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1-19 1 7. 축 구 성 본체및웨 이퍼트레 이체 인 저 의서 보모 터제 어에의 한축구 성 과동작방향 에대 해 서다 음 과같이설 명 합니 다 . █ 본체 의 축 구성 +방향 -방향 W1축 축 구성 반송방향(우→좌)의 예 RB2축 RB1축 ■ 헤드부 ■ 주축, 반송부 A테이블 헤드 유니트 B테이블 헤드 유니트 ZB1 ZB2 RA2축 RA1축 ZA1 ZA2 CZB축 CZ…
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1
6.2 컨베이어부의 센서 배치
컨베이어부의 각 센서의 배치를 다음과 같이 표시합니다 .
기판센서의 배치
기판흐름 방향
기판흐름 방향
입구 기판검출
[N 0100404]
입구 기판검출
[N 01003F3]
대기위치 기판검출
[N 0100405]
대기위치 기판검출
[N 01003F1]
스테이지A 출구 기판검출
[N 0100411]
스테이지A 출구 기판검출
[N 0100405]
출구 기판검출
[N 01003F3]
출구 기판검출
[N 0100404]
스테이지B 기판 고정위치 기판검출
[N01003F2]
스테이지B 기판 고정위치 기판검출
[N01003F2]
스테이지A 기판 고정위치 기판검출
[N0100406]
스테이지A 기판 고정위치 기판검출
[N0100406]
스테이지B 출구 기판검출
[N 01003F1]
스테이지B 출구 기판검출
[N 01003F5]
27122-H0 -0 0
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1
7. 축 구성
본체및웨이퍼트레이체인저의서보모터제어에의한축구성과동작방향에대해서다음과같이설명합니다 .
█
본체의 축 구성
+방향
-방향
W1축
축 구성
반송방향(우→좌)의 예
RB2축
RB1축
■ 헤드부
■ 주축, 반송부
A테이블 헤드 유니트B테이블 헤드 유니트
ZB1
ZB2
RA2축
RA1축
ZA1
ZA2
CZB축 CZA축
YB축
YA축
XA축
XB축
장비 정면
FF 헤드
4M 헤드
RB1축
ZB1 ZB2 ZB3 ZB4
RA1축
ZA1 ZA2 ZA3 ZA4
CZB축 CZA軸
27123-H0 - 00
█
각 축의 기능
축 명칭 기능
•
역할
XA,XB 축 테이블상에서컨베이어의기판반송방향과평행하게헤드를이동합니다 .
YA,YB 축 컨베이어의기판반송방향과직각방향으로헤드를이동합니다 .
FF
RA1,RA2,RB1,RB2 축 각헤드로노즐샤프트를회전시킵니다 .
ZA1,ZA2,ZB1,ZB2 축 각헤드로부품흡착
•
탑재헤드를상하로이동합니다 .
4M
RA1 축 ,RB1 축 각테이블에서노즐샤프트 (4 개 ) 를동시에회전시킵니다 .
Z A1~Z A4 축 ,ZB1~ZB4 축 각헤드로부품흡착
•
탑재헤드를상하로이동합니다 .
W1 축 컨베이어폭을변경합니다 .
CZA,CZB 축 피듀셜카메라유니트를상하로동작시킵니다 .
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1
█
웨이퍼 트레이체인저의 축 구성
+방향
-방향
축 구성
웨이퍼 트레이체인저
LCX축
LFX축
LCY축
LZ축
LH축
LP1축
LR1축
LP2축
LR2축
LA축
LE축
LU1축
LU2축
LY축
LX축
장비 정면
27124 -H0 -0 0
█
각 축의 기능
축 명칭 기능
•
역할
LZ 축 매거진을상하방향으로작동시킵니다 .
LH 축 공급기쪽에서웨이퍼를본체쪽으로인출합니다 .
LY 축 본체쪽에서웨이퍼를Y 방향으로작동시킵니다 .
LX 축 이젝터핀유니트를X 방향으로작동시킵니다 .
LCX 축 웨이퍼카메라를X 방향으로이동합니다 .
LCY 축 웨이퍼카메라및웨이퍼흡착헤드를Y 방향으로이동합니다 .
LU1 축 ,LU2 축 이젝터핀을상하로동작시킵니다 .
LE 축 다이싱시트를늘려서텐션을가합니다 .
LFX 축 웨이퍼흡착헤드를X 방향으로이동시킵니다 .
LP1 축 ,LP2 축 웨이퍼흡착헤드가웨이퍼를흡착할때에상하로동작합니다 .
LR1 축 ,LR2 축 2 개있는웨이퍼흡착헤드의회전을실행합니다 .
LA 축 웨이퍼를회전시킵니다 .