KE-2050-KE-2060 使用说明书.pdf - 第641页
第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制 (2) 控制按钮 利用控制按钮来执行控制项目。 控制按钮的显示因控制项目而异。 选择要控制的项目， 选择 “ON” 按钮、 “OFF( F )” 按钮、 “ON/ OFF( / )” 按钮或按下 “F3” 键、 “F4”键、“F5”键进行控制。 在选中支撑台时，按“上( U )”、“下( D )”、“上/下( / )”按钮进行控制。 (3) 状态显示 控制结束时显示各传感器、各单元的状态。 …
第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制
9-4-2 传送
9-4-2-1 个别控制传送
从菜单栏中选择“控制”/“传送”/“个别控制(I)”，则显示如下的传送类个别控制画面。
图 9-4-2-1-1 传送类个别控制
(1) 控制项目
利用按钮来选择控制项目。
图 9-4-2-1-1(a)
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第 2 部 功能详细编 第 9 章 手动控制
(2) 控制按钮
利用控制按钮来执行控制项目。
控制按钮的显示因控制项目而异。
选择要控制的项目，选择“ON”按钮、“OFF(
F)”按钮、“ON/OFF(/)”按钮或按下“F3”键、
“F4”键、“F5”键进行控制。
在选中支撑台时，按“上(
U)”、“下(D)”、“上/下(/)”按钮进行控制。
(3) 状态显示
控制结束时显示各传感器、各单元的状态。
连续显示各传感器、各信号、各单元的状态。
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9-4-2-2 自动控制传送
从菜单栏中选择“控制”/“传送”/“自动控制(A)”，则显示如下的自动控制传送画面。
图 9-4-2-2-1 自动控制传送(显示例.KE-2060)
(1) 控制项目
利用按钮来选择控制项目。
图 9-4-2-2-2
(2) 定位方式
利用按钮来选择定位方式。
◆ 在控制项目中选中“初始化”、“基板搬出”、“基板固定解除”、“基板 WAIT/OUT 传感器检查”
时，不能进行设定。
图 9-4-2-2-3
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