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iv  3 . 페이지 구 성 본서 의대 표적 인페 이 지구 성 을다음 과같이표시 합니 다 . 27 00 1 -L0-00 ■ 스텝 조작의순 서 를설 명 합니다 . ■ 스텝 보충 스텝 의상세또 는스텝 중 의스텝 을설 명 합니 다 . ■ 일러스 트 / 표 타 이틀 일 러 스트와표 의타이틀을왼 쪽위 에표시 합니 다 . ■ 요점 , 주의 , 경 고문 「안전의길 잡이…

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2. 각 장의 내용

본서는아래와같은장으로구성되어있습니다 .

안전의 길잡이

기계의사용상안전에관한중요한내용을설명합니다 .

본서에 대해서

제 1 장 각부의 명칭과 기능

각부의명칭과기능등 ,조작을시작하기전에알아두어야할항목에대해서설명합니다 .

제 2 장 기본적인 조작에 대해서

•

장비를조작함에있어 ,각버튼의사용법및각화면의내용에대해서설명합니다 .

•

기판을생산하기위해필요한기본적인작업이나컨베이어유니트의셋업전환등에대해서설명합니다 .

•

장비의기동에서종료까지의순서를설명합니다 .

•

대표적인에러와대처방법을소개합니다 .

제 3 장 생산시작과 종료

생산의시작에서종료까지의순서와생산중의모니터표시에관해설명합니다 .

부록

장비의사양

색인

알고싶은항목이어디에설명되어있는지를빨리찾을수있도록하기위해 ,본서의권말에색인이준비되어있습니다 .

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3. 페이지 구성

본서의대표적인페이지구성을다음과같이표시합니다 .

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■ 스텝

조작의순서를설명합니다 .

■ 스텝보충

스텝의상세또는스텝중의스텝을설명합니다 .

■ 일러스트 / 표 타이틀

일러스트와표의타이틀을왼쪽위에표시합니다 .

■ 요점 , 주의 , 경고문

「안전의길잡이」에서상세하게설명하고있습니다 .

제 1 장 각부의 명칭과 기능

1. 기계본체 1-1

2. 옵션 장치 1-4

3. 조작

•

입력부 1-7

3.1 키보드와 마우스 1-7

3.2 오퍼레이션 패널 버튼 1-8

4. 헤드부 1-9

4.1 부품흡착

•

탑재헤드 1-10

4.1.1 F 헤드  1-10

4.1.2 4M 헤드 1-10

4.1.3 부품인식카메라 1-11

4.2 노즐종류 1-12

4.2.1 노즐  1-12

4.3 노즐 스테이션 ( 옵션 ) 1-13

5. 부품 공급부 1-14

5.1 피더 플레이트로부터의 공급 1-14

5.2 웨이퍼 트레이체인저로부터의 공급 1-15

6. 컨베이어 유니트 1-17

6.1 각 컨베이어 유니트 1-17

6.2 컨베이어부의 센서 배치 1-18

7. 축 구성 1-19