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1-5 1 ■ 웨 이 퍼 취급 부 웨이퍼 트레이체인저 본체측 다이싱 프레임 인출용 후크 익스펜더 유니트 팔레트 클램프 웨이퍼 헤드 이젝트 유니트 웨이퍼 카메라 웨이퍼 카메라 이동용 핸들 271 06-H 0- 0 0 • 다 이싱 프 레 임 인 출용 후크 다이싱프레 임또 는웨 이퍼팔레 트 를매거 진 에서인 출 합니다 . • 웨 이 퍼 헤 드 웨 이퍼부품을흡착하 는회전 식헤 드 …

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2. 옵션 장치
옵션장치의명칭과기능에대해서설명합니다 .
■ 매거진 세팅부
웨이퍼 트레이체인저
매거진측
매거진 포지션
전환 스위치
잭업용 핸들
LZ축 브레이크 해제 버튼
고정용 노브
커버 개폐용 핸들
매거진
매거진 사이즈 어태치먼트
(6인치/8인치용/웨이퍼 팔레트)
27105-H0- 0 0
고정용 노브 ( 좌우 2 군데 )
매거진세팅부를본체에장착할경우에사용합니다 .
잭업용 핸들
이핸들을돌려서웨이퍼수납부를잭업하고 ,웨이퍼를인출가능한위치로합니다 .
커버 개폐용 핸들
매거진을교환할때 ,이핸들을앞으로당겨서커버를오픈합니다 .
LZ 축 브레이크 해제 버튼
일반시에는사용하지않습니다 .LZ 축브레이크의해제가필요할경우에사용합니다 .
매거진 포지션 전환 스위치
「SETUP」측으로하면엘레베이터부가매거진교환위치 ( 최상단 ) 까지이동합니다 .셋업시이외에는「AUTO」측으로설
정합니다 .
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■ 웨이퍼 취급부
웨이퍼 트레이체인저
본체측
다이싱 프레임 인출용 후크
익스펜더 유니트팔레트 클램프
웨이퍼 헤드
이젝트 유니트웨이퍼 카메라
웨이퍼 카메라 이동용 핸들
27106-H 0- 0 0
•
다이싱 프레임 인출용 후크
다이싱프레임또는웨이퍼팔레트를매거진에서인출합니다 .
•
웨이퍼 헤드
웨이퍼부품을흡착하는회전식헤드입니다 .A,B2 개의유니트에각각2 종류의노즐을장착할수있습니다 .
•
부품 고정부 ( 익스펜더 유니트 )
다이싱프레임부품및웨이퍼팔레트부품을끼워서고정합니다 .웨이퍼부품사이즈에따라서각각12 인치 ,8 인치 ,6
인치 ,웨이퍼팔레트용이있습니다 .
•
이젝트 유니트 ( 이젝터 핀 포함 )
웨이퍼부품의밑에서이젝터핀으로찔러올려서다이싱테이프로부터박리시키는기능을합니다 .
•
웨이퍼 카메라
웨이퍼인식용카메라입니다 .공장출하시에사용할웨이퍼의사이즈에따라시야가다른2 종류의카메라중에서선택해
서장착합니다 .
•
웨이퍼 카메라 이동용 핸들
웨이퍼카메라를이동시킬경우에이핸들을사용합니다 .
•
팔레트 클램프
웨이퍼부품을수납부로부터인출할때의가이드레일입니다 .또 ,다이싱프레임의기울림을교정하는기능도있습니다 .
익스펜더유니트와마찬가지로웨이퍼부품의사이즈별로준비되어있습니다 .
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■ 디핑 스테이션
스퀴지
컨트롤러 박스
디핑 테이블
막압 설정 게이지
클램프 레버
(토글식)
디핑 스테이션
로케이트 핀
27107-H0- 00
•
막압설정 게이지
스테이지프레임을상하로동작시켜서막압을조정할때에사용합니다 .
•
클램프 레버 , 로케이트 핀
토글식클램프와로케이트핀으로디핑스테이션의위치결정과고정을합니다 .
•
컨트롤러 박스
수동 / 자동의전환 ,리세트 ,스피드조정등을합니다 .
AUTO/MANU : 자동운전과수동조작을전환합니다 .
SPEED :디핑테이블의회전스피드를전환합니다 .(6 단계 )
SQUEEGEE :MENU 모드로디핑테이블을회전시킵니다 .
RESET : 알람시리세트를실행합니다 .
ALARM : 어떠한원인으로모터등에부하가걸렸을경우에점등합니다 .
ALARM
AUTO/MANU
SPEED
SQUEEGEE
RESET
컨트롤러 박스
27108-H0 -0 0