YSM20R_YSM20WR_Mainte_K.pdf - 第72页

3-1 1 3 3 초음파 세 척기로 노즐 을 세정합니다 . 1 . 초음 파 세척 기내 의 용기 ( 비커 등 ) 에 노즐을 넣습 니다 . 2. 용기 에 노즐이 충분히 잠길때 까 지 에 탄 올을 넣습 니다 . 3. 초음 파 세 척기 에 물을 넣습 니 다 . 4. 초음 파 세 척을 1 0 분 정도 실행 합 니 다 . c 주의  초음파세척기에직접에탄 올 을넣지마십시 오 . 반드시비커…

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3-10
3
1.3 그리퍼 ( ) 청소급유
하는 으로 , 급유요가 .
n
요점
퍼 노즐은 특수 형상 부품의 흡장착에 사용. 부품의 형상에 맞서 선 , 특주로 제 .
1.3.1 그리퍼 즐의 점검
부를 으로 눌러동작주십 .
, 쁘거 , 부품흡착
. 다음 S「1.3.2 급유
유를 주십 .
, 모되. 모가 ,
즐을 .
그리퍼 노즐의 점검
Type30ALD 노즐의 예
그리퍼부가 마모되어 있지 않을 것
더러움이나 먼지 등이 없을 것
원활하게 동작할 것
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1.3.2 그리퍼 즐의 청소급유
e
1
노즐합니다 .
1. 비상정튼을 르고 , 안전커
오픈합니다 .
2. 헤드로 부터 소할 노즐을 탈착합니 .
스테이션겸비하고 있을 우는 ,
[ STN 셔터 ] 으로 스테이션
셔터열어노즐을 탈착주십시 .
2
노즐의 작부청소합니다 .
그리노즐동작부에 움이먼지
우는 , ( ) 등으로 제거
니다 .
에어 블로우
Step2
에어 블로우 툴
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3-11
3
3
초음파 척기로 노즐세정합니다 .
1. 초음세척기내용기 ( 비커 ) 노즐을
넣습니다 .
2. 용기노즐이 충분히 잠길때 올을
넣습니다 .
3. 초음척기물을 넣습 .
4. 초음척을 10 정도 실행 .
c
주의
초음파세척기에직접에탄을넣지마십시 .
반드시비커등의용기에담아서사용하시오 .
4
에어 로우 니다 .
1. 초음세척기에서 노즐을 니다 .
2. 노즐 전체에어 블로우해서 탄올을
. 노즐동작부에어 경로점적
주십시 .
5
노즐에 급유합니다 .
1. 면봉 드라이버량의
터빈유 묻힙니다 .
2. 노즐동작부에 빈유를 도포합니 .
3. 노즐을 수차례 시켜 , 동작부에 빈유
스며들게 합니다 .
n
요점
는 얇은 막의 유분이 있면 충분 .
6
거합니다 .
1. 에어 로우 부를 에어 블로우해서 ,
유분을 제거합니 .
2. 면봉이먼지나지 않는 와이퍼 으로
동작부 주유분을 아냅니 .
7
노즐의 태를 확인합니다 .
1. 탈착한 헤드의 치에 노즐을 장착합니 .
스테이션에서 탈착했우는 ,
즐을 노즐 스테이션에 되돌린 후
[ 즐변경 ] 버튼으로 즐을 헤드착합니
다.
2. [ ]-「헤」화면에 , 하는 헤드의
[ ] 버튼눌러서 , 그리즐이 원활하
닫히는 .
3. 재차 [ 진공 ] 튼을 눌러서 , 진공 상
합니 . 그리즐이 원활하
확인해 주십시 .
n
요점
즐 스서 노즐을 탈한 경우에 , 노즐 스
에 수납해 주십 .
그리퍼 노즐의 급유
Step 5
면봉 또는 정밀 드라이버에
터빈유를 소량 묻히다
터빈유를 스며들게 한다
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초음파 세척기
Step3
초음파 세척기
비커
물을 넣는다
에탄올을 넣는다
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Step4
에어 블로우
에어 블로우
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3
1.4 멀티 카메라 글래스청소
보호 묻어 , 부품.
으로
.
e
1
조명 래스상의 먼지를 털어
다.
1. 비상정튼을 르고 , 안전커
오픈합니다 .
2. 로워 브러조명 보글래스상
털어냅니다 .
참고
워 브는 옵션 구 .
2
조명 래스니다 .
와이퍼 또는 클리이퍼 등에 클리너를
방울 묻혀서 보호 글래스를 닦아 주십시 .
n
요점
는 먼가 나지 않는 것을 사용하여 주십 .
즈 클리와 클리닝 페는 옵션 구.
n
요점
의 작업을 실도 더움이 제지 경우는 , 본 장
후술의「4.1.2 멀티 카의 청를 참서 보호 글
의 이과 조부를 청해 주십 .
와이퍼로 보호 글래스 닦기
Step 2
먼지가 나지 않는 와이퍼
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블로워 브러시로 청소
Step 1
보호 글래스
블로워 브러시
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