YSM20R_YSM20WR_Mainte_K.pdf - 第26页
5.2 컨베이어벨트의점검과가 이드의청 소 3- 44 5.3 W 축의청 소와급 유 3- 52 5.3. 1 Y SM20 R듀 얼스테이지의W /U 축의청소 와급유 3-52 5.3. 2 YSM20 R싱글레인사 양의W 축의청소 와급유 3-56 5.3. 3 YSM20 WR듀얼 레인사양의W 축의청소 와급유 3-59 5.4 샤 프트선단부의청 소…

1.2 노즐의청소 3-3
1.2.1 노즐스프링부의청소와급유 3-3
1.2.2 노즐에어경로의청소 3-4
1.2.3 노즐선단부의청소 3-5
1.2.4 ANC노즐탈장착툴에대해서 3-7
1.3 그리퍼노즐 ( 옵션 ) 의청소와급유 3-10
1.3.1 그리퍼노즐의점검 3-10
1.3.2 그리퍼노즐의청소와급유 3-10
1.4 멀티카메라조명보호글래스의청소 3-12
2. 매월 3-13
2.1 X 축부 3-14
2.1.1 X 축볼스크류의청소와급유 3-14
2.1.2 X 축가이드의청소와급유 3-16
2.2 Y 축부 3-17
2.2.1 Y 축가이드의청소와급유및리니어스케일의청소 3-17
2.3 컨베이어부 3-19
2.3.1 컨베이어센서의상태와동작확인 3-19
3. 3 개월 3-20
3.1 에어필터의청소와교환 3-20
3.2 이젝터진공레벨의확인 3-21
3.3 각헤드의블로우밸브와청소용블로우밸브의확인 3-22
3.4 샤프트선단부의확인 3-24
3.5 HM 헤드의Z 축동작확인 3-25
3.5.1 HM 헤드의스플라인샤프트Z 축의동작확인 3-25
3.5.2 HM 헤드의스플라인샤프트주변의확인과청소 3-25
3.5.3 HM 헤드의스플라인샤프트의급유 ( 필요시에만 ) 3-26
3.6 FM 헤드의Z 축볼스크류주변의청소와급유 3-27
3.7 PU 축 3-29
3.7.1 PU 축볼스크류의청소와급유 3-29
3.8 베이스부 3-31
3.8.1 Y 축냉각팬필터의청소 3-31
3.8.2 장비배면의필터청소 3-33
4. 6 개월 3-34
4.1 카메라조명유니트의청소 3-34
4.1.1 피듀셜카메라 3-34
4.1.2 멀티카메라의청소 3-35
4.1.3 HM 헤드의스캔카메라청소 3-36
4.1.4 FM 헤드의사이드뷰카메라의간이청소 3-37
4.2 베이스부 3-38
4.2.1 컨트롤러박스용팬필터의청소 3-38
5. 1 년 3-40
5.1 스플라인샤프트내부의청소 3-40
5.1.1 H M 헤드 3 - 40
5.1.2 FM 헤드 3-42

5.2 컨베이어벨트의점검과가이드의청소 3-44
5.3 W 축의청소와급유 3-52
5.3.1 YSM20R듀얼스테이지의W/U 축의청소와급유 3-52
5.3.2 YSM20R싱글레인사양의W 축의청소와급유 3-56
5.3.3 YSM20WR듀얼레인사양의W 축의청소와급유 3-59
5.4 샤프트선단부의청소 3-62
5.4.1 HM 헤드의샤프트선단부의청소 3-62
5.4.2 FM 헤드의샤프트선단부의청소 3-64
5.5 베이스부 3-66
5.5.1 에어 / 미스트필터의교환및컵의청소 3-66
5.6 FM 헤드의사이드뷰카메라내부의청소 3-68
6. 2 년 3-72
6.1 이젝터용BIT 의교환 3-72
제 4 장 옵션부의유지보수
1. 이오나이저 4-1
1.1 이오나이저방전침의청소 ( 매월 ) 4-2
1.2 이오나이저방전침의교환 (2 년 ) 4-3
2. UPS( 무정전전원장치 ) 4-4
2.1 UPS 배터리의교환 (3 년 ) 4-4
3. 노즐스테이션 4-5
3.1 노즐스테이션센서의상태확인과청소 (1 년 ) 4-5
제 5 장 급유개소일람
1. 급유준비 5-1
1.1 적용구리스 5-1
1.2 구리스건 5-2
2. 급유개소와주기 ( 본체 ) 5-3
2.1 X 축 5-3
2.2 Y 축 5-4
2.2.1 YSM20RTypePV/YSM20WR 5-4
2.2.2 YSM20RTypeSV 5-5
2.3 W 축 (U 축 ) 5-6
2.3.1 YSM20R듀얼스테이지사양 5-6
2.3.2 YSM20R/YSM20WR싱글레인사양 5-7
2.3.3 YSM20WR듀얼레인사양 5-8
2.4 PU 축 5-9
2.4.1 YSM20R듀얼스테이지사양 5-9
2.4.2 YSM20R/YSM20WR싱글레인사양 5-10
2.4.3 YSM20WR듀얼레인사양 5-11

2.5 헤드유닛부 5-12
2.5.1 HM 헤드유닛 5-12
2.5.2 FM 헤드유닛 5-13
제 6 장 소모품의교환
1. 노즐 6-1
1.1 노즐선단부와스프링의교환 6-1
1.2 노즐O 링의교환 6-2
2. 노즐판스프링과롤러로크 6-3
2.1 노즐판스프링의교환 6-3
2.1.1 H M 헤드 6 -3
2.1.2 FM 헤드 6-5
2.2 FM 헤드의롤러로크의교환 6-6
3. 헤드유닛부 6-7
3.1 HM 헤드의밸브교환 6-7
3.2 FM 헤드의밸브교환 6-8
4. 컨베이어 6-9
4.1 컨베이어벨트의교환 6-9
4.2 컨베이어부밸브의교환 6-19
5. 베이스부 6-24
5.1 대차클램프밸브의교환 6-24
부록
1. 사양 A-1
1.1 에어압조정부 A-1
1.2 전원접속부 A-2
1.3 기기간입출력커넥터 A-3
1.3.1 PREVIOUSINTERFACE A-3
1.3.2 NEXTINTERFACE A-4
2. 보수부품 A-5
2.1 YSM20R/YSM20WR소모품리스트 A-5
2.2 YSM20R보수부품리스트 A-6
2.3 YSM20WR보수부품리스트 A-14
2.4 트레이공급장치보수부품리스트 A-21