KE-2050-KE-2060 使用说明书.pdf - 第681页
第 2 部 功能详细编 第 10 章 设备运行信息 10-5-6 SOT 运行信息(可选) 从菜单栏中选择“窗口(W)”/“图像”/“SOT运行信息”，则显示图10-5-6-1。 No. 项目 内容 １ 使用次数 使用 SOT 检查台的总次数。 ２ 使用时间 使用 SOT 检查台的总时间。 ３ SOT 错误次数 SOT 方向检查中发生错误的总次数。 图 10-5-6-1 SOT 运行信息 10-18
第 2 部 功能详细编 第 10 章 设备运行信息
10-5-5 VCS 运行信息(仅 KE-2060)
从菜单栏中选择“窗口(W)”/“图像”/“VCS运行信息”，则显示图10-5-5-1。
No. 项目 内容
１ 使用次数 使用 VCS 的总次数。
２ 使用时间 使用 VCS 的总时间。
３ 错误次数 VCS 发生错误的总次数。
４ 反射照明运行次数 使用反射照明的总次数。
５ 反射照明运行时间 使用反射照明的总时间。
６ 透射照明运行次数 使用透射照明的总次数。
７ 透射照明运行时间 使用透射照明的总时间。
８ 侧面照明运行次数 使用侧面照明的总次数。
９ 侧面照明运行时间 使用侧面照明的总时间。
图 10-5-5-1 VCS 运行信息
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第 2 部 功能详细编 第 10 章 设备运行信息
10-5-6 SOT 运行信息(可选)
从菜单栏中选择“窗口(W)”/“图像”/“SOT运行信息”，则显示图10-5-6-1。
No. 项目 内容
１ 使用次数 使用 SOT 检查台的总次数。
２ 使用时间 使用 SOT 检查台的总时间。
３ SOT 错误次数 SOT 方向检查中发生错误的总次数。
图 10-5-6-1 SOT 运行信息
10-18
第 2 部 功能详细编 第 10 章 设备运行信息
10-5-7 共面性运行信息(可选项，仅限于 KE-2060)
从菜单栏中选择“窗口(W)”/“图像”/“共面性运行信息”，则显示图10-5-7-1。
No. 项目 内容
１ 使用次数 使用共面性的总次数。
２ 使用时间 使用共面性的总时间。
３ 共面性错误次数 发生共面性错误的总次数。
图 10-5-7-1 共面性运行信息
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