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2-37 2 4.2. 3 매 거진 의 교 환 과 부 품보충 웨 이 퍼 트레 이 체 인 저 ( 이후 , 트레 이 체 인저 라고 함 ) 의 매거 진 교환과 부 품 보 충을 실행 할 경 우 에는 , 장비를 비상 정 지 상태 로 할 필 요 가 있습니 다 . 다 음 과 같이 교환 및 보 충방법 에 대 해서 설 명 합니다 . 1 매 거 진 을 교 환 위 치로 이 동 시 킵 니 다 . 트레 이 체 인 저…
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2
4.2.2 부품을 매거진에 세팅한다
다이싱 프레임 또는 웨이퍼 팔레트 ( 이후 , 웨이퍼 부품이라고 함 ) 를 매거진에 세팅하는 방법에 대해서 다
음과 같이 설명합니다 .
1
매거진을 수평한 장소에 놓습니다 .
2
스톱퍼를 오픈합니다 .
웨이퍼부품을넣기쉽도록스톱퍼를바깥쪽으로열어주십시오 .
매거진에 세팅
스톱퍼
노치
27219-H0- 0 0
c
주의
웨이퍼팔레트를사용할경우에는 ,전용매거진이필요합니다 .
3
웨이퍼 부품을 삽입합니다 .
윗그림과같이노치 ( 대 / 소 ) 부를앞쪽으로해서 ,수평으로매거진단에삽입해주십시오 .
4
삽입 상태를 확인합니다 .
웨이퍼부품이정확하게수평으로삽입되어있는지확인해주십시오 .좌우의단을잘못해서삽입하면
부품공급시트러블이발생하므로주의해주십시오 .
5
스톱퍼를 닫습니다 .
매거진을들어서옮길때 ,웨이퍼부품이빠지지않도록스톱퍼를닫아두십시오 .
c
주의
매거진을세팅할때에는 ,반드시스톱퍼를열어서세팅해주십시오 .
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2
4.2.3 매거진의 교환과 부품보충
웨이퍼 트레이체인저 ( 이후 , 트레이체인저라고 함 ) 의 매거진 교환과 부품 보충을 실행할 경우에는 , 장비를
비상정지 상태로 할 필요가 있습니다 . 다음과 같이 교환 및 보충방법에 대해서 설명합니다 .
1
매거진을 교환위치로 이동시킵니다 .
트레이체인저의매거진포지션전환스위치를「SETUP」측으로합니다 .
스위치부의램프가소등하고 ,매거진이교환위치 ( 상측 ) 로이동합니다 .
매거진 포지션 전환 스위치
점등 소등
매거진 포지션
전환 스위치
27220-H0 - 00
e
2
비상정지 버튼을 누르고 커버를 오픈합니다 .
비상정지버튼을누르고본체쪽의커버를오픈합니다 .계속해서장비측의핸들을앞쪽으로당기고트레
이체인저측의커버를열어주십시오 .
3
매거진을 탈착합니다 .
매거진의측면또는상면에핸들이있으므로 ,양손으로핸들을단단히잡고탈착시켜주십시오 .
매거진의 탈착
핸들
(6 및 8인치는 상면에 위치)
매거진측 커버
272 21-H0- 0 0
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2
4
웨이퍼 부품을 보충합니다 .
매거진채로교환할경우는 ,Step5 로진행해주십시오 .
1. 스톱퍼를오픈합니다 .
2. 사용완료한부품을떼어내고새로운부품으로교환합니다 .
3. 스톱퍼를원상태로되돌립니다 .
5
교환할 매거진을 준비합니다 .
교환용매거진을준비하고 ,올바르게웨이퍼부품이세팅되어있는지확인합니다 .
매거진 셋업의 확인
삽입장소가 틀리다
■ 웨이퍼 팔레트용 매거진 ■ 매거진 사이즈 어태치먼트
127222-H0- 0 0
n
요점
교환할 매거진 사이즈가 12 인치 이외인 6 인치 , 8 인치 또는 웨이퍼 팔레트용 매거진의 경우에는 , 매거진사이즈 어태치먼트
가 필요합니다 .
6
매거진을 세팅합니다 .
매거진세팅부의각가이드에맞춰서매거진을세팅해주십시오 .
n
요점
매거진의 사이즈를 변경했을 경우, 익스펜더 유니트와 팔레트 클램프도 같이 변경할 필요가 있습니다. 교환 방법에 관해서는 ,
후술의「4.2.5 익스펜더 유니트와 팔레트 클램프의 교환」을 참조해 주십시오 .
7
운전가능 상태로 설정합니다 .
1. 본체및웨이퍼트레이체인저의커버를닫고「READY」버튼을누릅니다 .
2. 매거진포지션전환스위치를「AUTO」측으로합니다 .스위치가점등하고자동운전이가능한상태로
됩니다 .