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제 2 장 기본적 인 조 작에 대해 서 목차 1 . 조작전에 2 - 1 1 . 1 비상 정지의 해제 방법 2- 1 1 .2 에러의 클리어 방 법 2- 2 1 .3 대표적인 에러와 대처방 법 2- 3 2. 조작화면과 각종버튼 2 - 8 2. 1 조작 화면의 기본 구성 2- 8 2.2 셋업화면 2 - 1 1 2.3 장 치화면 2- 1 3 3. 장비의 기동 과 종료 2 - 1 8 3. 1 시작전 …
1-20
1
█
웨이퍼 트레이체인저의 축 구성
+방향
-방향
축 구성
웨이퍼 트레이체인저
LCX축
LFX축
LCY축
LZ축
LH축
LP1축
LR1축
LP2축
LR2축
LA축
LE축
LU1축
LU2축
LY축
LX축
장비 정면
27124 -H0 -0 0
█
각 축의 기능
축 명칭 기능
•
역할
LZ 축 매거진을상하방향으로작동시킵니다 .
LH 축 공급기쪽에서웨이퍼를본체쪽으로인출합니다 .
LY 축 본체쪽에서웨이퍼를Y 방향으로작동시킵니다 .
LX 축 이젝터핀유니트를X 방향으로작동시킵니다 .
LCX 축 웨이퍼카메라를X 방향으로이동합니다 .
LCY 축 웨이퍼카메라및웨이퍼흡착헤드를Y 방향으로이동합니다 .
LU1 축 ,LU2 축 이젝터핀을상하로동작시킵니다 .
LE 축 다이싱시트를늘려서텐션을가합니다 .
LFX 축 웨이퍼흡착헤드를X 방향으로이동시킵니다 .
LP1 축 ,LP2 축 웨이퍼흡착헤드가웨이퍼를흡착할때에상하로동작합니다 .
LR1 축 ,LR2 축 2 개있는웨이퍼흡착헤드의회전을실행합니다 .
LA 축 웨이퍼를회전시킵니다 .
제 2 장 기본적인 조작에 대해서
목차
1. 조작전에 2-1
1.1 비상정지의 해제방법 2-1
1.2 에러의 클리어 방법 2-2
1.3 대표적인 에러와 대처방법 2-3
2. 조작화면과 각종버튼 2-8
2.1 조작화면의 기본구성 2-8
2.2 셋업화면 2-11
2.3 장치화면 2-13
3. 장비의 기동과 종료 2-18
3.1 시작전 점검을 한다 2-19
3.2 장비를 기동한다 2-20
3.3 워밍업을 실행한다 2-22
3.4 컨베이어 셋업 작업의 흐름 2-23
4. 부품공급 장치의 준비 2-25
4.1 테이프 피더 2-25
4.1.1 테이프의세팅 2-25
4.1.2 테이프전송피치설정 2-30
4.1.3 장비에의설치 2-34
4.2 웨이퍼 트레이체인저 2-35
4.2.1 다이싱프레임 ( 부품 ) 을트레이에세팅한다 2-35
4.2.2 부품을매거진에세팅한다 2-36
4.2.3 매거진의교환과부품보충 2-37
4.2.4 웨이퍼부품의티칭 2-39
4.2.5 익스펜더유니트와팔레트클램프의교환 2-45
5. 장비측의 설정 2-48
5.1 부품공급 형태의 설정 2-48
5.2 동작확인 2-52
2-1
2
1. 조작전에
장비의비상정지해제와에러클리어방법을설명합니다 .장비를조작하기전에읽으시기바랍니다 .
■ 기계 조작상의 주의사항
•
가동중에에어를OFF 하지말아주십시오 .경우에따라서는에어제어부가제어되지않은채 ,서보제어부가동작하면
장비를파손시킬우려가있습니다 .
•
보수작업을실행하기전에 ,반드시실린더내에공기압이남아있지않은지를확인해주십시오 .
■ 정전시의 주의사항
자동운전중에정전이된경우 ,재통전후의오동작및기계의파손을방지하기위해 ,메인스위치를OFF 로해주십시오 .
또 ,기판등이기계내에남아있을경우에는 ,제거해두십시오 .
1.1 비상정지의 해제방법
비상정지를 해제할 때는 아래와 같은 순서로 하시기 바랍니다 .
1
비상정지 버튼을 원상태로 되돌립니다 .
비상정지버튼이눌러져있는경우 ,오른쪽으로돌려서해제해주시기바랍니다 .
2
안전을 확인합니다 .
비상정지해제후의운전에대비해서 ,주위의안전을확인해주시기바랍니다 .
3
「READY」버튼을 누릅니다 .
「READY」버튼을눌러서서보 ON 의상태로합니다 .
c
주의
「READY」버튼은좌측의「ACTIVE」버튼이ON 으로되어있어야작동합니다 .
「READY」버튼
이 버튼을 눌러서 서보ON 상태로 한다
27200 -H0 - 00
4
표시를 확인합니다 .
표시등의적색램프가꺼지고조작화면의좌측상단 ( 스테이터스에리어 ) 의비상정지표시가꺼진것을
확인하시기바랍니다 .