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2-35 2 4 .2 웨이퍼 트레이체인저 █ 팔 레 트와 매 거진의 취 급에 관한 주 의점 팔레 트및매거 진 은 ,다음항목에주의 해 서취 급 해주십시 오 . •  팔레트및매 거 진 은 ,먼지 나기름등이없 는깨 끗 한환 경 에서보 관하여주십시 오 . •  팔레트 나매 거진 을떨 어 뜨리 거 나 ,심한충격 이 나힘 을주 지않도 록주 의 하 여주십…

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2
4.1.3 장비에의 설치
피더를 장비에 장착하는 순서에 대해서 설명합니다 .
e
1
비상정지 버튼을 누르고 , 커버를 오픈합니다 .
장비의비상정지버튼을눌러서 ,동작을정지시켜주십시오 .
c
주의
일반적으로 ,피더의탈장착은비상정지상태에서커버를열고실행합니다.운전중의탈장착은불가능한구조로되어있습니다만,
경고를무시하고운전중에피더를장착하거나탈착하면 ,중대한사고를일으킬우려가있으므로주의해주십시오 .
2
피더 플레이트상의 이물질을 제거합니다 .
부품이나먼지가끼이면 ,피더가기울어서안정된흡착을할수없습니다 .
3
테이프 릴을 릴 홀더의 소정의 위치에 놔둡니다 .
4
피더를 장착합니다 .
핸들부를위로올리고피더의장착위치에맞춰서슬라이드시키면서로케이트핀구멍에끼워주십시오 .
피더장착
핸들부
로케이트 핀 구멍
레일
27217-H0- 00
5
피더의 장착상태를 확인합니다 .
•
탑테이프는느슨하지않는가 .
•
정확하게로케이트핀구멍안쪽까지끼워져있는가 .
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2
4.2 웨이퍼 트레이체인저
█
팔레트와 매거진의 취급에 관한 주의점
팔레트및매거진은 ,다음항목에주의해서취급해주십시오 .
•
팔레트및매거진은 ,먼지나기름등이없는깨끗한환경에서보관하여주십시오 .
•
팔레트나매거진을떨어뜨리거나 ,심한충격이나힘을주지않도록주의하여주십시오 .떨어뜨려서변형된경우에는사
용하지말아주십시오 .
•
팔레트나매거진의엣지에다치지않게주의하여주십시오 .
•
매거진을들어옮길때에는 ,매거진윗면의좌우핸들을양손으로잡아서기울지않게해주십시오 .
•
매거진은 ,스톱퍼 (4.2.2참조 ) 를끼운상태에서들어옮겨주십시오 .스톱퍼를끼우지않고옮기면 ,수납한팔레트가
매거진으로부터빠져나와서낙하할우려가있습니다 .
•
매거진을세팅할때에는 ,스톱퍼를원상태로한후에세팅해주십시오 .
4.2.1 다이싱 프레임 ( 부품 ) 을 트레이에 세팅한다
다이싱 프레임을 웨이퍼 팔레트에 세팅해서 사용할 경우의 세팅방법에 대해서 다음과 같이 설명합니다 .
1
링 누름대의 고정 너트를 떼어냅니다 .
스패너를사용해서4 군데에있는링누름대의고정너트를떼어내주십시오 .
2
링 누름대를 돌립니다 .
링누름대를위로들어올리면서다이싱프레임이닿지않는위치까지돌려주십시오 .
웨이퍼 팔레트의 세팅
다이싱 프레임
고정너트
링 누름대
노치
로케이트 핀
27218-H0 - 00
3
다이싱 프레임을 장착합니다 .
다이싱프레임을웨이퍼팔레트상에올려두고 ,회전시키면서노치 ( 대 / 소 ) 를로케이트핀에갖다댑니
다.
4
다이싱 프레임을 고정합니다 .
위치가결정되면링누름대를원상태로하고 ,고정너트로고정시켜주십시오 .
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2
4.2.2 부품을 매거진에 세팅한다
다이싱 프레임 또는 웨이퍼 팔레트 ( 이후 , 웨이퍼 부품이라고 함 ) 를 매거진에 세팅하는 방법에 대해서 다
음과 같이 설명합니다 .
1
매거진을 수평한 장소에 놓습니다 .
2
스톱퍼를 오픈합니다 .
웨이퍼부품을넣기쉽도록스톱퍼를바깥쪽으로열어주십시오 .
매거진에 세팅
스톱퍼
노치
27219-H0- 0 0
c
주의
웨이퍼팔레트를사용할경우에는 ,전용매거진이필요합니다 .
3
웨이퍼 부품을 삽입합니다 .
윗그림과같이노치 ( 대 / 소 ) 부를앞쪽으로해서 ,수평으로매거진단에삽입해주십시오 .
4
삽입 상태를 확인합니다 .
웨이퍼부품이정확하게수평으로삽입되어있는지확인해주십시오 .좌우의단을잘못해서삽입하면
부품공급시트러블이발생하므로주의해주십시오 .
5
스톱퍼를 닫습니다 .
매거진을들어서옮길때 ,웨이퍼부품이빠지지않도록스톱퍼를닫아두십시오 .
c
주의
매거진을세팅할때에는 ,반드시스톱퍼를열어서세팅해주십시오 .