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1-17 1 6. 컨베이 어 유 니트 6 . 1 각 컨 베이어 유니트 기 판 을 고정 시키 기 위 해 사 용하 는 각종 컨 베 이 어 유니 트 에 대해서 설 명 합니 다 . 컨베이어 유니트 A테이블 메인스톱퍼 장비 정면 흐름방향 푸쉬업 플레이트 기판누름 플레이트(가동식) B테이블 메인스톱퍼 클램프식 고정유니트 27 1 21-H 0 -0 0 메 인 스톱 퍼 컨베 이어 내에반입 된기판은메 …
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12 인치 웨이퍼 부품 이외의 부품을 사용할 경우
12 인치웨이퍼부품이외의6 인치 ,8 인치또는웨이퍼팔레트부품을사용할경우는 ,다음그림과같이매거진사이즈
어태치먼트를사용합니다 .
웨이퍼 트레이체인저
매거진 세팅 위치
12인치용 매거진
스톱퍼
8인치용 매거진
6인치용 매거진
노크핀
매거진 사이즈
어태치먼트
노크핀 홀
27120 -H0 -0 0
c
주의
12 인치사이즈의매거진을사용할때에는 ,반드시매거진사이즈어태치먼트를탈착한다음세팅해주십시오 .
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6. 컨베이어 유니트
6.1 각 컨베이어 유니트
기판을 고정시키기 위해 사용하는 각종 컨베이어 유니트에 대해서 설명합니다 .
컨베이어 유니트
A테이블 메인스톱퍼
장비 정면
흐름방향
푸쉬업 플레이트
기판누름 플레이트(가동식)
B테이블 메인스톱퍼
클램프식 고정유니트
27 121-H0 -0 0
메인 스톱퍼
컨베이어내에반입된기판은메인스톱퍼의위치에서정지합니다 .
푸쉬업 플레이트
상승시 ,클램프식기판고정유니트와연동해서기판을끼웁니다 .
기판누릅 플레이트 ( 가동식 )
기판고정시에위에서부터기판의틀을누릅니다 .
클램프식 기판고정 유니트
푸쉬업플레이트와연동해서기판의틀을아래방향에서들어올려기판누름플레이트사이에끼워서고정합니다 .
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6.2 컨베이어부의 센서 배치
컨베이어부의 각 센서의 배치를 다음과 같이 표시합니다 .
기판센서의 배치
기판흐름 방향
기판흐름 방향
입구 기판검출
[N 0100404]
입구 기판검출
[N 01003F3]
대기위치 기판검출
[N 0100405]
대기위치 기판검출
[N 01003F1]
스테이지A 출구 기판검출
[N 0100411]
스테이지A 출구 기판검출
[N 0100405]
출구 기판검출
[N 01003F3]
출구 기판검출
[N 0100404]
스테이지B 기판 고정위치 기판검출
[N01003F2]
스테이지B 기판 고정위치 기판검출
[N01003F2]
스테이지A 기판 고정위치 기판검출
[N0100406]
스테이지A 기판 고정위치 기판검출
[N0100406]
스테이지B 출구 기판검출
[N 01003F1]
스테이지B 출구 기판검출
[N 01003F5]
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