YSH20_Ope_K.pdf - 第43页

1-6 1 ■ 디핑 스 테 이 션 스퀴지 컨트롤러 박스 디핑 테이블 막압 설정 게이지 클램프 레버 (토글식) 디핑 스테이션 로케이트 핀 271 07-H0- 00 • 막압설 정 게 이지 스테 이 지프레 임 을상하로동작시 켜서막압을조정 할때에사용합니 다 . • 클램 프 레 버 , 로케 이 트 핀 토 글식클램 프와로 케 이 트핀 으 로디 핑스테 이션 의위 치결 정과고 정 …

100%1 / 142
1-5
1
퍼 취급
웨이퍼 트레이체인저
본체측
다이싱 프레임 인출용 후크
익스펜더 유니트팔레트 클램프
웨이퍼 헤드
이젝트 유니트웨이퍼 카메라
웨이퍼 카메라 이동용 핸들
27106-H 0- 0 0
이싱 프임 인출용 후크
다이싱프레임또는웨이퍼팔레를매거에서인합니다 .
퍼 헤
이퍼부품을흡착하는회전식헤 .A,B2 개의유니에각각2 종류의노즐을장착할수있습니 .
부품 고 ( 스펜더 유 )
다이싱프레임부품및웨퍼팔레트부품을끼워서고합니 .웨이퍼부품사이즈에따라서각각12 ,8 인치 ,6
,웨이퍼팔레트용이있습니 .
이젝트 유 ( 이젝터 핀 포 )
이퍼부품의밑에서이젝터핀으로찔러올려서다이싱테이프로부터박리시는기능을합니 .
퍼 카메라
이퍼인용카메라입니 .공장출하시에사용할웨퍼의사이즈에따라시야가다른2 종류의카메라중에서선
서장착합니 .
퍼 카메라 이동용 핸
이퍼카메라를이동킬경우에이핸들을사용합니 .
팔레트 클램프
이퍼부품을수로부터인할때의가이드레 .또 ,다이싱프레의기울림을교는기도있습니 .
스펜더유트와마찬가로웨퍼부품의사이즈별로준비되어있습니 .
1-6
1
디핑 스
스퀴지
컨트롤러 박스
디핑 테이블
막압 설정 게이지
클램프 레버
(토글식)
디핑 스테이션
로케이트 핀
27107-H0- 00
막압설정 게이지
스테지프레을상하로동작시켜서막압을조정할때에사용합니 .
클램프 레 , 로케트 핀
글식클램프와로트핀로디핑스테이션의위치결정과고을합니 .
트롤러 박스
수동 / 의전환 ,리세 ,스피드조정등을합니다 .
AUTO/MANU : 자동운전과수동조작을전환합니 .
SPEED :디핑테블의회전스피를전환합니 .(6 단계 )
SQUEEGEE :MENU 모드로디핑테블을회전 .
RESET : 알람시리트를실합니 .
ALARM : 어떠한원인으로모터등에부하가걸을경우에점등합니 .
ALARM
AUTO/MANU
SPEED
SQUEEGEE
RESET
컨트롤러 박스
27108-H0 -0 0
1-7
1
3. 조작
입력
본장치의앞과뒷에조과데터입력에사용는오퍼션패널버 ,키보드 ,마우스가장착되어있
습니 .이의기능에대해서설명합니 .
오퍼레이션 디스플레이
(터치 패널은 옵션)
마우스
키보드
오퍼레이션 패널 버튼
조작입력부
27109-H0 - 00
3.1 키보 우스
본체 , 조작이나 데터의 편집 등에 사용하는 키드와 마우스가 표로 장착어 있습니 . 화면상
의 아콘 버튼이나 파라터 항목을 선할 때 , 마우스 커서를 맞추고 마우스의 좌측 버튼을 누
다.
마우스 격납 장소
키보드와 마우스
키보드 뒷면
마우스
이 볼트를
느슨하게 한다
마우스 패드
키보드 회전
27110-H0 - 00
c
주의
마우스는 ,낙하해서파손될위험이있으므로 ,사용하지않을경우에는격해주십시 .