YSH20_Ope_K.pdf - 第106页
2-48 2 5 . 장 비 측의 설 정 피 더 의설 치 나트레 이 체 인저 의세 팅이완 료되 면 ,장비 측 의설정 을할필 요가있 습니 다 . 5 . 1 부 품 공 급 형태의 설정 테 이프 피 더 : 「 부 품 공 급형 태」및 「테 이프 종류 」, 「전 송피치 」를 설정 합니 다 . 웨이퍼 트 레이체인저 : 「 부 품 공 급형 태」 및 「 피더 타입 」 을 설정 합니 다 . 1…
2-47
2
█
팔레트 클램프
1
장비의 전원을 OFF 합니다 .
2
웨이퍼 수납부를 탈착합니다 .
웨이퍼수납부의탈착순서에따라서웨이퍼수납부를탈착해주십시오 .
n
요점
웨이퍼 수납부의 탈착순서에 관해서는 , 웨이퍼 수납부의 도어를 열면 설명내용이 기재되어 있습니다 .
3
고정볼트를 분리합니다 .
4mm 렌치를사용해서팔레트클램프를고정하고있는3 군데의고정볼트를분리해주십시오 .
팔레트 클램프 교환
고정볼트 (3mm 렌치)
플러그센서 커넥터
팔레트 클램프
27227-H0 -0 0
4
커넥터를 분리합니다 .
좌우의실린더용센서커넥터를분리해주십시오 .
5
에어 호스를 분리합니다 .
주황색과검은색의에어호스를플러그부분에서분리해주십시오 .
6
팔레트 클램프를 교환합니다 .
Step2 에서Step5 의반대순서로팔레트클램프를교환해주십시오 .
n
요점
장착작업을 할 경우 , 센서 커넥터는 고정볼트를 장착하기 전에 접속해 두면 작업을 수월하게 할 수 있습니다 .
2-48
2
5. 장비측의 설정
피더의설치나트레이체인저의세팅이완료되면 ,장비측의설정을할필요가있습니다 .
5.1 부품공급 형태의 설정
테이프 피더 :
「부품 공급형태」및「테이프 종류」,「전송피치」를 설정합니다 .
웨이퍼 트레이체인저 :
「부품 공급형태」및「피더타입」을 설정합니다 .
1
기판선택 화면을 표시합니다 .
[ 셋업 ] 버튼을눌러서셋업화면을열고 ,[ 기판선택 ] 버튼을누릅니다 .
셋업화면
[기판선택]버튼
[기판선택]버튼
28227-H0- 00
2
기판을 선택합니다 .
기판리스트에서해당기판을클릭하고 ,[ 선택 ] 버튼을눌러주십시오 .
「기판선택」화면
등록되어 있는 기판데이터 리스트로부터 선택한다
28228-H0-0 0
2-49
2
3
부품데이터 화면을 열고 , 부품을 선택합니다 .
[ 부품 ] 버튼을눌러서부품데이터화면을열고 ,화면상부의부품리스트에서대응부품을선택합니다 .
부품데이터 화면
28229-H0 -00
4
기본 파라미터를 표시합니다 .
「기본」탭을선택해서기본파라미터를열어주십시오 .
5
「부품 공급형태」를 설정합니다 .
「D부품공급형태」의입력란을더블클릭후풀다운메뉴에서부품공급형태를선택합니다 .
•
테이프 부품 : 테이프
•
트레이 부품 : 트레이
부품데이터 화면
부품공급형태
「D 부품공급형태」
28230-H 0- 0 0