YSM20R_YSM20WR_Mainte_K.pdf - 第188页
A-7 A 사용 부위 명칭 부 품명칭 부 품번호 비고 수량 일괄 교환대차 대차피더플레이트 가 이드 레일 ( 장 비쪽 )1 RAIL G UIDE 1 2P KHY -M 37 1 R-0 0 X 2 *4 가 이드 레일 ( 장 비쪽 )2 RAIL G UIDE 1 2P K K G - M 37 1R - 0 0 X 1 *4 가 이드레일 ( 장 비쪽 ) 고정나 사 SCREW, FLA T HE AD…

A-6
A
2.2 YSM20R 보수부품 리스트
c
주의
본매뉴얼에기재되어있는부품 ( 부품번호 ) 은발행시의것입니다 .
부품번호는예고없이변경될경우가있으므로 ,발주시에는반드시최신내용인지대리점에확인해주십시오 .
◼
YSM20R듀얼스테이지사양보수부품일람
사용부위 명칭 부품명칭 부품번호 비고 수량
HM 헤드유닛
헤드부밸브단품
이젝터
진공발생용밸브
VALVE KLF-M7152-00X
이젝터진공발생용밸브 10
*1
이젝터
파괴압발생용밸브
VALVE KLF-M7153-00X
10
*1
청소용블로우밸브
VALVE KLW-M7158-00X
1
*1
이젝터스페어
EJECTOR KLW-M7157-10X
1 헤드분의
밸브 & 이젝터유닛
10
*1
밸브주변파츠 이젝터BIT
BIT KLW-M7154-00X
10
*1
BIT캡
BIT CAP KLW-M7156-00X
이젝터비트용캡 10
*1
머플러
MUFFLER KLW-M715A-00X
BIT캡내의머플러 10
*1
필터캡
FILTER CAP KLW-M7155-00X
10
*1
버큠센서 버큠센서보드
VAC SENSOR BRD
ASSY
KHY-M4592-01X
1
*1
R 축동작부 R 축텐션풀리용샤프트
SHAF T2,TENSION KKE-M7126-00X
2
*1
R 축구동벨트
BELT1 KHY-M7131-00X
2
*1
R 축구동벨트
BELT2 KHY-M7132-00X
2
*1
R 축텐션풀리용샤프트
SHAF T1,TEN SI ON K V8-M7115 - 0 0X
4
*1
R 축텐션풀리용샤프트
SHAFT3,TENSION KKE-M7128-00X
2
*1
베어링
BEARING 90933-03J128
16
*1
서클립
CIRCLIP 99009-07800
2
*1
텐션풀리용와셔
WASHER PLAIN 92902-04200
6
*1
Z 축동작부 Z 축리니어모터
Z UNIT ASSY. KLW-M71G5-00X
10
*1
FM 헤드유닛
헤드부밸브단품
이젝터
진공발생용밸브
VALVE KLF-M7152-00X
이젝터진공발생용밸브 5
*1
이젝터
파괴압발생용밸브
VALVE KLF-M7153-00X
5
*1
청소용블로우밸브
VALVE KLW-M7158-00X
1
*1
이젝터스페어
EJECTOR KLW-M7157-10X
1 헤드분의
밸브 & 이젝터유닛
5
*1
밸브주변파츠 이젝터비트
BIT KLW-M7154-00X
5
*1
BIT캡
BIT CAP KLW-M7156-00X
이젝터비트용캡 5
*1
머플러
MUFFLER KLW-M715A-00X
BIT캡내의머플러 5
*1
필터캡
FILTER CAP KLW-M7155-00X
5
*1
버큠센서 버큠센서보드
VAC5 SENS BRD ASSY KHY-M4592-10X
1
*1
R 축동작부 R 축구동벨트
BELT KLW-M74RA-00X
5
*1
Z 축동작부 Z 축볼스크류
BALL SCREW KLW-M7421-00X
5
*1
Z 축가이드
GUIDE,Z KLW-M7425-00X
5
*1
노즐
스테이션
노즐스테이션
(HM/FM공통 )
ANC 셔터용실린더
