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1-16 1 █ 12 인 치 웨 이퍼 부품 이 외 의 부품을 사용 할 경우 1 2 인 치웨 이퍼부품이 외 의6 인치 ,8 인치또 는웨 이퍼팔레 트부품을사 용 할경 우는 ,다 음그 림과같이매거 진사이 즈 어태 치 먼 트 를사용합니 다 . 웨이퍼 트레이체인저 매거진 세팅 위치 12인치용 매거진 스톱퍼 8인치용 매거진 6인치용 매거진 노크핀 매거진 사이즈 어태치먼트 …

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5.2 웨이퍼 트레이체인저로부터의 공급
웨이퍼 트레이체인저로부터 부품을 공급할 경우의 셋업에 대해서 다음과 같이 설명합니다 .
매거진에 세팅하는 형태로는 , 다음의 2 종류가 있습니다 .
•
직접웨이퍼부품 ( 다이싱프레임 ) 을매거진에삽입한다 .
•
웨이퍼팔레트에세팅된웨이퍼부품을매거진에삽입한다 .
A
U
T
O
S
E
T
U
P
웨이퍼 트레이체인저
부품준비
매거진 포지션
전환 스위치
매거진
스톱퍼
커버개폐 핸들
■ 매거진 세팅
■ 웨이퍼 부품 세팅
노치(소)
노치(대)
웨이퍼 부품
27119-H0 -0 0
█
12 인치 웨이퍼 부품을 사용할 경우
1
매거진을 교환위치 ( 상측 ) 까지 이동시킵니다 .
매거진포지션전환스위치를「SETUP」측으로전환해주십시오 .
e
2
안전 커버를 오픈합니다 .
비상정지버튼을누르고 ,본체의안전커버를오픈합니다 .계속해서커버개폐핸들을앞쪽으로당기고
매거진측의커버를열어주십시오 .
3
웨이퍼 부품을 윗 그림과 같이 세팅합니다 .
4
매거진을 세팅합니다 .
스톱퍼를열고 ,본체쪽으로향해서매거진을세팅해주십시오 .
5
커버를 닫습니다 .
매거진및본체쪽의커버를닫고비상정지를해제해주십시오 .
6
운전가능 상태로 합니다 .
매거진포지션전환스위치를「AUTO」측으로전환해주십시오 .매거진이운전가능위치까지이동합니
다.
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█
12 인치 웨이퍼 부품 이외의 부품을 사용할 경우
12 인치웨이퍼부품이외의6 인치 ,8 인치또는웨이퍼팔레트부품을사용할경우는 ,다음그림과같이매거진사이즈
어태치먼트를사용합니다 .
웨이퍼 트레이체인저
매거진 세팅 위치
12인치용 매거진
스톱퍼
8인치용 매거진
6인치용 매거진
노크핀
매거진 사이즈
어태치먼트
노크핀 홀
27120 -H0 -0 0
c
주의
12 인치사이즈의매거진을사용할때에는 ,반드시매거진사이즈어태치먼트를탈착한다음세팅해주십시오 .
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6. 컨베이어 유니트
6.1 각 컨베이어 유니트
기판을 고정시키기 위해 사용하는 각종 컨베이어 유니트에 대해서 설명합니다 .
컨베이어 유니트
A테이블 메인스톱퍼
장비 정면
흐름방향
푸쉬업 플레이트
기판누름 플레이트(가동식)
B테이블 메인스톱퍼
클램프식 고정유니트
27 121-H0 -0 0
메인 스톱퍼
컨베이어내에반입된기판은메인스톱퍼의위치에서정지합니다 .
푸쉬업 플레이트
상승시 ,클램프식기판고정유니트와연동해서기판을끼웁니다 .
기판누릅 플레이트 ( 가동식 )
기판고정시에위에서부터기판의틀을누릅니다 .
클램프식 기판고정 유니트
푸쉬업플레이트와연동해서기판의틀을아래방향에서들어올려기판누름플레이트사이에끼워서고정합니다 .