KE 2050 2060说明书.pdf - 第134页
第3章 保养 Rev00 3-3-12 OCC(偏光过滤器) 请确认OCC偏振过滤器上是否有灰尘或异物。 ¾ 用气枪等除去灰尘和异物。 图 3- 26 OCC ① 偏光过滤器 危险 为防止因意外启动而引发事故，请在切断电源后进行清扫作业。 ① 3-3-13 跟踪球 3-22
第3章 保养 Rev00
3-3-10 统一交换台(选购件)
在送料器台上安装送料器之前，请先除去上面的垃圾和异物。
¾ 请确认“安装板B②”的下部是否有异物混入。
¾ 请确认“台架定位销③”(两侧)附近也没有芯片等异物。
◆ 当有芯片等异物时，请用吸尘器等予以清扫。
3
2
1
图 3- 24统一交换台
① 送料器台
② 安装板B
③ 台架定位销
3-3-11 CVS(元件确认系统)(选购件)
启动单元时，接触的A面如果附着有灰尘、脏物等，请用浸有酒精的布擦拭。
如果A面上附着有灰尘等，可能无法对元件进行检查。
接触
接触
A面
图 3- 25 CVS
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第3章 保养 Rev00
3-3-12 OCC(偏光过滤器)
请确认OCC偏振过滤器上是否有灰尘或异物。
¾ 用气枪等除去灰尘和异物。
图 3- 26 OCC
① 偏光过滤器
危险
为防止因意外启动而引发事故，请在切断电源后进行清扫作业。
①
3-3-13 跟踪球
3-22
第3章 保养 Rev00
请清扫跟踪球内部附着的灰尘或异物。
① 请将环按逆时针方向(箭头方向)旋转。
② 拆下环和球。
将球放在软布上等不会滚动的地方。
③ 使用软布等清扫如左图所示的与球接触
的部分。
同样擦拭掉球的污垢。
(严禁水分)
环
球
环
Y检测轴
球支撑
X检测轴
45度轴
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