CYL.ANC OP/CL ASSY KLW-M653S-00X
1
*2
ANC 센서보드
ANC CTRL BOARD
ASSY
KLW-M45BA-00X
1
*2
ANC 셔터구동밸브
VALVE KLW-M91V1-00X
1
*2
블로우스테이션 에어필터
FILTER,SPARE KGR-M9934-F0X
1
*3

A-7
A
사용부위 명칭 부품명칭 부품번호 비고 수량
일괄
교환대차
대차피더플레이트 가이드레일 ( 장비쪽 )1
RAIL GUIDE 12P KHY-M371R-00X
2
*4
가이드레일 ( 장비쪽 )2
RAIL GUIDE 12P KKG-M371R-00X
1
*4
가이드레일 ( 장비쪽 )
고정나사
SCREW, FLAT HEAD 98702-03006
28
*4
가이드레일 ( 중간 )1
GUIDE,FEEDER UNDER KHY-M372R-00X
2
*4
가이드레일 ( 중간 )2
GUIDE,FEEDER UNDER KKG-M372R-00X
1
*4
가이드레일 ( 앞쪽 )1
GUIDE,FEEDER UNDER KLF-M375X-50X
2
*4
가이드레일 ( 앞쪽 )2
GUIDE,FEEDER UNDER KLF-M375X-00X
1
*4
가이드레일 ( 중간 / 앞쪽 )
고정스크류
SCREW, BINDING
HEAD
98902-03004
70
*4
테이프커터
테이프커터
(70 연 )
테이프커터
하부칼날세트
CUTTER,LOWER 70 KLW-M3T57-A0X
1
*5
테이프커터
상부칼날 ( 좌 )
CUTTER,UPPER L 70 KLW-M3T55-00X
1
*5
테이프커터
상부칼날 ( 우 )
CUTTER,UPPER R 70 KLW-M3T56-00X
1
*5
테이프커터용쇽압쇼바
SHOCK ABSORBERS KLW-M3T0D-00X
2
*5
고정용블록압쇼바
BLOCK,ABSORBER KLW-M3T0C-00X
2
*5
테이프커터
(32 연 )
테이프커터
상부칼날 (32 연 )
CUTTER UPPER,384 KJJ-M3T05 -10X
1
*5
테이프커터
하부칼날세트 (32 연 )
CUTTER LOWER,384 KJJ-M3T07-B0X
1
*5
테이프커터용쇽압쇼바
SHOCK ABSORBERS KLW-M3T0D-00X
1
*5
고정용블록압쇼바
BLOCK,ABSORBER KLW-M3T0C-00X
1
*5
X축
X 축볼스크류 X 축볼스크류
BALL SCREW KLW-M2271-00X
1
*6
볼스크류서포트유닛
SUPPORT UNIT KHN-M2221-00X
1
*6
스페이서
SPACER KHN-M224D-00X
1
*6
스페이서
SPACER KHN-M2248-00X
2
*6
로크너트
LOCK NUT KGS-M2628-00X
1
*6
로크너트
LOCK NUT KG2-M9173-00X
1
*6
베어링
BEARING 90990-26J022
1
*6
볼트
BOLT HEX.SOCKET
HEAD
91312-05018
4
*6
X 축가이드 X 축리니어가이드
GUIDE SET,X AXIS KLW-M2276-00X
1
*6
가이드고정볼트
BOLT HEX.SOCKET
HEAD
91312- 04014
34
*6
X 축덕트AB 공통
케이블덕트
DUCT,CABLE KMK-M2267-00X
1
*6
케이블보호용
중간테이프
TAPE,X DUCT 1 KMK-M220A-00X
1
*6
케이블보호용
외주테이프
TAPE,X DUCT 2 KMK-M220B-00X
1
*6
케이블보호용
내주테이프
TAPE,X DUCT 3 KMK-M220C-00X
1
*6

A-8
A
사용부위 명칭 부품명칭 부품번호 비고 수량
X축
X 축덕트AB 공통
