YSM20R_YSM20WR_Mainte_K.pdf - 第36页

1-3 1 2. 유 지보 수 작업의 준비 본장에서 지 금 부터 설 명 하 는 작 업 내 용은 , 장비 의 성 능을 유 지 하기 위 해 사 용하는 도 중에 기 능이 서서 히 떨어 질 가능 성 이 있 는 부품 ( 소모 품 ) 등의 교환방법 을 중 심 으로 쓰여 있습 니 다 . 나 아 가 , 고 장 시 에 는 사 용 자 레 벨 에서 간단히 교환 가능한 부품에 대 해서 도 똑같이 설 명 합니다 . …

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1.2 정기적인 점검
청소중요
수를 , 당히 요소.
작업능이 , 우에 으로
가능.
예:
•
오염의해 자체잘못 인식미실발생한다 .
어경로의 더러흡착 , 에러발한다 .
피더 , 피더 플이트의 점검부족으로 흡착 에러다발한다 .
광학장치 ( 카메 , 조명 등 ) 더러의해 인식불량발생한다 .
축의 구리도포 부족으로 이상한 소리 ( ) 발생한다 .
등의 점검부족으로 기판고정반송실패한다 .
같이, 량을
므로 , 하여 하실 .
n
요점
이 효으로 실 , 권말에 점항목을 정검 체크시가 마어 있.
에 활해 주십 .
1.3 적절습도 관리의 중요
하는 주위관리 , 로가 로가
있습니다 .
사용 , 다음 항목주십 .
비를 기동하기 전에 , 주위 경의 온도도를 인한다 .
어컨이나 가습기 제습등을 용해서 술의 「1.1 필수조건 및 경조건」기재있는 조건용에 맞는
확인한 후 , 장비전원ON 한다 .
습기를 절하시킨다 .
가습기물은 불순물이 수를 용합니 .
분무우에는 , 장비보다 충높은 위치설치해서 , 장비의 표면방울이 착되도록
정합니다 .
요에 따 , 조정합니다 . 특히 습기많은 계절습기 , 주위환경의 도가 80% 초과할
으므로 , 따라 적절하게 조절해서 사용하 .
참고
불순물이 적은 순수는 , 일으로 전용 정기 처를 거친 물을 말합니.
( ) 의 불순물 양 , 전기 전도도(S/cm)로 관리가능 합.
인 수100 ~ 400 μS/cm
불순물이 적은 물 1 ~ 2 μS/cm
(정의 성능은 제조사에 따라 다릅.
c
주의
습기를사용할경우에는 ,수도물이나우물을사용하지마십시오 .
수도물 ,우물에는절연성을저하시키는나트륨과염소등의원소가비소량포함되어있으며 ,장비내부의회로고장을유발시키는
원인이됩니다 .
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2. 유지보작업의 준비
본장에서 부터 용은 , 장비능을 하기 용하는 중에 능이 서서떨어
가능부품 ( 소모 ) 등의 교환방법으로 쓰여 있습 . , 에서
간단히 교환 가능한 부품에 해서똑같이 합니다 .
2.1
다음으로 , 따라 .
2.1.1 HM 헤드 유닛
소모 ( 동봉품 )
소모품 (HM헤드)
동봉품
필터용 개스킷
이젝터용 필터
노즐 판스프링
고정나사
노즐 판스프링
노즐 유지력 강화용 판스프링
57100-KMK-00
명칭 품명칭 품번호 비고
노즐판스프링 LEAFSPRING KG7-M7137-A0X
노즐유지력강화용판스프링 PLATE,SPRING KGS-M714W-03X
노즐판스프링고정나사 SCREW,PANHEAD 90990-08J016
이젝터용필터 FILTER KLW-M8527-00X
필터용개스킷 GASKET KLW-M715B-00X
c
주의
본매뉴얼에기재되어있는부 ( 품번호 ) 은발행시의것입니 .
품번호는예고없이변경될경우가있으 ,발주시에는반드시최신내용인지대리점에확인해주십시오 .
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2.1.2 FM 헤드 유닛
소모 ( 동봉품 )
소모품 (FM헤드)
동봉품
이젝터용 필터
필터용 개스킷
노즐 판스프링
고정볼트
노즐 판스프링
57101-KMK-10
명칭 품명칭 품번호 비고
노즐판스프링 PLATE,SPRING KV7-M8171-00X
노즐판스프링고정볼트 BOLT,HEX.SOCKETHEAD 90990-01J057
이젝터용필터 FILTER KLW-M8527-00X
필터용개스킷 GASKET KLW-M715B-00X
c
주의
본매뉴얼에기재되어있는부 ( 품번호 ) 은발행시의것입니 .
품번호는예고없이변경될경우가있으 ,발주시에는반드시최신내용인지대리점에확인해주십시오 .