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1-14 1 5 . 부 품 공 급 부 피 더세 팅 부에 는 ,테 이 프피 더등을장 착하 는피 더플레 이 트 ,옵 션기 기 를구동 하 기위 한전원커 넥 터 나에어커 넥 터 가장착되 어있 습니 다 . 5 . 1 피더 플레이 트 로부터의 공 급 테 이프 피 더 는 피 더 플 레 이 트상에 장착 해서 , 장비로 부터 공 급되 는 전 원 에 의 해 구 동합니다 . 피더부…
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1
4.3 노즐 스테이션 ( 옵션 )
노즐 스테이션이 겸비되어 있으면 , 자동 교환하기 위한 각종 노즐을 장착할 수 있습니다 .
노즐 스테이션과 대응하는 헤드 및 노즐타입은 다음과 같습니다 .
123456
7
8
9
101112
1415161718
20
2122232425
13
19
26
노즐 스테이션
양 테이블 공통
특주 노즐 영역
장비 앞쪽
15
10
6
27116-H0 -0 0
No.
헤드
노즐 타입 선단 직경 No.
헤드
노즐 타입 선단 직경
FF 4M FF 4M
1 2 4
TYPE401
φ6
14 - -
TYPE403 또는특주 φ6
2 1 3 15 - -
3 2 2 16 - -
4 1 1 17 - -
5 - - TYPE403 또는특주 18 - -
6 - - 특주 φ 10 19 - - 특주 φ 10
7 1 - 특주 φ 15 20 2 - 특주 φ 15
8 2 4
TYPE402
φ6
21 - -
TYPE403 또는특주 φ6
9 1 3 22 - -
10 2 2 23 - -
11 1 1 24 - -
12 - - TYPE403 또는특주 25 - -
13 - - 특주 φ 10 26 - - 특주 φ 10
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1
5. 부품 공급부
피더세팅부에는 ,테이프피더등을장착하는피더플레이트 ,옵션기기를구동하기위한전원커넥터나에어커
넥터가장착되어있습니다 .
5.1 피더 플레이트로부터의 공급
테이프 피더는 피더 플레이트상에 장착해서 , 장비로부터 공급되는 전원에 의해 구동합니다 .
피더부
전원 커넥터
[DUMP] 커넥터
에어 커넥터
피더 플레이트(10연)
전원/신호 접속부
SS피더
27117-H0- 0 0
각 헤드와 세팅번호
각테이블별로모든헤드로흡착가능합니다 .장비의각헤드로사용할수있는피더세팅번호는다음과같습니다 .
B
A
피더 플레이트 구성
10연 고정타입의 예
1∼10
1∼10
세팅 번호
구 성 헤드타입
B테이블 A테이블
10연 고정
1
2
101∼110
101∼110
1 2
1 2
1
10
101
110
27118-H0- 0 0
n
요점
부품 정보의 피더 위치 계산을 티칭 혹은 상대티칭으로 설정했을 경우는 , 상기와 다를 경우가 있습니다 .
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1
5.2 웨이퍼 트레이체인저로부터의 공급
웨이퍼 트레이체인저로부터 부품을 공급할 경우의 셋업에 대해서 다음과 같이 설명합니다 .
매거진에 세팅하는 형태로는 , 다음의 2 종류가 있습니다 .
•
직접웨이퍼부품 ( 다이싱프레임 ) 을매거진에삽입한다 .
•
웨이퍼팔레트에세팅된웨이퍼부품을매거진에삽입한다 .
A
U
T
O
S
E
T
U
P
웨이퍼 트레이체인저
부품준비
매거진 포지션
전환 스위치
매거진
스톱퍼
커버개폐 핸들
■ 매거진 세팅
■ 웨이퍼 부품 세팅
노치(소)
노치(대)
웨이퍼 부품
27119-H0 -0 0
█
12 인치 웨이퍼 부품을 사용할 경우
1
매거진을 교환위치 ( 상측 ) 까지 이동시킵니다 .
매거진포지션전환스위치를「SETUP」측으로전환해주십시오 .
e
2
안전 커버를 오픈합니다 .
비상정지버튼을누르고 ,본체의안전커버를오픈합니다 .계속해서커버개폐핸들을앞쪽으로당기고
매거진측의커버를열어주십시오 .
3
웨이퍼 부품을 윗 그림과 같이 세팅합니다 .
4
매거진을 세팅합니다 .
스톱퍼를열고 ,본체쪽으로향해서매거진을세팅해주십시오 .
5
커버를 닫습니다 .
매거진및본체쪽의커버를닫고비상정지를해제해주십시오 .
6
운전가능 상태로 합니다 .
매거진포지션전환스위치를「AUTO」측으로전환해주십시오 .매거진이운전가능위치까지이동합니
다.