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1-18 1 6 .2 컨베이 어 부의 센 서 배치 컨 베 이 어부의 각 센서 의 배치 를 다 음과 같 이 표시 합니다 . 기판센서의 배치 기판흐름 방향 기판흐름 방향 입구 기판검출 [N 0100404] 입구 기판검출 [N 01003F3] 대기위치 기판검출 [N 0100405] 대기위치 기판검출 [N 01003F1] 스테이지A 출구 기판검출 [N 0100411] 스테이지A 출구 기판검출 [N …
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6. 컨베이어 유니트
6.1 각 컨베이어 유니트
기판을 고정시키기 위해 사용하는 각종 컨베이어 유니트에 대해서 설명합니다 .
컨베이어 유니트
A테이블 메인스톱퍼
장비 정면
흐름방향
푸쉬업 플레이트
기판누름 플레이트(가동식)
B테이블 메인스톱퍼
클램프식 고정유니트
27 121-H0 -0 0
메인 스톱퍼
컨베이어내에반입된기판은메인스톱퍼의위치에서정지합니다 .
푸쉬업 플레이트
상승시 ,클램프식기판고정유니트와연동해서기판을끼웁니다 .
기판누릅 플레이트 ( 가동식 )
기판고정시에위에서부터기판의틀을누릅니다 .
클램프식 기판고정 유니트
푸쉬업플레이트와연동해서기판의틀을아래방향에서들어올려기판누름플레이트사이에끼워서고정합니다 .
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6.2 컨베이어부의 센서 배치
컨베이어부의 각 센서의 배치를 다음과 같이 표시합니다 .
기판센서의 배치
기판흐름 방향
기판흐름 방향
입구 기판검출
[N 0100404]
입구 기판검출
[N 01003F3]
대기위치 기판검출
[N 0100405]
대기위치 기판검출
[N 01003F1]
스테이지A 출구 기판검출
[N 0100411]
스테이지A 출구 기판검출
[N 0100405]
출구 기판검출
[N 01003F3]
출구 기판검출
[N 0100404]
스테이지B 기판 고정위치 기판검출
[N01003F2]
스테이지B 기판 고정위치 기판검출
[N01003F2]
스테이지A 기판 고정위치 기판검출
[N0100406]
스테이지A 기판 고정위치 기판검출
[N0100406]
스테이지B 출구 기판검출
[N 01003F1]
스테이지B 출구 기판검출
[N 01003F5]
27122-H0 -0 0
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7. 축 구성
본체및웨이퍼트레이체인저의서보모터제어에의한축구성과동작방향에대해서다음과같이설명합니다 .
█
본체의 축 구성
+방향
-방향
W1축
축 구성
반송방향(우→좌)의 예
RB2축
RB1축
■ 헤드부
■ 주축, 반송부
A테이블 헤드 유니트B테이블 헤드 유니트
ZB1
ZB2
RA2축
RA1축
ZA1
ZA2
CZB축 CZA축
YB축
YA축
XA축
XB축
장비 정면
FF 헤드
4M 헤드
RB1축
ZB1 ZB2 ZB3 ZB4
RA1축
ZA1 ZA2 ZA3 ZA4
CZB축 CZA軸
27123-H0 - 00
█
각 축의 기능
축 명칭 기능
•
역할
XA,XB 축 테이블상에서컨베이어의기판반송방향과평행하게헤드를이동합니다 .
YA,YB 축 컨베이어의기판반송방향과직각방향으로헤드를이동합니다 .
FF
RA1,RA2,RB1,RB2 축 각헤드로노즐샤프트를회전시킵니다 .
ZA1,ZA2,ZB1,ZB2 축 각헤드로부품흡착
•
탑재헤드를상하로이동합니다 .
4M
RA1 축 ,RB1 축 각테이블에서노즐샤프트 (4 개 ) 를동시에회전시킵니다 .
Z A1~Z A4 축 ,ZB1~ZB4 축 각헤드로부품흡착
•
탑재헤드를상하로이동합니다 .
W1 축 컨베이어폭을변경합니다 .
CZA,CZB 축 피듀셜카메라유니트를상하로동작시킵니다 .