YSM20R_YSM20WR_Mainte_K.pdf - 第113页
3-52 3 5 .3 W 축 의 청소와 급 유 약 1 년 을 기 준 으로 , W 축 및 U 축 (Y SM2 0 R 듀 얼 스 테 이 지 사 양 의 경 우 ) 의 볼 스크 류 , 가이 드 , 6 각 스 플 라 인 의 청 소 와 급유 가 필 요 합 니 다 . 급 유 개 소 와 급 유 형 태 에 관해 서 는 , 「제 5 장 급 유개소 일람」 을 참 조 해 주십 시 오 . 또 한 , YSM 20 R…
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3
9
기판 클램프 보드를 장착합니다 .
1. 기판 클램프 보드를 원위치에 장착하고 , 육각
렌치 (3) 로 기판 클램프 고정볼트를 체결해
주십시오 .
2. 깔아둔 사각건을 정리합니다 .
0
벨트의 장착 상태를 확인합니다 .
1. 기판클램프 상면의 위치가 벨트 상면보다 약
0.5mm 낮은 위치에 있는지 확인해 주십시오 .
클램프 동작에 문제가 없는지도 확인합니다 .
2. 장비의 안전커버를 닫고 , 비상정지를 해제합
니다 . 대차사양의 경우는 , 대차를 장착합니
다.
3. [ 장치 ]-「컨베이어」화면의 [ 컨베이어 구동 ]
버튼으로 벨트를 회전시켜서 동작상태를 확인
하여 주십시오 .
4. 컨베이어 벨트의 회전이 고르지 못하거나 벨트
가 느슨할 경우는 , 텐셔너 ( 풀리 브래킷 ) 의
위치를 다시 조정해 주십시오 .
c
주의
벨트의상면과기판클램프상면의높이에거의차이가없으면 ,
기판반송에러가발생할가능성이있습니다 .
그럴경우에는 ,야마하또는대리점으로연락해주십시오 .
기판 클램프 보드
벨트
벨트의 장착과 동작의 확인
Step 10
[컨베이어 구동] 버튼
<컨베이어의 동작확인>
좌
우
저속 좌 저속 우
<벨트의 장착상태 확인>
0.5 mm
58308-KMK-00
Step 9
기판 클램프 보드의 장착
기판 클램프 보드고정볼트
57370-KMK-00
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3
5.3 W 축의 청소와 급유
약 1 년을 기준으로 , W 축 및 U 축 (YSM20R 듀얼 스테이지 사양의 경우 ) 의 볼스크류, 가이드 , 6 각 스플라
인의 청소와 급유가 필요합니다. 급유개소와 급유형태에 관해서는 ,「제 5 장 급유개소 일람」을 참조해 주십시오 .
또한, YSM20R 듀얼 스테이지, YSM20R/YSM20WR 싱글레인 , YSM20WR 듀얼레인은 사양에 따라 급유순
서가 다르므로 , 각 사양별로 청소와 급유방법에 대해서 설명합니다.
5.3.1 YSM20R 듀얼 스테이지의 W/U 축의 청소와 급유
여기에서는 , YSM20R 듀얼 스테이지 사양의 W 축과 U 축의 청소와 급유방법에 대해서 설명합니다.
1
임의의 기판 데이터를 로딩합니다 .
참고
기판 데이터를 읽으면 , 스테이지1, 스테이지 2 양쪽의 푸쉬업
유닛을 작동할 수가 있습니다.
2
컨베이어를 최소폭으로 합니다 .
1. [ 장치 ]-「컨베이어」화면의「컨베이어폭」버
튼을 눌러서「컨베이어폭」화면을 표시합니다 .
2. 「변경후의 컨베이어폭」에「50mm」를 입력하
고 [OK] 버튼을 누릅니다 .
컨베이어 폭이 지정된 폭으로 변경됩니다 .
3
푸쉬업 유닛을 상승시킵니다 .
1. [ 푸쉬업 ] 버튼을 눌러서「컨베이어 푸쉬업」
화면을 표시합니다 .
2. 「두께」에「0.1mm」를 입력하고 [OK] 버튼을
눌러 주십시오 . 푸쉬업 유닛이 상승합니다 .
3. 상기의 순서대로 , 푸쉬업 유닛을 스테이지 1
과 스테이지 2 양쪽다 상승시켜 주십시오 .
n
요점
Step1에서 선택한 기판 데이터의 기판사이즈 X 가 380mm 를
넘을 경우에는 , 상류측의 [ 푸쉬업 ] 버튼은 비활성화되어 있습
니다 . 하류측의 푸쉬업 유닛을 상승시키면 , 연동해서 상류측
푸쉬업 유닛도 상승합니다 .
n
요점
푸쉬업 유닛을 상승시키면 , U 축의 가이드와 볼스크류에 접근
하기 쉬워집니다 .
푸쉬업 유닛의 상승
Step 3
스테이지 1
[푸쉬업] 버튼
「0.1mm」 를 입력
스테이지 2
[푸쉬업] 버튼
58310-KMK-00
컨베이어의 최소폭 입력
Step 2
[컨베이어폭] 버튼 「50mm」을 입력
58309-KMK-00
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3
e
4
W 축과 U 축의 각부를 청소합니다 .
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전커버를
오픈합니다 .
2. 대차사양의 경우는 , 대차를 탈착합니다 .
3. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을
받는 물건은 전부 빼 둡니다 .
4. 먼지가 나지 않는 와이퍼 등으로 , W 축 및 U
축의 볼스크류 (8 개 ), 가이드 (6 개 ), 6 각
스플라인 (4 개 ) 전체의 오래된 구리스나 더러
움을 닦아 주십시오 .
n
요점
청소 작업시에는 , 볼스크류의 리드 홈과 가이드 레일의 홈을
정성껏 닦아 주십시오 . 또한 , 이물질의 발생 여부도 확인해
주십시오 .
n
요점
볼스크류, 가이드 , 6 각 스플라인의 장소와 수량에 대해서는 ,
「제 5 장 급유개소 일람」을 참조해 주십시오 .
5
컨베이어를 최대폭으로 합니다 .
1. 장비의 안전커버를 닫고 , 비상정지를 해제합
니다 . 대차사양의 경우는 대차를 장착합니다 .
2. [ 컨베이어폭 ] 버튼을 눌러서 ,「컨베이어폭」
화면을 표시합니다 .
3. 「변경후의 컨베이어폭」에 듀얼 스테이지 사양
의 최대 컨베이어폭인「490mm」를 입력하고 ,
[OK] 버튼을 눌러 주십시오 . 컨베이어폭이 지
정된 폭으로 변경됩니다 .
참고
컨베이어폭을 변경하면 , 자동적으로 푸쉬업 유닛이 하강합니
다.
6
푸쉬업 유닛을 상승시킵니다 .
Step3 과 같은식으로 푸쉬업 유닛을 상승시켜
주십시오 .
e
7
나머지 부분을 청소합니다 .
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전커버를
오픈합니다 .
2. 대차 사양의 경우는 , 대차를 탈착합니다 .
3. Step4 에서 청소한 나머지 다른 부분을 먼지
가 나지 않는 와이퍼로 닦아냅니다 .
W축과 U축의 청소2
Step 7
남은 다른 부분을 닦아낸다
57372-KMK-00
Step 5
컨베이어의 최대폭 입력
[컨베이어폭] 버튼 「490mm」을 입력
58311-KMK-00
W축과 U축의 청소
Step 4
볼스크류
가이드
6각 스플라인 샤프트
와이퍼
57371-KMK-00