YSH20_Ope_K.pdf - 第40页

1-3 1 ■ 디핑 스 테 이 션 용 커 넥 터 디 핑스테 이션 의전원및신 호접 속용커넥 터 입 니 다 .좌우 에각각1 군데씩배 치 되어있 습 니 다 . ■ 피 더 세팅부 SS 피더 ( 테이 프부품 )또는디 핑스테 이션 을세 팅 합니 다 . ■ 테 이 프 세 팅 스 테 이 션 SS 피더 에테 이 프부품의세 팅및 ,전송 피 치 를변경 할때사용합니 다 …

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■ 표시등
현재의장비의상태를녹 / 황 / 적색등으로표시합니다 .
장비의이상이나에러발생등을표시등의아래측에있는버저로알립니다 .( 링을좌우로돌려서음량을조정할수있습니
다 .)
상태 예 녹색 적/백 황/청
워밍업 ,자동운전중 점등
비상정지시 점등
시스템계열에러발생시
버저ON
•
오버커런트
•
2 차리미트오버
점등
운전 ,기판데이터계열에러발생시
버저ON
•
흡착에러 ,인식에러
•
데이터체크에러등
점등
부품사용불능상태
•
부품소진
•
TC 도어개방
점멸
■ 안전커버
이커버를열면비상정지와같은상태가되어 ,기계가동작을멈추게됩니다 .운전중에는이커버를닫은상태로사용해
주시기바랍니다 .
■ 설정에어 밸브 , 에어공급 / 배출 스위치
설정에어밸브로공급에어압을설정에어압으로조정합니다 .에어공급 / 배출스위치는장비내의잔압을개방합니다 .
에어압/온도 조정부
설정 에어밸브
에어공급/배출 스위치
1
2
3
4
6
5
장비 뒷면
27101-H0-0 0
■ 압력 표시계 / 온도조정 유니트
다음과같은압력 / 온도가되도록각각의값을설정해주십시오 .
표시 내용 설정값 에어다운 압력 비고
1 설정에어압력 0.40~0.41MPa 0.33MPa
2 내장버큠펌프압력 -76 .5kPa 이상 -53.3kPa
3 외장버큠펌프압력 -90kPa 이상 -80kPa 사용자가준비
4 웨이퍼히터부온도
5 웨이퍼히터부에어유량계
6 설정에어압력 ( 하중제어용 ) 0.40~0.41MPa 0.33MPa
■ 안전커버 ( 뒷면 )
웨이퍼트레이체인저의이젝터핀교환이나유지보수시에사용합니다 .
■ Muzzle 플레이트
기판반송부의입구와출구개구부의안전대책으로서사용합니다 .
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■ 디핑 스테이션용 커넥터
디핑스테이션의전원및신호접속용커넥터입니다 .좌우에각각1 군데씩배치되어있습니다 .
■ 피더세팅부
SS 피더 ( 테이프부품 )또는디핑스테이션을세팅합니다 .
■ 테이프 세팅 스테이션
SS 피더에테이프부품의세팅및 ,전송피치를변경할때사용합니다 .
원에어 접속부/피더관련
SS피더 세팅 스테이션
릴 홀더
피더세팅부
원에어 접속부
에어/미스트 필터
디핑 스테이션용
커넥터
27102-H0 -0 0
■ USB 포트
데이터의백업및버전업시킬때에사용합니다 .
■ 메인 스위치
장비의전원을ON/OFF 하기위한스위치입니다 .오른쪽으로돌리면전원이투입됩니다 .
c
주의
전원을재투입할경우에는 ,약 2 초이상기다린후에실시해주십시오 .
메인 스위치
USB포트
메인 스위치
디핑 스테이션용
커넥터
27103-H0 -0 0
■ 기기간 접속 커넥터
장비는후공정기로부터의신호를받으면기판을배출하고 ,다른기판을요구하기위해앞공정기에신호를보냅니다 .
NEXTINTERFACE커넥터는후공정기와접속하고 ,PREVIOUSINTERFACE커넥터는앞공정기와접속합니다 .
기기간 접속 커넥터
■ 버큠 펌프용
필터(커버 내부)
■ 기기간 접속 커넥터
（커버 내부）
■ 기기간 접속 커넥터
（커버내부）
27104-H 0- 0 0
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2. 옵션 장치
옵션장치의명칭과기능에대해서설명합니다 .
■ 매거진 세팅부
웨이퍼 트레이체인저
매거진측
매거진 포지션
전환 스위치
잭업용 핸들
LZ축 브레이크 해제 버튼
고정용 노브
커버 개폐용 핸들
매거진
매거진 사이즈 어태치먼트
(6인치/8인치용/웨이퍼 팔레트)
27105-H0- 0 0
고정용 노브 ( 좌우 2 군데 )
매거진세팅부를본체에장착할경우에사용합니다 .
잭업용 핸들
이핸들을돌려서웨이퍼수납부를잭업하고 ,웨이퍼를인출가능한위치로합니다 .
커버 개폐용 핸들
매거진을교환할때 ,이핸들을앞으로당겨서커버를오픈합니다 .
LZ 축 브레이크 해제 버튼
일반시에는사용하지않습니다 .LZ 축브레이크의해제가필요할경우에사용합니다 .
매거진 포지션 전환 스위치
「SETUP」측으로하면엘레베이터부가매거진교환위치 ( 최상단 ) 까지이동합니다 .셋업시이외에는「AUTO」측으로설
정합니다 .