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xxv  ■ 라 벨부 착 위치 경고표시 라벨 YWF-300 N 도어상부 N 도어내부 9 72 0 4 -H 0 -1 0

100%1 / 142
xxiv
벨부착 위치
경고표시 라벨
1
1
1
2
2
2
2. 분해금지
1.강자계 주의
N 컨트롤러 상면
N 컨트롤러 정면 패널부
N 컨트롤러부
N X축 리니어 스케일부
97203-H0-10
xxv
벨부착 위치
경고표시 라벨
YWF-300
N 도어상부
N 도어내부
9720 4 -H0 -10
KPH0127110
목차
본서에 대해
1. 본서의 취급 i
1.1 뉴얼의 구성에 대해 i
1.2 메뉴얼의 기재내용 ii
2. 각 장의 내용 iii
3. 페이지 구 iv
1 각부의 명칭과 기
1. 1-1
2. 션 장치 1-4
3.
1-7
3.1 키보드와 마 1-7
3.2 퍼레이션 패널 버튼 1-8
4. 헤드부 1-9
4.1
1-10
4.1.1 F 헤드 1-10
4.1.2 4M 드 1-10
4.1.3 부품인식카메라 1-11
4.2 노즐 1-12
4.2.1노즐 1-12
4.3 노즐 스테이션 ( ) 1-13
5. 품 공급부 1-14
5.1 더 플레이로부터의 공 1-14
5.2 웨이퍼 트레이체인저로부터의 공 1-15
6. 컨베이어 유니트 1-17
6.1 각 컨베이어 유니 1-17
6.2 컨베이어부의 센서 배 1-18
7. 축 구 1-19
2 기본적인 조작에 대해
1. 조작전에 2-1
1.1 비상정지의 해제방법 2-1
1.2 에러의 클리어 방법 2-2
1.3 대표적인 에러와 대처방 2-3