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2-47 2 █ 팔레트 클램프 1 장 비 의 전 원 을 OFF 합니 다 . 2 웨 이 퍼 수 납 부를 탈착 합 니 다 . 웨 이 퍼수 납 부의탈 착순 서에따라 서웨 이 퍼수 납 부를탈착해주십시 오 . n 요점 웨 이퍼 수납부의 탈착순서에 관해서는 , 웨이 퍼 수납부의 도어를 열 면 설명 내용이 기재되 어 있 습니다 . 3 고정볼 트 를 분리합니 다 . 4mm 렌치 를사 용해서…
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어태치먼트와 익스펜드 링을 분리합니다 .
익스펜드링은 ,볼트등으로고정되어있지않아서그대로빼낼수있습니다 .
c
주의
어태치먼트를분리할때 ,웨이퍼카메라에부딪히거나익스펜드링을상처내지않도록주의해주십시오 .또 ,익스펜더유니트는
상당히무거우므로떨어뜨려서부상을입지않도록주의해주십시오 .
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교환할 익스펜더 유니트를 배치합니다 .
1. 익스펜드링을위치결정핀에맞춰서끼웁니다 .
2. 어태치먼트를장착홀에맞춰서배치합니다 .
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주의
익스펜더유니트를배치하기전에 ,이면에이물질등이부착되어있지않은지확인해주십시오 .
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어태치먼트를 고정합니다 .
1. 좌우의스텐드볼트4 개를4mm 렌치로장착합니다 .
2. 남은고정볼트8 개를3mm 렌치로장착합니다 .
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하네스 브라켓을 고정합니다 .
하네스브라켓을1.5mm 렌치를사용해서어태치먼트에고정해주십시오 .
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커넥터를 접속합니다 .
커넥터 (PLTSTG) 를원위치에접속시켜주십시오 .
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█
팔레트 클램프
1
장비의 전원을 OFF 합니다 .
2
웨이퍼 수납부를 탈착합니다 .
웨이퍼수납부의탈착순서에따라서웨이퍼수납부를탈착해주십시오 .
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요점
웨이퍼 수납부의 탈착순서에 관해서는 , 웨이퍼 수납부의 도어를 열면 설명내용이 기재되어 있습니다 .
3
고정볼트를 분리합니다 .
4mm 렌치를사용해서팔레트클램프를고정하고있는3 군데의고정볼트를분리해주십시오 .
팔레트 클램프 교환
고정볼트 (3mm 렌치)
플러그센서 커넥터
팔레트 클램프
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4
커넥터를 분리합니다 .
좌우의실린더용센서커넥터를분리해주십시오 .
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에어 호스를 분리합니다 .
주황색과검은색의에어호스를플러그부분에서분리해주십시오 .
6
팔레트 클램프를 교환합니다 .
Step2 에서Step5 의반대순서로팔레트클램프를교환해주십시오 .
n
요점
장착작업을 할 경우 , 센서 커넥터는 고정볼트를 장착하기 전에 접속해 두면 작업을 수월하게 할 수 있습니다 .
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5. 장비측의 설정
피더의설치나트레이체인저의세팅이완료되면 ,장비측의설정을할필요가있습니다 .
5.1 부품공급 형태의 설정
테이프 피더 :
「부품 공급형태」및「테이프 종류」,「전송피치」를 설정합니다 .
웨이퍼 트레이체인저 :
「부품 공급형태」및「피더타입」을 설정합니다 .
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기판선택 화면을 표시합니다 .
[ 셋업 ] 버튼을눌러서셋업화면을열고 ,[ 기판선택 ] 버튼을누릅니다 .
셋업화면
[기판선택]버튼
[기판선택]버튼
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기판을 선택합니다 .
기판리스트에서해당기판을클릭하고 ,[ 선택 ] 버튼을눌러주십시오 .
「기판선택」화면
등록되어 있는 기판데이터 리스트로부터 선택한다
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