고정볼트
BOLT,HEX.SOCKET
HEAD
90990-01J058
4
*6
고정볼트
BOLT, THIN HEAD 90990-46J011
12
*6
고정나사
BOLT,HEX.SOCKET
HEAD
91312-04010
8
*6
덕트내하네스
전원 / 비상정지
HNS,X-FLEX H.PWR
EMG
KLW-M664F-00X
하네스번호
J0076/J0079
1
*6
덕트내하네스
접지선
HNS EARTH 90K3 0 - 544110
하네스번호
J0670/J0672
1
*6
덕트내하네스
SC 축모터
HNS,X-FLEX SCM KLW-M66E8-00X
하네스번호
J0169/J0174
1
*6
덕트내하네스
카메라배선
HNS,X-FLEX CAMERA KLW-M66K1-00X
하네스번호
J0701/J0703
1
*6
덕트내
LAN 케이블
HNS,X-ELEX LAN KLW-M66B3-00X
하네스번호
J0183/J0188
1
*6
덕트내하네스SC 축
모터엔코더
HNS,X-FLEX SCP KMK-M66AB-00X
하네스번호
J0127/J0132
1
*6
Y축
Y 축가이드
Typ eSV 용
리니어가이드세트
GUIDE SET,Y AXIS KLW-M2676-00X
YA,YB2 개세트 1
Typ eSV 용
가이드고정볼트
BOLT HEX.SOCKET
HEAD
90990-01J003
56
TypePV 용Y 축
LM 가이드세트(타입A)
GUIDE SET,Y AXIS KMK-M2676-00X
YA,YB2 개세트 1
*9
Typ ePV 용
가이드고정볼트(타입A)
BOLT HEX.SOCKET
HEAD
91312-06025
56
*9
TypePV 용Y 축
LM 가이드세트(타입B)
GUIDE SET,Y AXIS KMK-M2676-20X
YA,YB2 개세트 1
*9
Typ ePV 용
가이드고정볼트(타입B)
BOLT HEX.SOCKET
HEAD
91312-06025
56
*9
Y 축덕트
(YA: 우 측 )
케이블보호용
중간테이프
TAPE,Y DUCT 1 KMK-M260B-00X
1
케이블보호용
외주테이프
TAPE,Y DUCT 2 KMK-M260C-00X
1
케이블보호용
내주테이프
TAPE,Y DUCT 3 KMK-M260D-00X
1
케이블고정플레이트
PLATE, NUT KV7-M2266- 00X
2
케이블고정브래킷
BRACKET,HARNESS KHY-M2669-00X
2
케이블덕트
DUCT,CABLE KMK-M2678-00X
1
고정볼트
BOLT HEX.SOCKET
HEAD
90990-01J032
8
고정볼트
BOLT HEX.SOCKET
HEAD
91312-04010
4
고정나사
SCREW, PAN HEAD 98502-03004
4
덕트내하네스
전원 / 비상정지
HNS,Y-FLEX H.PWR
EMG
KLW-M664E-00X
하네스번호 J0075 1
덕트내하네스Y 축
모터엔코더 1
HNS,Y-FLEX Y1P KMK-M66A7-00X
하네스번호 J0123 1
덕트내하네스Y 축
모터엔코더 2
HNS,Y-FLEX Y2P KMK-M66A8-00X
하네스번호 J0124 1
덕트내하네스 X 축
모터엔코더
HNS,Y-FLEX XP KMK-M66AF-00X
하네스번호 J0125 1
덕트내하네스SC 축
모터엔코더
HNS,Y-FLEX SCP KMK-M66AA-00X
하네스번호 J0126 1
덕트내하네스
Y 축모터 1
HNS,Y-FLEX Y1M KLW-M66E4-00X
하네스번호 J0165 1
덕트내하네스
Y 축모터 2
HNS,Y-FLEX Y2M KLW-M66E5-00X
하네스번호 J0166 1