YSM20R_YSM20WR_Mainte_K.pdf - 第186页
A-5 A 2. 보 수 부 품 2. 1 Y SM20R/ Y SM20WR 소 모품 리스 트 c 주의 본매뉴얼 에기재되어있는부 품 ( 부 품번호 ) 은발 행시의것입니 다 . 부 품번호는예고없 이변경될경우가있으 므 로 ,발주시에는반드 시최신내용인지대리점 에확 인해주십시오 . n 요점 ・ 소모 품 의 부위 및 교 환 방 법 에 대 해 서 는 , 본 매 뉴 얼 내 …

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A
1.3.2 NEXTINTERFACE
아래의1~3 의조건이갖추어진경우에 ,기판반출을시작합니다 .
1.본체가기판반출가능한상태 (LANE1BAOUT[T0100031]:ON/LANE2BAOUT[T0100033]:ON)
2.하류기로부터기판반입신호를입력한상태 (LANE1BUSYIN[N0100410]:ON/LANE2BUSYIN[N0100413]:ON)
3.하류기로부터자동운전신호를입력한상태 (LANE1LRIN[N0100411]:ON/LANE2LRIN[N0100414]:ON)
n
요점
ㆍ 기판반출중에 하류기의 자동운전중 신호(LR IN)가 OFF 한 경우는 기판의 반출을 일시 정지합니다 .
ㆍ 반출중인 기판이 본체의 출구센서를 통과했다고 판단될 경우, BA OUT 을 OFF 합니다.
ㆍ BUSY IN 과 BA OUT 의 양쪽이 OFF 된 시점에서 반출을 종료합니다.
ㆍ LANE2 의 어드레스는, 듀얼레인 사양의 장비에서 사용합니다 .
1
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7
4
8
3
1
NEXT INTERFACE 회로
NEXT INTERFACE
커넥터
본체측 NEXT INTERFACE
하류기
AMP 206043-1
(14핀・리셉터클)
BUSY IN
(LANE 1:N0100410)
(LANE 2:N0100413)
+24V
+24V
UR OUT
(LANE 1:T0100030)
(LANE 2:T0100032)
LR IN
(LANE 1:N0100411)
(LANE 2:N0100414)
+24V
LE IN
(LANE 1:N0100412)
(LANE 2:N0100415)
BA OUT
(LANE 1:T0100031)
(LANE 2:T0100033)
반입중 출력
반출요구 입력
자동 운전중 입력
자동 운전중 출력
장비간 기판 대기중 출력
I/O BOARD
GND GND
57A05 - KM K- 00
■
기판반송신호사양 (
NEXTINTERFACE)
PinNo. 신호명
어드레스
입출력사양 신호사양
LANE1 LANE2
⁎
1
1 +24V 입력공 통 (+24V)
기판반입중신호입력
2 BUSYIN N0100410 N0100413 전압입력
3 BAOUT T0100031 N0100033 릴레이접점출력
기판반출요구신호출력
4 BAOUT T0100031 N0100033 릴레이접점출력
5 비었음
6 비었음 ( 더미핀있음 ) ( 오삽입방지 )
7 GND
8 비었음
9 UROUT T0100030 N0100032 릴레이접점출력
자동운전중신호출력
10 UROUT T0100030 N0100032 릴레이접점출력
11 +24V 입력공 통 (+24V)
자동운전중신호입력
12 LRIN N0100411 N0100414 전압입력
13 +24V 입력공통 (+24V)
장비간기판대기중신호입력
14 LEIN N0100412 N0100415 전압입력
⁎1 듀얼레인사양의장비에서사용

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A
2. 보수부품
2.1 YSM20R/YSM20WR 소모품 리스트
c
주의
본매뉴얼에기재되어있는부품 ( 부품번호 ) 은발행시의것입니다 .
부품번호는예고없이변경될경우가있으므로 ,발주시에는반드시최신내용인지대리점에확인해주십시오 .
n
요점
・
소모품의 부위 및 교환방법에 대해서는 , 본 매뉴얼내에 기재되어 있습니다.
・
노즐에 관련된 소모품에 대해서는 , 제 1 장「2.1 소모품」을 참조해 주십시오 .
◼
소모품일람
사용부위 명칭 부품명칭 부품번호 비고 수량
HM 헤드유닛 노즐판스프링
LEAF SPRING KG7-M7137-A0X
20
*3
노즐유지력강화용판스프링
PLATE, SPRING KGS-M714W-03X
20
*3
이젝터용필터
FILTER KLW-M8527-00X
10
*3
필터용개스킷
GASKET KLW-M715B-00X
10
*3
FM 헤드유닛 노즐판스프링
PLATE, SPRING KV7-M8171-00X
10
*3
노즐유지롤러
ROLLER KV7-M81D4-00X
10
*3
노즐ArmASSY
ROLLER LOCK ASSY. KLW-M74D0-00X
5
*3
이젝터용필터
FILTER KLW-M8527-00X
5
*3
필터용개스킷
GASKET KLW-M715B-00X
5
*3
컨베이어벨트
YSM20R듀얼스테이지사양
출입구W1,W4 축
BELT, CONVEYOR KMK-M917H-00X
길이 605mm 폭 6mm 4
*1
YSM20R듀얼스테이지사양
스테이지1,2W1,W4 축
BELT, CONVEYOR KMK-M9110-00X
길이 1175mm 폭 6mm 4
*1
YSM20R듀얼스테이지사양
출입구연장W1,W4 축
BELT, CONVEYOR KMK-M957H-00X
길이 975mm 폭 6mm 4
*1
YSM20R싱글레인사양
표준
BELT, CONV.(2916 ) KMK-M9113-00X
길이 2916mm 폭 7mm 2
*1
YSM20R싱글레인사양
양쪽연장
BELT, CONV.(3656) KMK-M9513-00X
길이 3656mm 폭 7mm 2
*1
YSM20Rs 양
한쪽연장
BELT, CONV.(3286) KMK-M9513-10X
길이 3286mm 폭 7mm 2
*1
YSM20WR듀얼레인사양
표준
BELT, CONV.(2916 ) KMK-M9113-00X
길이 2916mm 폭 7mm 4
*1
YSM20WR듀얼레인사양
양쪽연장
BELT, CONV.(3656) KMK-M9513-00X
길이 3656mm 폭 7mm 4
*1
YSM20WR듀얼레인사양
한쪽연장
BELT, CONV.(3286) KMK-M9513-10X
길이 3286mm 폭 7mm 4
*1
에어 / 미스트필터 에어필터엘리먼트
FILTER ELEMENT KLF-M8502-50X
에어필터 ( 미디어 ) 1
미스트필터엘리먼트
MIST FILTER ELEMENT KLF-M8502-70X
미스트필터 ( 미디어 ) 1
베이스부필터 흡기필터
FILTER, FAN KMG-M13NC-00X
Y축냉각용필터 4
흡기필터 ( 장비좌측안쪽 )
FILTER, REAR FAN KLW-M13NB-00X
장비배면흡기팬필터 1
흡기필터 ( 컨트롤러박스 )
FILTER KLV- M4136-0 0X
컨트롤러박스용흡기팬필터 1
이오나이저 ( 옵션 ) 이오나이저방전침세트 (5 개입 )
NEEDLE SPARE SET KJX-M83P1-00X
5 개입세트
이오나이저1 개당2 세트필요
2
*2
UPS( 옵션 ) UPS 배터리
UPS, BATTERY KGA-M6566-30X
1
✽
1
고정측가동측2 개의컨베이어레일에서의필요수
✽
2
이오나이저한개당필요수
✽
3
헤드유닛한개당필요수

