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1-1 1 1. 기계 본체 기계본 체의  주 요 부의명 칭 과기 능에대 해설 명 합니 다 .셋 업 완 료 된장비 는다음과같이구성되 어있 습 니 다 . 각부의 명칭 ■ 표시등(버저) ■ 안전커버 ■ 에어/온도 조정부 □ SS피더 테이프 세팅 스테이션 ■ 원에어 접속부/에어필터 ■ 메인 스위치 ■ 전원 접속부 ■ Muzzle 플레이트 □ 웨이퍼 공급부(웨이퍼 트레이체인저) ■…

제 1 장 각부의 명칭과 기능

1. 기계본체 1-1

2. 옵션 장치 1-4

3. 조작

•

입력부 1-7

3.1 키보드와 마우스 1-7

3.2 오퍼레이션 패널 버튼 1-8

4. 헤드부 1-9

4.1 부품흡착

•

탑재헤드 1-10

4.1.1 F 헤드  1-10

4.1.2 4M 헤드 1-10

4.1.3 부품인식카메라 1-11

4.2 노즐종류 1-12

4.2.1 노즐  1-12

4.3 노즐 스테이션 ( 옵션 ) 1-13

5. 부품 공급부 1-14

5.1 피더 플레이트로부터의 공급 1-14

5.2 웨이퍼 트레이체인저로부터의 공급 1-15

6. 컨베이어 유니트 1-17

6.1 각 컨베이어 유니트 1-17

6.2 컨베이어부의 센서 배치 1-18

7. 축 구성 1-19

1-1

1. 기계본체

기계본체의주요부의명칭과기능에대해설명합니다 .셋업완료된장비는다음과같이구성되어있습니다 .

각부의 명칭

■ 표시등(버저)

■ 안전커버

■ 에어/온도

조정부

□ SS피더

테이프 세팅 스테이션

■ 원에어 접속부/에어필터

■ 메인 스위치

■ 전원 접속부

■ Muzzle 플레이트

□ 웨이퍼 공급부(웨이퍼 트레이체인저)

■ USB포트

■ 조작/입력부

■：표준장치

□：옵션

□ 조작/입력부(뒷면)

□ 안전커버(뒷면)

■ 버큠 펌프용 필터

■ 기기간 접속 커넥터

27100 -H0 -0 0

1-2

■ 표시등

현재의장비의상태를녹 / 황 / 적색등으로표시합니다 .

장비의이상이나에러발생등을표시등의아래측에있는버저로알립니다 .( 링을좌우로돌려서음량을조정할수있습니

다 .)

상태 예 녹색 적/백 황/청

워밍업 ,자동운전중 점등

비상정지시 점등

시스템계열에러발생시

버저ON

•

오버커런트

•

2 차리미트오버

점등

운전 ,기판데이터계열에러발생시

버저ON

•

흡착에러 ,인식에러

•

데이터체크에러등

점등

부품사용불능상태

•

부품소진

•

TC 도어개방

점멸

■ 안전커버

이커버를열면비상정지와같은상태가되어 ,기계가동작을멈추게됩니다 .운전중에는이커버를닫은상태로사용해

주시기바랍니다 .

■ 설정에어 밸브 , 에어공급 / 배출 스위치

설정에어밸브로공급에어압을설정에어압으로조정합니다 .에어공급 / 배출스위치는장비내의잔압을개방합니다 .

에어압/온도 조정부

설정 에어밸브

에어공급/배출 스위치

장비 뒷면

27101-H0-0 0

■ 압력 표시계 / 온도조정 유니트

다음과같은압력 / 온도가되도록각각의값을설정해주십시오 .

표시 내용 설정값 에어다운 압력 비고

1 설정에어압력 0.40~0.41MPa 0.33MPa

2 내장버큠펌프압력 -76 .5kPa 이상 -53.3kPa

3 외장버큠펌프압력 -90kPa 이상 -80kPa 사용자가준비

4 웨이퍼히터부온도

5 웨이퍼히터부에어유량계

6 설정에어압력 ( 하중제어용 ) 0.40~0.41MPa 0.33MPa

■ 안전커버 ( 뒷면 )

웨이퍼트레이체인저의이젝터핀교환이나유지보수시에사용합니다 .

■ Muzzle 플레이트

기판반송부의입구와출구개구부의안전대책으로서사용합니다 .