YSH20_Ope_K.pdf - 第98页

2-40 2 1 . 각도 티칭 1 부품을 세 팅 합 니 다 . 1 .  셋업화 면의 「유틸리 티」 내의 「트 레이카 운트 」 버튼을  누 릅니다 . 2. 티 칭 할부품을커 서 로지 정 합니 다 . 3. 「각 도티 칭 」 버 튼을누릅 니 다 .  부품이매 거 진 으로 부터인 출 되 어스테 이 지 에세 팅되 고 ,다음과같 은화면 이표시 됩 니 다 . XY축 기준의 …

100%1 / 142
2-39
2
4.2.4 웨이퍼 부품의 티칭
생산중에 웨이퍼 부품소진 등으로 인해 부품을 보충해야 할 경우 , 다음의 순서대로 티칭할 필요가 있습니
다 . 티칭은 「각도티칭」→「위치티칭」→「피치티칭」→「좌표티칭」의 순서대로 실행해 주십시오 .
티칭 화면은 , 「셋업화면」→「유틸리티」→「트레이 카운트」, 또는「부품화면」→「트레이」→ [ 웨이퍼 ] 로
부터 액세스할 수 있습니다 .
█
셋업화면 ( 트레이 카운트 ) 에서의 선택 예
1. 각도티칭
2. 위치티칭
3. 피치티칭
4. 좌표티칭
선택한 부품데이터
트레이 카운트 화면
28219-H0- 00
2-40
2
1. 각도 티칭
1
부품을 세팅합니다 .
1. 셋업화면의「유틸리티」내의「트레이카운트」버튼을누릅니다 .
2. 티칭할부품을커서로지정합니다 .
3.「각도티칭」버튼을누릅니다 .
부품이매거진으로부터인출되어스테이지에세팅되고 ,다음과같은화면이표시됩니다 .
XY축 기준의 선택
산출된 각도
티칭 화면
각도 티칭
28220-H0- 00
2
XY 축 기준을 선택합니다 .
일반적으로 ,디폴트의X 축기준을사용합니다 .
3
시점을 결정합니다 .
기준이되는위치를포인트또는커서티칭으로위치를맞추고 ,「시점」버튼을누릅니다 .부품의중앙은
정확하게산출되지않을가능성이있으므로 ,부품의각을지정해주십시오 .
부품이잘보이지않을경우에는 ,[ 웨이퍼조명 ] 버튼을눌러서밝기를조정해주십시오 .
4
종점을 결정합니다 .
X 방향으로이동해서종점위치를포인트또는커서티칭으로위치를맞추고 ,[ 종점 ] 버튼을누릅니다 .
각도티칭의 시점과 종점
시점(십자 커서의 중심)
화살표 키로 커서를 이동
종점(십자 커서의 중심)
27223-H0 -0 0
5
결과를 확인합니다 .
티칭결과가「웨이퍼각도」란에표시됩니다 .
2-41
2
2. 위치 티칭
n
요점
위치 티칭을 실행할 경우는 , 마크 정보에 웨이퍼 피듀셜이 설정되어 있으며 , [ 부품 ] →「트레이」→ [ 웨이퍼 ] →「옵션」탭내
의「E 위치보정 마크사용」이「미사용」이외로 설정되어 있어야 합니다 .
1
[ 위치티칭 ] 버튼을 누릅니다 .
2
마크를 선택합니다 .
마크선택대화창에서마크를선택해주십시오 .웨이퍼카메라가마크위치로이동합니다 .
위치티칭의 마크선택
2 8221-H0 - 0 0
3
부품을 티칭합니다 .
마크또는마크가되는부품의중심을티칭해주십시오 .
마크 또는 마크가 되는
부품을 십자 커서의
중심에 맞춘다
이 버튼을 눌러서 확정
티칭 화면
위치 티칭
마크 중심좌표
28222-H0 - 00