
3
다이싱 프레임을 장착합니다 .
다이싱프레임을웨이퍼팔레트상에올려두고 ,회전시키면서노치 ( 대 / 소 ) 를로케이트핀에갖다댑니
다.
4
다이싱 프레임을 고정합니다 .
위치가결정되면링누름대를원상태로하고 ,고정너트로고정시켜주십시오 .
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2
4.2.2 부품을 매거진에 세팅한다
다이싱 프레임 또는 웨이퍼 팔레트 ( 이후 , 웨이퍼 부품이라고 함 ) 를 매거진에 세팅하는 방법에 대해서 다
음과 같이 설명합니다 .
1
매거진을 수평한 장소에 놓습니다 .
2
스톱퍼를 오픈합니다 .
웨이퍼부품을넣기쉽도록스톱퍼를바깥쪽으로열어주십시오 .
매거진에 세팅
스톱퍼
노치
27219-H0- 0 0
c
주의
웨이퍼팔레트를사용할경우에는 ,전용매거진이필요합니다 .
3
웨이퍼 부품을 삽입합니다 .
윗그림과같이노치 ( 대 / 소 ) 부를앞쪽으로해서 ,수평으로매거진단에삽입해주십시오 .
4
삽입 상태를 확인합니다 .
웨이퍼부품이정확하게수평으로삽입되어있는지확인해주십시오 .좌우의단을잘못해서삽입하면
부품공급시트러블이발생하므로주의해주십시오 .
5
스톱퍼를 닫습니다 .
매거진을들어서옮길때 ,웨이퍼부품이빠지지않도록스톱퍼를닫아두십시오 .
c
주의
매거진을세팅할때에는 ,반드시스톱퍼를열어서세팅해주십시오 .
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2
4.2.3 매거진의 교환과 부품보충
웨이퍼 트레이체인저 ( 이후 , 트레이체인저라고 함 ) 의 매거진 교환과 부품 보충을 실행할 경우에는 , 장비를
비상정지 상태로 할 필요가 있습니다 . 다음과 같이 교환 및 보충방법에 대해서 설명합니다 .
1
매거진을 교환위치로 이동시킵니다 .
트레이체인저의매거진포지션전환스위치를「SETUP」측으로합니다 .
스위치부의램프가소등하고 ,매거진이교환위치 ( 상측 ) 로이동합니다 .
매거진 포지션 전환 스위치
점등 소등
매거진 포지션
전환 스위치
27220-H0 - 00
e
2
비상정지 버튼을 누르고 커버를 오픈합니다 .
비상정지버튼을누르고본체쪽의커버를오픈합니다 .계속해서장비측의핸들을앞쪽으로당기고트레
이체인저측의커버를열어주십시오 .
3
매거진을 탈착합니다 .
매거진의측면또는상면에핸들이있으므로 ,양손으로핸들을단단히잡고탈착시켜주십시오 .
매거진의 탈착
핸들
(6 및 8인치는 상면에 위치)
매거진측 커버
272 21-H0- 0 0