YSM20R_YSM20WR_Mainte_K.pdf - 第55页

2-4 2 1 . 1 . 1 노즐 해방시의 진 공레벨 하 기 의 표 에 서 나 타 내 는 수 치 는 , 진 공 압 을 이 용 한 수 치 입 니 다 . 에 어 원 과 환 경 에 따 라 서 수 치 가 다 소 달 라 지 므로 , 유 지 보 수 시 의 참 고 값 으로 서 사 용 하여 주십 시 오 . ■ 개방 상태규 격치일람 헤드타입 노즐 개방상태규 격치 비고 HM 헤드 Ty p e 3 0 …

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2
노즐막힘의 인방법 ([ 장치 ] -「헤드」탭 화면을 용한 )
기에「노즐막힘」이즐구멍에 솔더 등이 묻어서 , 부품이 불구하부압이 상승해 상태
말합니 . , 등의 원인있습니 . 즐막힘래의 순서대실행주십시
. Type302A 즐을 예로 들어서 노즐 막힘하는 방법대해합니다 .
n
요점
즐 막의 판정 기이 되즐 해의 진공레, 노의 타에 따라 다릅. Type302A 이의 노즐은 후
「1.1.1 즐 해의 진공레벨」을 참해 주십 .
1
노즐합니다 .
e
1. 비상정튼을 르고 , 안전커
. 드에 Type302A 노즐을
장착해 .
스테이션있는 장[ 즐변경 ]
튼을 눌러서 모든 헤드Type302A
착합니다 .
2. 이블을 전환해서 , AB 유닛
즐을 장착주십시 .
2
수치를 세트합니 .
[ 장치 ]-「헤화면을 열고 , 화면우측 하단의
[ 리세 ] 버튼눌러서 , 진공레벨의 치를
리세시켜 주십시 . 블을 전환해서 모든
테이블 실시합니다 .
3
부압을 발생시킵니다 .
[ 장치 ]-「헤」화에서 , 헤드의 [ 진공 ]
튼을 ON 하고 , 수치상승하면 5~10 후에
OFF 시켜 주 . 테이블을 전환해서
이블 실시합니다 .
4
수치를 인합니다 .
드의 자로 표시된「최대값」의
수치블을 전환해서 전부 확인해 주 .
확인한 수치60~110 이면 상범위 이내
. , 110 넘을 경우는 , 구멍이 더러
워져 있을 가으므로 3 「1.2 즐의
소」「1.2.2 노즐 어경참조
즐을 청소주십시 .
n
요점
즐을 청한 후에 상기 Step1~4 를 실도 정가 되지 않을 경우는, 스플라인 샤프트이 더져 있을 가능이 있
. 제 3 「5.1 스플인 샤프트부의 청를 참서 샤프의 내부를 청해 주십 .
부압확인
Step 4
58203-KMK-00
부압발생
Step 1~3
[노즐변경] 버튼
테이블 선택
[리세트] 버튼 [진공]버튼
58202-KMK-00
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2
1.1.1 노즐 해방시의 공레벨
, .
므로 , 으로하여 주십 .
■ 개방상태규격치일람
헤드타입 노즐 개방상태규격치 비고
HM 헤드
Typ e301A 150 ~190
표준노즐
Typ e302A 60 ~110
Type311A 150~190
협인접노즐Typ e312A 130~180
Typ e313A 40~80
Typ e303A/Type314A
*
40~80
표준
협인접공통노즐Typ e304A/Type315A
*
30~60
Typ e307A/Type318A
*
30~60
노즐없음 30~60
FM 헤드
Typ e301A 150 ~190
표준노즐
Typ e302A 60 ~110
Type311A 150~190
협인접노즐Typ e312A 130~180
Typ e313A 40~80
Typ e303A/Type314A
*
40~80
표준
협인접공통노즐Typ e304A/Type315A
*
10~40
Typ e307A/Type318A
*
10~40
노즐없음 10~40
n
요점
시 노즐은 다른 노즐에 비해 노즐 홀이 크기 때문에, ⁎시 노즐이 상의 규를 넘 , 헤의 에어 경
( 플라인 샤프트 등 ) 가 더져 있을 가능이 높습 .
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2
1.2 육안으확인하
으로 하는 , 드로즐을 확인하는 즐을
하는 2 .
노즐인할 때의 인트
즐을 보기 등으로 확대해확인합니 .
즐의 단부 , 또는 노즐 홀에 더러움이솔더의 부착이 있을 우는 , 즐의 소를 시해 주십시 .
노즐 선단부
노즐 구멍에 솔더가
부착되어 있다
노즐 선단(평면)에
솔더가 부착되어 있다
노즐 구멍
노즐상태의 확인 포인트
정상인 상태
NG 개구부가 막혀 있는 상태 NG 선단이 빛나고 있는 상태
57200-KMK-00
c
주의
상기의확인을한상태에서NG 라고판단된경우 ,노즐의개구부및선단부를청소해주십시오 .
청소방법에관해서는제 3 1.2노즐의청소 를참조해주십시오 .
로부터 인하방법
1. 노즐을 위치헤드이동시켜서 , 으로 노즐을 주십시 .
2. 확인 노즐청료되면 , 노즐주의해서 원위치에 팅합니 .
n
요점
더 간한 방 , 헤에 장어 있는 노즐을 거울 등으로 확인할 수 있 .
노즐 테이션에노즐인하
1. 모든 노즐을 스테이션수납합니다 .
2. 「장치」화면의 [ 노즐 STN 셔터 ] 버튼눌러서 , 즐을 탈착 능한 상합니다 .
3. 확인 노즐청료되면 , 노즐을 원위치에 되돌후에 [ 노즐 STN ] 튼을 누릅니 .