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A
2.2 YSM20R 보수부품 리스트
c
주의
본매뉴얼에기재되어있는부품 ( 부품번호 ) 은발행시의것입니다 .
부품번호는예고없이변경될경우가있으므로 ,발주시에는반드시최신내용인지대리점에확인해주십시오 .
◼
YSM20R듀얼스테이지사양보수부품일람
사용부위 명칭 부품명칭 부품번호 비고 수량
HM 헤드유닛
헤드부밸브단품
이젝터
진공발생용밸브
VALVE KLF-M7152-00X
이젝터진공발생용밸브 10
*1
이젝터
파괴압발생용밸브
VALVE KLF-M7153-00X
10
*1
청소용블로우밸브
VALVE KLW-M7158-00X
1
*1
이젝터스페어
EJECTOR KLW-M7157-10X
1 헤드분의
밸브 & 이젝터유닛
10
*1
밸브주변파츠 이젝터BIT
BIT KLW-M7154-00X
10
*1
BIT캡
BIT CAP KLW-M7156-00X
이젝터비트용캡 10
*1
머플러
MUFFLER KLW-M715A-00X
BIT캡내의머플러 10
*1
필터캡
FILTER CAP KLW-M7155-00X
10
*1
버큠센서 버큠센서보드
VAC SENSOR BRD
ASSY
KHY-M4592-01X
1
*1
R 축동작부 R 축텐션풀리용샤프트
SHAF T2,TENSION KKE-M7126-00X
2
*1
R 축구동벨트
BELT1 KHY-M7131-00X
2
*1
R 축구동벨트
BELT2 KHY-M7132-00X
2
*1
R 축텐션풀리용샤프트
SHAF T1,TEN SI ON K V8-M7115 - 0 0X
4
*1
R 축텐션풀리용샤프트
SHAFT3,TENSION KKE-M7128-00X
2
*1
베어링
BEARING 90933-03J128
16
*1
서클립
CIRCLIP 99009-07800
2
*1
텐션풀리용와셔
WASHER PLAIN 92902-04200
6
*1
Z 축동작부 Z 축리니어모터
Z UNIT ASSY. KLW-M71G5-00X
10
*1
FM 헤드유닛
헤드부밸브단품
이젝터
진공발생용밸브
VALVE KLF-M7152-00X
이젝터진공발생용밸브 5
*1
이젝터
파괴압발생용밸브
VALVE KLF-M7153-00X
5
*1
청소용블로우밸브
VALVE KLW-M7158-00X
1
*1
이젝터스페어
EJECTOR KLW-M7157-10X
1 헤드분의
밸브 & 이젝터유닛
5
*1
밸브주변파츠 이젝터비트
BIT KLW-M7154-00X
5
*1
BIT캡
BIT CAP KLW-M7156-00X
이젝터비트용캡 5
*1
머플러
MUFFLER KLW-M715A-00X
BIT캡내의머플러 5
*1
필터캡
FILTER CAP KLW-M7155-00X
5
*1
버큠센서 버큠센서보드
VAC5 SENS BRD ASSY KHY-M4592-10X
1
*1
R 축동작부 R 축구동벨트
BELT KLW-M74RA-00X
5
*1
Z 축동작부 Z 축볼스크류
BALL SCREW KLW-M7421-00X
5
*1
Z 축가이드
GUIDE,Z KLW-M7425-00X
5
*1
노즐
스테이션
노즐스테이션
(HM/FM공통 )
ANC 셔터용실린더
CYL.ANC OP/CL ASSY KLW-M653S-00X
1
*2
ANC 센서보드
ANC CTRL BOARD
ASSY
KLW-M45BA-00X
1
*2
ANC 셔터구동밸브
VALVE KLW-M91V1-00X
1
*2
블로우스테이션 에어필터
FILTER,SPARE KGR-M9934-F0X
1
*3