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2-1 2 1. 조 작 전에 장비 의비 상정 지해제 와에 러클 리 어방법 을설 명 합니 다 .장비 를조 작하기전 에읽 으시기바랍니 다 . ■ 기계 조 작상의 주 의 사항 •  가동 중에에어 를OFF 하지말아주십시 오 .경 우에따라서 는에 어제어 부 가제 어 되 지않은 채 ,서보제 어 부 가동작하 면 장비 를파손시킬우려 가있 습니 다 . • …

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2 기본적인 조작에 대해
목차
1. 조작전에 2-1
1.1 비상정지의 해제방법 2-1
1.2 에러의 클리어 방 2-2
1.3 대표적인 에러와 대처방 2-3
2. 조작화면과 각종버튼 2-8
2.1 조작화면의 기본구성 2-8
2.2 셋업화면 2-11
2.3 치화면 2-13
3. 장비의 기동과 종료 2-18
3.1 시작전 점검을 한다 2-19
3.2 장비를 기동한 2-20
3.3 워밍업을 실행한다 2-22
3.4 컨베이어 셋업 작업의 흐름 2-23
4. 부품급 장치의 준비 2-25
4.1 테이프 피더 2-25
4.1.1 프의세팅 2-25
4.1.2 프전피치설정 2-30
4.1.3 장비에의설치 2-34
4.2 웨이퍼 트레이체인저 2-35
4.2.1 싱프레 ( 부품 ) 을트레에세한다 2-35
4.2.2 부품을매에세한다 2-36
4.2.3 의교환과부품충 2-37
4.2.4 퍼부품의티칭 2-39
4.2.5 스펜더유트와팔레트클램프의교환 2-45
5. 장비측의 설 2-48
5.1 급 형태의 설정 2-48
5.2 작확 2-52
2-1
2
1. 전에
장비의비상정지해제와에러클어방법을설합니 .장비를조작하기전에읽으시기바랍니 .
기계 조작상의 주사항
가동중에에어를OFF 하지말아주십시 .경우에따라서는에어제어가제지않은 ,서보제가동작하면
장비를파손시킬우려가있습니 .
수작업을실기전 ,반드시실더내에공압이남아있지않를확인해주십 .
전시의 주의사항
자동운전중에정이된경 ,재통전후의오동작및기계의파손을방기위해 ,메인스위치를OFF 로해주십 .
,기판등이기내에남아있을경우에 ,제거해두십시 .
1.1 비상정지의 해제방법
비상를 해제할 때는 아와 같은 순서로 하시기 바랍니다 .
1
상정지 버을 원로 되 .
상정지버튼이눌러져있는경우 ,오른쪽으로돌려서해해주기바랍니 .
2
안전을 확인합니다 .
상정지해후의운전에대 ,주위의안전을확인해주기바랍니 .
3
「READY」버튼을 누릅 .
「READY」버튼을눌러서서 ON 의상태로합니 .
c
주의
「READY」버튼은좌「ACTIVE」버튼이ON 으로되어있야작동합니 .
「READY」버튼
이 버튼을 눌러서 서보ON 상태로 한다
27200 -H0 - 00
4
표시를 확 .
표시의적프가꺼지고조작화면의좌측상단 ( 스테스에리어 ) 의비상정지표시가꺼진것
인하시기니다 .
2-2
2
1.2 에러의 클리어 방법
러가 발생하면 버저가 울고 경고화면이 표시됩니 . 에러를 클할 때는 아와 같은 순서로 하시
니다 .
1
버저를 멈춥니다 .
화면상의[ 저오프 ] 튼을눌러서버를OFF 해주십 .
2
의 내용을 확합니 .
화면의하단에에러용이표시되어있으므로 ,메모등의방법을이용해서확인해주십 .
3
에러화면을 클리어합니다 .
화면상의[ 러클리 ] 튼또는오퍼레이션패널의[ERRORCLEAR] 을눌러서에화면
클리어해주십 .
4
표시를 확 .
표시의황색프가꺼 ,조작화면의좌측상 ( 스테스에리어 ) 의에러표시가꺼진것을확인
해주십 .