YSH20_Ope_K.pdf - 第92页

2-34 2 4. 1 .3 장비 에의 설치 피더 를 장비 에 장 착 하 는 순서 에 대 해서 설명 합니 다 . e 1 비 상정 지 버 튼 을 누 르고 , 커 버 를 오 픈합 니 다 . 장비 의비 상정 지버 튼 을눌러서 ,동작을정지 시 켜주십 시 오 . c 주의  일 반적으로 ,피 더의탈 장착 은비상정 지상태에 서커버 를열 고실 행 합니 다 .운 전 중 의탈장착 은…

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3
테이프 전송을 확인합니다 .
피더본체의「FEED」버튼을눌러서 ,테이프가보내지는지확인해주십시오 .
c
주의
흡착위치를맞출경우에는 ,「BACK」버튼을누르지마십시오 .
반드시「FEED」버튼으로테이프를전진시킨상태로해주십시오 .
참고
• 피더 본체의「FEED」,「BACK」버튼을 누를때의 전송피치는 , 설정한 전송피치와는 상관없이 2mm 의 전송피치로
됩니다 . 길게 누르면 연속 전송모드로 됩니다 .
• 「FUNC」+「FEED」버튼으로 , 설정피치의 전송폭으로 테이프를 보냅니다 .
「FEED」버튼,「BACK」버튼,「FUNC」버튼
「BACK」버튼
「FEED」버튼
「FUNC」버튼
27216 -H0 -0 0
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2
4.1.3 장비에의 설치
피더를 장비에 장착하는 순서에 대해서 설명합니다 .
e
1
비상정지 버튼을 누르고 , 커버를 오픈합니다 .
장비의비상정지버튼을눌러서 ,동작을정지시켜주십시오 .
c
주의
일반적으로 ,피더의탈장착은비상정지상태에서커버를열고실행합니다.운전중의탈장착은불가능한구조로되어있습니다만,
경고를무시하고운전중에피더를장착하거나탈착하면 ,중대한사고를일으킬우려가있으므로주의해주십시오 .
2
피더 플레이트상의 이물질을 제거합니다 .
부품이나먼지가끼이면 ,피더가기울어서안정된흡착을할수없습니다 .
3
테이프 릴을 릴 홀더의 소정의 위치에 놔둡니다 .
4
피더를 장착합니다 .
핸들부를위로올리고피더의장착위치에맞춰서슬라이드시키면서로케이트핀구멍에끼워주십시오 .
피더장착
핸들부
로케이트 핀 구멍
레일
27217-H0- 00
5
피더의 장착상태를 확인합니다 .
•
탑테이프는느슨하지않는가 .
•
정확하게로케이트핀구멍안쪽까지끼워져있는가 .
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2
4.2 웨이퍼 트레이체인저
█
팔레트와 매거진의 취급에 관한 주의점
팔레트및매거진은 ,다음항목에주의해서취급해주십시오 .
•
팔레트및매거진은 ,먼지나기름등이없는깨끗한환경에서보관하여주십시오 .
•
팔레트나매거진을떨어뜨리거나 ,심한충격이나힘을주지않도록주의하여주십시오 .떨어뜨려서변형된경우에는사
용하지말아주십시오 .
•
팔레트나매거진의엣지에다치지않게주의하여주십시오 .
•
매거진을들어옮길때에는 ,매거진윗면의좌우핸들을양손으로잡아서기울지않게해주십시오 .
•
매거진은 ,스톱퍼 (4.2.2참조 ) 를끼운상태에서들어옮겨주십시오 .스톱퍼를끼우지않고옮기면 ,수납한팔레트가
매거진으로부터빠져나와서낙하할우려가있습니다 .
•
매거진을세팅할때에는 ,스톱퍼를원상태로한후에세팅해주십시오 .
4.2.1 다이싱 프레임 ( 부품 ) 을 트레이에 세팅한다
다이싱 프레임을 웨이퍼 팔레트에 세팅해서 사용할 경우의 세팅방법에 대해서 다음과 같이 설명합니다 .
1
링 누름대의 고정 너트를 떼어냅니다 .
스패너를사용해서4 군데에있는링누름대의고정너트를떼어내주십시오 .
2
링 누름대를 돌립니다 .
링누름대를위로들어올리면서다이싱프레임이닿지않는위치까지돌려주십시오 .
웨이퍼 팔레트의 세팅
다이싱 프레임
고정너트
링 누름대
노치
로케이트 핀
27218-H0 - 00
3
다이싱 프레임을 장착합니다 .
다이싱프레임을웨이퍼팔레트상에올려두고 ,회전시키면서노치 ( 대 / 소 ) 를로케이트핀에갖다댑니
다.
4
다이싱 프레임을 고정합니다 .
위치가결정되면링누름대를원상태로하고 ,고정너트로고정시켜주십시오 .