YSH20_Ope_K.pdf - 第97页
2-39 2 4.2. 4 웨이퍼 부 품의 티칭 생산 중에 웨이 퍼 부 품소 진 등 으 로 인해 부 품 을 보 충해 야 할 경 우 , 다 음의 순서 대로 티 칭 할 필 요 가 있습니 다 . 티칭 은 「각도 티칭 」→ 「위 치티 칭 」→ 「피치 티 칭 」→ 「좌표티 칭 」의 순서 대 로 실행 해 주 십시 오 . 티 칭 화면은 , 「셋 업화면 」→ 「 유틸 리티 」→ 「트레 이 카 운트 」, 또는…
2-38
2
4
웨이퍼 부품을 보충합니다 .
매거진채로교환할경우는 ,Step5 로진행해주십시오 .
1. 스톱퍼를오픈합니다 .
2. 사용완료한부품을떼어내고새로운부품으로교환합니다 .
3. 스톱퍼를원상태로되돌립니다 .
5
교환할 매거진을 준비합니다 .
교환용매거진을준비하고 ,올바르게웨이퍼부품이세팅되어있는지확인합니다 .
매거진 셋업의 확인
삽입장소가 틀리다
■ 웨이퍼 팔레트용 매거진 ■ 매거진 사이즈 어태치먼트
127222-H0- 0 0
n
요점
교환할 매거진 사이즈가 12 인치 이외인 6 인치 , 8 인치 또는 웨이퍼 팔레트용 매거진의 경우에는 , 매거진사이즈 어태치먼트
가 필요합니다 .
6
매거진을 세팅합니다 .
매거진세팅부의각가이드에맞춰서매거진을세팅해주십시오 .
n
요점
매거진의 사이즈를 변경했을 경우, 익스펜더 유니트와 팔레트 클램프도 같이 변경할 필요가 있습니다. 교환 방법에 관해서는 ,
후술의「4.2.5 익스펜더 유니트와 팔레트 클램프의 교환」을 참조해 주십시오 .
7
운전가능 상태로 설정합니다 .
1. 본체및웨이퍼트레이체인저의커버를닫고「READY」버튼을누릅니다 .
2. 매거진포지션전환스위치를「AUTO」측으로합니다 .스위치가점등하고자동운전이가능한상태로
됩니다 .
2-39
2
4.2.4 웨이퍼 부품의 티칭
생산중에 웨이퍼 부품소진 등으로 인해 부품을 보충해야 할 경우 , 다음의 순서대로 티칭할 필요가 있습니
다 . 티칭은 「각도티칭」→「위치티칭」→「피치티칭」→「좌표티칭」의 순서대로 실행해 주십시오 .
티칭 화면은 , 「셋업화면」→「유틸리티」→「트레이 카운트」, 또는「부품화면」→「트레이」→ [ 웨이퍼 ] 로
부터 액세스할 수 있습니다 .
█
셋업화면 ( 트레이 카운트 ) 에서의 선택 예
1. 각도티칭
2. 위치티칭
3. 피치티칭
4. 좌표티칭
선택한 부품데이터
트레이 카운트 화면
28219-H0- 00
2-40
2
1. 각도 티칭
1
부품을 세팅합니다 .
1. 셋업화면의「유틸리티」내의「트레이카운트」버튼을누릅니다 .
2. 티칭할부품을커서로지정합니다 .
3.「각도티칭」버튼을누릅니다 .
부품이매거진으로부터인출되어스테이지에세팅되고 ,다음과같은화면이표시됩니다 .
XY축 기준의 선택
산출된 각도
티칭 화면
각도 티칭
28220-H0- 00
2
XY 축 기준을 선택합니다 .
일반적으로 ,디폴트의X 축기준을사용합니다 .
3
시점을 결정합니다 .
기준이되는위치를포인트또는커서티칭으로위치를맞추고 ,「시점」버튼을누릅니다 .부품의중앙은
정확하게산출되지않을가능성이있으므로 ,부품의각을지정해주십시오 .
부품이잘보이지않을경우에는 ,[ 웨이퍼조명 ] 버튼을눌러서밝기를조정해주십시오 .
4
종점을 결정합니다 .
X 방향으로이동해서종점위치를포인트또는커서티칭으로위치를맞추고 ,[ 종점 ] 버튼을누릅니다 .
각도티칭의 시점과 종점
시점(십자 커서의 중심)
화살표 키로 커서를 이동
종점(십자 커서의 중심)
27223-H0 -0 0
5
결과를 확인합니다 .
티칭결과가「웨이퍼각도」란에표시됩니다 .