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2-53 2 ■ 웨 이퍼 트레 이체인저 의 경우 1 「 웨 이 퍼 트 레 이 」 화면 을 표시 합 니 다 . [ 장 치 ] 버 튼을누 르고 「웨 이 퍼 트레 이 」 탭 을선 택 해 서 ,웨 이 퍼트레 이 체 인 저화면 을표시 해주십 시 오 . 2 트 레 이 를 인 출 해 서 확 인 합니 다 . [ 팔 레 트세 팅 ] 버 튼 으로팔레 트가정 확하 게인 출 되 는 지확 인 …

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2
5.2
피더나 트레체인를 장비에 세팅 완한 후 , 올바르게 동는지 확인합니 .
이프 피더의 경우
1
더 화면을 표시 .
[ ] 튼을누르고「피더」탭을선택해서피더화면을표시해주십 .
2
피더를 택합니다 .
동작확인할피를선합니 .
참고
피더 배치 , 피더 일람의 어느쪽이든 선이 가능합니다 .
피더화면
피더선택
피더일람
피더 배치도
28234-H 0- 0 0
3
동작을 확합니 .
화면오른쪽아래의[ ] 버튼을눌러 ,테프가정하게보지확해주십 .
피더화면
피더선택
[보내기]버튼
28235-H0- 0 0
n
요점
4mm 피치 이상의 피더를 세팅한 경 , 부품의 선두와 위치를 확인해 주십시 .
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이퍼 트레이체인저의 경우
1
화면을 표시 .
[ ] 튼을누르고「웨트레을선 ,웨퍼트레저화면을표시해주십 .
2
를 인서 확합니 .
[ 트세 ] 으로팔레트가정확하게인지확해주십 .
웨이퍼 트레이체인저 화면
팔레트 선택
[팔레트 세팅]버튼
팔레트 번호를 입력한다
28236-H0 - 00
3 생산 시작과 종료
목차
1. 생산을 시작한 3-1
1.1 「도중터 운전」을 사용한다 3-6
1.1.1 장되어있는데이터읽기 3-7
1.1.2 재플래그의편집 3-7
1.2 「블록스킵 기능」을 사용한다 3-8
1.2.1 블록의선택 3-9
1.2.2 운전의시작 3-10
2. 생산을 종료하고 전원을 OFF 3-11
3. 생산중의 모니터 표 3-13
3.1 생산 3-13
3.2 전체 3-15
3.3 출력 3-17
3.4 비젼 3-19
3.5 보정 3-21
3.6 RETRY( 시도 ) 3-21
3.7 피듀셜 3-22
3.8 배드마크 3-22
3.9 착위치 보정 3-23
3.10 율 경고 3-24