YSH20_Ope_K.pdf - 第39页
1-2 1 ■ 표 시등 현재 의장비의상태 를녹 / 황 / 적색등 으로표시 합니 다 . 장비의이 상이나에 러발생등을표시 등 의아래측에있 는버저 로알립 니 다 . ( 링 을좌우 로돌려서음량을조정 할수있 습니 다 .) 상태 예 녹색 적/백 황/청 워 밍업 ,자 동운 전 중 점등 비상 정지시 점등 시 스템계 열에러 발생시 버저ON • 오버커런 트 …
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1. 기계본체
기계본체의주요부의명칭과기능에대해설명합니다 .셋업완료된장비는다음과같이구성되어있습니다 .
각부의 명칭
■ 표시등(버저)
■ 안전커버
■ 에어/온도
조정부
□ SS피더
테이프 세팅 스테이션
■ 원에어 접속부/에어필터
■ 메인 스위치
■ 전원 접속부
■ Muzzle 플레이트
□ 웨이퍼 공급부(웨이퍼 트레이체인저)
■ USB포트
■ 조작/입력부
■：표준장치
□：옵션
□ 조작/입력부(뒷면)
□ 안전커버(뒷면)
■ 버큠 펌프용 필터
■ 기기간 접속 커넥터
■ 기기간 접속 커넥터
27100 -H0 -0 0
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■ 표시등
현재의장비의상태를녹 / 황 / 적색등으로표시합니다 .
장비의이상이나에러발생등을표시등의아래측에있는버저로알립니다 .( 링을좌우로돌려서음량을조정할수있습니
다 .)
상태 예 녹색 적/백 황/청
워밍업 ,자동운전중 점등
비상정지시 점등
시스템계열에러발생시
버저ON
•
오버커런트
•
2 차리미트오버
점등
운전 ,기판데이터계열에러발생시
버저ON
•
흡착에러 ,인식에러
•
데이터체크에러등
점등
부품사용불능상태
•
부품소진
•
TC 도어개방
점멸
■ 안전커버
이커버를열면비상정지와같은상태가되어 ,기계가동작을멈추게됩니다 .운전중에는이커버를닫은상태로사용해
주시기바랍니다 .
■ 설정에어 밸브 , 에어공급 / 배출 스위치
설정에어밸브로공급에어압을설정에어압으로조정합니다 .에어공급 / 배출스위치는장비내의잔압을개방합니다 .
에어압/온도 조정부
설정 에어밸브
에어공급/배출 스위치
1
2
3
4
6
5
장비 뒷면
27101-H0-0 0
■ 압력 표시계 / 온도조정 유니트
다음과같은압력 / 온도가되도록각각의값을설정해주십시오 .
표시 내용 설정값 에어다운 압력 비고
1 설정에어압력 0.40~0.41MPa 0.33MPa
2 내장버큠펌프압력 -76 .5kPa 이상 -53.3kPa
3 외장버큠펌프압력 -90kPa 이상 -80kPa 사용자가준비
4 웨이퍼히터부온도
5 웨이퍼히터부에어유량계
6 설정에어압력 ( 하중제어용 ) 0.40~0.41MPa 0.33MPa
■ 안전커버 ( 뒷면 )
웨이퍼트레이체인저의이젝터핀교환이나유지보수시에사용합니다 .
■ Muzzle 플레이트
기판반송부의입구와출구개구부의안전대책으로서사용합니다 .
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1
■ 디핑 스테이션용 커넥터
디핑스테이션의전원및신호접속용커넥터입니다 .좌우에각각1 군데씩배치되어있습니다 .
■ 피더세팅부
SS 피더 ( 테이프부품 )또는디핑스테이션을세팅합니다 .
■ 테이프 세팅 스테이션
SS 피더에테이프부품의세팅및 ,전송피치를변경할때사용합니다 .
원에어 접속부/피더관련
SS피더 세팅 스테이션
릴 홀더
피더세팅부
원에어 접속부
에어/미스트 필터
디핑 스테이션용
커넥터
27102-H0 -0 0
■ USB 포트
데이터의백업및버전업시킬때에사용합니다 .
■ 메인 스위치
장비의전원을ON/OFF 하기위한스위치입니다 .오른쪽으로돌리면전원이투입됩니다 .
c
주의
전원을재투입할경우에는 ,약 2 초이상기다린후에실시해주십시오 .
메인 스위치
USB포트
메인 스위치
디핑 스테이션용
커넥터
27103-H0 -0 0
■ 기기간 접속 커넥터
장비는후공정기로부터의신호를받으면기판을배출하고 ,다른기판을요구하기위해앞공정기에신호를보냅니다 .
NEXTINTERFACE커넥터는후공정기와접속하고 ,PREVIOUSINTERFACE커넥터는앞공정기와접속합니다 .
기기간 접속 커넥터
■ 버큠 펌프용
필터(커버 내부)
■ 기기간 접속 커넥터
（커버 내부）
■ 기기간 접속 커넥터
（커버내부）
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