YSH20_Ope_K.pdf - 第96页
2-38 2 4 웨 이 퍼 부품을 보 충 합 니 다 . 매 거 진채 로교환할경 우는 ,Ste p5 로진 행 해주십시 오 . 1 . 스톱 퍼 를오 픈 합니 다 . 2. 사 용완 료 한부품을떼 어내 고새 로운부 품 으로교 환합니 다 . 3. 스톱 퍼 를원 상태 로되 돌립 니 다 . 5 교 환 할 매 거 진 을 준 비 합 니 다 . 교환용매 거 진 을준 비 하 고…
2-37
2
4.2.3 매거진의 교환과 부품보충
웨이퍼 트레이체인저 ( 이후 , 트레이체인저라고 함 ) 의 매거진 교환과 부품 보충을 실행할 경우에는 , 장비를
비상정지 상태로 할 필요가 있습니다 . 다음과 같이 교환 및 보충방법에 대해서 설명합니다 .
1
매거진을 교환위치로 이동시킵니다 .
트레이체인저의매거진포지션전환스위치를「SETUP」측으로합니다 .
스위치부의램프가소등하고 ,매거진이교환위치 ( 상측 ) 로이동합니다 .
매거진 포지션 전환 스위치
점등 소등
매거진 포지션
전환 스위치
27220-H0 - 00
e
2
비상정지 버튼을 누르고 커버를 오픈합니다 .
비상정지버튼을누르고본체쪽의커버를오픈합니다 .계속해서장비측의핸들을앞쪽으로당기고트레
이체인저측의커버를열어주십시오 .
3
매거진을 탈착합니다 .
매거진의측면또는상면에핸들이있으므로 ,양손으로핸들을단단히잡고탈착시켜주십시오 .
매거진의 탈착
핸들
(6 및 8인치는 상면에 위치)
매거진측 커버
272 21-H0- 0 0
2-38
2
4
웨이퍼 부품을 보충합니다 .
매거진채로교환할경우는 ,Step5 로진행해주십시오 .
1. 스톱퍼를오픈합니다 .
2. 사용완료한부품을떼어내고새로운부품으로교환합니다 .
3. 스톱퍼를원상태로되돌립니다 .
5
교환할 매거진을 준비합니다 .
교환용매거진을준비하고 ,올바르게웨이퍼부품이세팅되어있는지확인합니다 .
매거진 셋업의 확인
삽입장소가 틀리다
■ 웨이퍼 팔레트용 매거진 ■ 매거진 사이즈 어태치먼트
127222-H0- 0 0
n
요점
교환할 매거진 사이즈가 12 인치 이외인 6 인치 , 8 인치 또는 웨이퍼 팔레트용 매거진의 경우에는 , 매거진사이즈 어태치먼트
가 필요합니다 .
6
매거진을 세팅합니다 .
매거진세팅부의각가이드에맞춰서매거진을세팅해주십시오 .
n
요점
매거진의 사이즈를 변경했을 경우, 익스펜더 유니트와 팔레트 클램프도 같이 변경할 필요가 있습니다. 교환 방법에 관해서는 ,
후술의「4.2.5 익스펜더 유니트와 팔레트 클램프의 교환」을 참조해 주십시오 .
7
운전가능 상태로 설정합니다 .
1. 본체및웨이퍼트레이체인저의커버를닫고「READY」버튼을누릅니다 .
2. 매거진포지션전환스위치를「AUTO」측으로합니다 .스위치가점등하고자동운전이가능한상태로
됩니다 .
2-39
2
4.2.4 웨이퍼 부품의 티칭
생산중에 웨이퍼 부품소진 등으로 인해 부품을 보충해야 할 경우 , 다음의 순서대로 티칭할 필요가 있습니
다 . 티칭은 「각도티칭」→「위치티칭」→「피치티칭」→「좌표티칭」의 순서대로 실행해 주십시오 .
티칭 화면은 , 「셋업화면」→「유틸리티」→「트레이 카운트」, 또는「부품화면」→「트레이」→ [ 웨이퍼 ] 로
부터 액세스할 수 있습니다 .
█
셋업화면 ( 트레이 카운트 ) 에서의 선택 예
1. 각도티칭
2. 위치티칭
3. 피치티칭
4. 좌표티칭
선택한 부품데이터
트레이 카운트 화면
28219-H0- 00