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1-6 1 ■ 디핑 스 테 이 션 스퀴지 컨트롤러 박스 디핑 테이블 막압 설정 게이지 클램프 레버 (토글식) 디핑 스테이션 로케이트 핀 271 07-H0- 00 • 막압설 정 게 이지 스테 이 지프레 임 을상하로동작시 켜서막압을조정 할때에사용합니 다 . • 클램 프 레 버 , 로케 이 트 핀 토 글식클램 프와로 케 이 트핀 으 로디 핑스테 이션 의위 치결 정과고 정 …

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1
■ 웨이퍼 취급부
웨이퍼 트레이체인저
본체측
다이싱 프레임 인출용 후크
익스펜더 유니트팔레트 클램프
웨이퍼 헤드
이젝트 유니트웨이퍼 카메라
웨이퍼 카메라 이동용 핸들
27106-H 0- 0 0
•
다이싱 프레임 인출용 후크
다이싱프레임또는웨이퍼팔레트를매거진에서인출합니다 .
•
웨이퍼 헤드
웨이퍼부품을흡착하는회전식헤드입니다 .A,B2 개의유니트에각각2 종류의노즐을장착할수있습니다 .
•
부품 고정부 ( 익스펜더 유니트 )
다이싱프레임부품및웨이퍼팔레트부품을끼워서고정합니다 .웨이퍼부품사이즈에따라서각각12 인치 ,8 인치 ,6
인치 ,웨이퍼팔레트용이있습니다 .
•
이젝트 유니트 ( 이젝터 핀 포함 )
웨이퍼부품의밑에서이젝터핀으로찔러올려서다이싱테이프로부터박리시키는기능을합니다 .
•
웨이퍼 카메라
웨이퍼인식용카메라입니다 .공장출하시에사용할웨이퍼의사이즈에따라시야가다른2 종류의카메라중에서선택해
서장착합니다 .
•
웨이퍼 카메라 이동용 핸들
웨이퍼카메라를이동시킬경우에이핸들을사용합니다 .
•
팔레트 클램프
웨이퍼부품을수납부로부터인출할때의가이드레일입니다 .또 ,다이싱프레임의기울림을교정하는기능도있습니다 .
익스펜더유니트와마찬가지로웨이퍼부품의사이즈별로준비되어있습니다 .

1-6
1
■ 디핑 스테이션
스퀴지
컨트롤러 박스
디핑 테이블
막압 설정 게이지
클램프 레버
(토글식)
디핑 스테이션
로케이트 핀
27107-H0- 00
•
막압설정 게이지
스테이지프레임을상하로동작시켜서막압을조정할때에사용합니다 .
•
클램프 레버 , 로케이트 핀
토글식클램프와로케이트핀으로디핑스테이션의위치결정과고정을합니다 .
•
컨트롤러 박스
수동 / 자동의전환 ,리세트 ,스피드조정등을합니다 .
AUTO/MANU : 자동운전과수동조작을전환합니다 .
SPEED :디핑테이블의회전스피드를전환합니다 .(6 단계 )
SQUEEGEE :MENU 모드로디핑테이블을회전시킵니다 .
RESET : 알람시리세트를실행합니다 .
ALARM : 어떠한원인으로모터등에부하가걸렸을경우에점등합니다 .
ALARM
AUTO/MANU
SPEED
SQUEEGEE
RESET
컨트롤러 박스
27108-H0 -0 0

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1
3. 조작
•
입력부
본장치의앞면과뒷면에조작과데이터입력에사용하는오퍼레이션패널버튼 ,키보드 ,마우스가장착되어있
습니다 .이들의기능에대해서설명합니다 .
오퍼레이션 디스플레이
(터치 패널은 옵션)
마우스
키보드
오퍼레이션 패널 버튼
조작・입력부
27109-H0 - 00
3.1 키보드와 마우스
본체에는 , 조작이나 데이터의 편집 등에 사용하는 키보드와 마우스가 표준으로 장착되어 있습니다 . 화면상
의 아이콘 버튼이나 파라미터 항목을 선택할 때에는 , 마우스 커서를 맞추고 마우스의 좌측 버튼을 누릅니
다.
마우스 격납 장소
키보드와 마우스
키보드 뒷면
마우스
이 볼트를
느슨하게 한다
마우스 패드
키보드 회전
27110-H0 - 00
c
주의
마우스는 ,낙하해서파손될위험이있으므로 ,사용하지않을경우에는격납해주십시오 .