YSH20_Ope_K.pdf - 第52页
1-15 1 5 .2 웨이퍼 트레이 체인저 로부터 의 공 급 웨 이 퍼 트레 이 체 인 저로 부터 부 품 을 공 급할 경 우의 셋 업 에 대해서 다 음과 같 이 설 명 합니다 . 매거 진 에 세 팅하 는 형 태로 는 , 다 음의 2 종 류 가 있습니 다 . • 직접웨 이 퍼부품 ( 다이싱프레 임 ) 을매 거 진에삽입 한다 . • 웨 이퍼팔레 트에세 팅된웨 이퍼부 품을…
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5. 부품 공급부
피더세팅부에는 ,테이프피더등을장착하는피더플레이트 ,옵션기기를구동하기위한전원커넥터나에어커
넥터가장착되어있습니다 .
5.1 피더 플레이트로부터의 공급
테이프 피더는 피더 플레이트상에 장착해서 , 장비로부터 공급되는 전원에 의해 구동합니다 .
피더부
전원 커넥터
[DUMP] 커넥터
에어 커넥터
피더 플레이트(10연)
전원/신호 접속부
SS피더
27117-H0- 0 0
각 헤드와 세팅번호
각테이블별로모든헤드로흡착가능합니다 .장비의각헤드로사용할수있는피더세팅번호는다음과같습니다 .
B
A
피더 플레이트 구성
10연 고정타입의 예
1∼10
1∼10
세팅 번호
구 성 헤드타입
B테이블 A테이블
10연 고정
1
2
101∼110
101∼110
1 2
1 2
1
10
101
110
27118-H0- 0 0
n
요점
부품 정보의 피더 위치 계산을 티칭 혹은 상대티칭으로 설정했을 경우는 , 상기와 다를 경우가 있습니다 .
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5.2 웨이퍼 트레이체인저로부터의 공급
웨이퍼 트레이체인저로부터 부품을 공급할 경우의 셋업에 대해서 다음과 같이 설명합니다 .
매거진에 세팅하는 형태로는 , 다음의 2 종류가 있습니다 .
•
직접웨이퍼부품 ( 다이싱프레임 ) 을매거진에삽입한다 .
•
웨이퍼팔레트에세팅된웨이퍼부품을매거진에삽입한다 .
A
U
T
O
S
E
T
U
P
웨이퍼 트레이체인저
부품준비
매거진 포지션
전환 스위치
매거진
스톱퍼
커버개폐 핸들
■ 매거진 세팅
■ 웨이퍼 부품 세팅
노치(소)
노치(대)
웨이퍼 부품
27119-H0 -0 0
█
12 인치 웨이퍼 부품을 사용할 경우
1
매거진을 교환위치 ( 상측 ) 까지 이동시킵니다 .
매거진포지션전환스위치를「SETUP」측으로전환해주십시오 .
e
2
안전 커버를 오픈합니다 .
비상정지버튼을누르고 ,본체의안전커버를오픈합니다 .계속해서커버개폐핸들을앞쪽으로당기고
매거진측의커버를열어주십시오 .
3
웨이퍼 부품을 윗 그림과 같이 세팅합니다 .
4
매거진을 세팅합니다 .
스톱퍼를열고 ,본체쪽으로향해서매거진을세팅해주십시오 .
5
커버를 닫습니다 .
매거진및본체쪽의커버를닫고비상정지를해제해주십시오 .
6
운전가능 상태로 합니다 .
매거진포지션전환스위치를「AUTO」측으로전환해주십시오 .매거진이운전가능위치까지이동합니
다.
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1
█
12 인치 웨이퍼 부품 이외의 부품을 사용할 경우
12 인치웨이퍼부품이외의6 인치 ,8 인치또는웨이퍼팔레트부품을사용할경우는 ,다음그림과같이매거진사이즈
어태치먼트를사용합니다 .
웨이퍼 트레이체인저
매거진 세팅 위치
12인치용 매거진
스톱퍼
8인치용 매거진
6인치용 매거진
노크핀
매거진 사이즈
어태치먼트
노크핀 홀
27120 -H0 -0 0
c
주의
12 인치사이즈의매거진을사용할때에는 ,반드시매거진사이즈어태치먼트를탈착한다음세팅해주십시오 .