YSH20_Ope_K.pdf - 第41页
1-4 1 2. 옵 션 장치 옵션장 치 의명 칭 과기 능에대 해서설 명 합니 다 . ■ 매거 진 세 팅 부 웨이퍼 트레이체인저 매거진측 매거진 포지션 전환 스위치 잭업용 핸들 LZ축 브레이크 해제 버튼 고정용 노브 커버 개폐용 핸들 매거진 매거진 사이즈 어태치먼트 (6인치/8인치용/웨이퍼 팔레트) 271 05-H0- 0 0 고 정 용 노브 ( 좌우 2 군데 ) 매거 진세 팅 부를…
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■ 디핑 스테이션용 커넥터
디핑스테이션의전원및신호접속용커넥터입니다 .좌우에각각1 군데씩배치되어있습니다 .
■ 피더세팅부
SS 피더 ( 테이프부품 )또는디핑스테이션을세팅합니다 .
■ 테이프 세팅 스테이션
SS 피더에테이프부품의세팅및 ,전송피치를변경할때사용합니다 .
원에어 접속부/피더관련
SS피더 세팅 스테이션
릴 홀더
피더세팅부
원에어 접속부
에어/미스트 필터
디핑 스테이션용
커넥터
27102-H0 -0 0
■ USB 포트
데이터의백업및버전업시킬때에사용합니다 .
■ 메인 스위치
장비의전원을ON/OFF 하기위한스위치입니다 .오른쪽으로돌리면전원이투입됩니다 .
c
주의
전원을재투입할경우에는 ,약 2 초이상기다린후에실시해주십시오 .
메인 스위치
USB포트
메인 스위치
디핑 스테이션용
커넥터
27103-H0 -0 0
■ 기기간 접속 커넥터
장비는후공정기로부터의신호를받으면기판을배출하고 ,다른기판을요구하기위해앞공정기에신호를보냅니다 .
NEXTINTERFACE커넥터는후공정기와접속하고 ,PREVIOUSINTERFACE커넥터는앞공정기와접속합니다 .
기기간 접속 커넥터
■ 버큠 펌프용
필터(커버 내부)
■ 기기간 접속 커넥터
（커버 내부）
■ 기기간 접속 커넥터
（커버내부）
27104-H 0- 0 0
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2. 옵션 장치
옵션장치의명칭과기능에대해서설명합니다 .
■ 매거진 세팅부
웨이퍼 트레이체인저
매거진측
매거진 포지션
전환 스위치
잭업용 핸들
LZ축 브레이크 해제 버튼
고정용 노브
커버 개폐용 핸들
매거진
매거진 사이즈 어태치먼트
(6인치/8인치용/웨이퍼 팔레트)
27105-H0- 0 0
고정용 노브 ( 좌우 2 군데 )
매거진세팅부를본체에장착할경우에사용합니다 .
잭업용 핸들
이핸들을돌려서웨이퍼수납부를잭업하고 ,웨이퍼를인출가능한위치로합니다 .
커버 개폐용 핸들
매거진을교환할때 ,이핸들을앞으로당겨서커버를오픈합니다 .
LZ 축 브레이크 해제 버튼
일반시에는사용하지않습니다 .LZ 축브레이크의해제가필요할경우에사용합니다 .
매거진 포지션 전환 스위치
「SETUP」측으로하면엘레베이터부가매거진교환위치 ( 최상단 ) 까지이동합니다 .셋업시이외에는「AUTO」측으로설
정합니다 .
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■ 웨이퍼 취급부
웨이퍼 트레이체인저
본체측
다이싱 프레임 인출용 후크
익스펜더 유니트팔레트 클램프
웨이퍼 헤드
이젝트 유니트웨이퍼 카메라
웨이퍼 카메라 이동용 핸들
27106-H 0- 0 0
•
다이싱 프레임 인출용 후크
다이싱프레임또는웨이퍼팔레트를매거진에서인출합니다 .
•
웨이퍼 헤드
웨이퍼부품을흡착하는회전식헤드입니다 .A,B2 개의유니트에각각2 종류의노즐을장착할수있습니다 .
•
부품 고정부 ( 익스펜더 유니트 )
다이싱프레임부품및웨이퍼팔레트부품을끼워서고정합니다 .웨이퍼부품사이즈에따라서각각12 인치 ,8 인치 ,6
인치 ,웨이퍼팔레트용이있습니다 .
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이젝트 유니트 ( 이젝터 핀 포함 )
웨이퍼부품의밑에서이젝터핀으로찔러올려서다이싱테이프로부터박리시키는기능을합니다 .
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웨이퍼 카메라
웨이퍼인식용카메라입니다 .공장출하시에사용할웨이퍼의사이즈에따라시야가다른2 종류의카메라중에서선택해
서장착합니다 .
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웨이퍼 카메라 이동용 핸들
웨이퍼카메라를이동시킬경우에이핸들을사용합니다 .
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팔레트 클램프
웨이퍼부품을수납부로부터인출할때의가이드레일입니다 .또 ,다이싱프레임의기울림을교정하는기능도있습니다 .
익스펜더유니트와마찬가지로웨이퍼부품의사이즈별로준비되어있습니다 .