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3-53 3 e 4 W 축과 U 축의 각부 를 청소합 니다 . 1 . 비상정 지 버 튼을 누르고 , 장 비 의 안전커 버 를 오픈합 니다 . 2. 대 차사양의 경 우는 , 대차를 탈착합니 다 . 3. 손목시 계 , 자기 I D 카드 등 , 자 력에 영향을 받는 물건 은 전부 빼 둡니 다 . 4. 먼 지 가 나지 않는 와이퍼 등 으로 , W 축 및 U 축 의 볼스크 류 (8 개 ) , 가 이 …
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5.3 W 축의 청소와 급유
약 1 년을 기준으로 , W 축 및 U 축 (YSM20 듀얼 스테이지 사양의 경우 ) 의 볼스크류, 가이드 , 6 각 스플라인
의 청소와 급유가 필요합니다. 급유개소와 급유형태에 관해서는 ,「제 5 장 급유개소 일람」을 참조해 주십시오 .
또한 , 듀얼 스테이지 , 듀얼레인 , 싱글레인은 사양에 따라 급유순서가 다르므로 , 각 사양별로 청소와 급유방법에
대해서 설명합니다.
5.3.1 YSM20 듀얼 스테이지의 W/U 축의 청소와 급유
여기에서는, YSM20 듀얼 스테이지 사양의 W 축과 U 축의 청소와 급유방법에 대해서 설명합니다.
1
임의의 기판 데이터를 로딩합니다 .
참고
기판 데이터를 읽으면 , 스테이지1, 스테이지 2 양쪽의 푸쉬업
유닛을 작동할 수가 있습니다.
2
컨베이어를 최소폭으로 합니다 .
1. [ 장치 ]-「컨베이어」화면의「컨베이어폭」버
튼을 눌러서「컨베이어폭」화면을 표시합니다 .
2. 「변경후의 컨베이어폭」에「50mm」를 입력하
고 [OK] 버튼을 누릅니다 .
컨베이어 폭이 지정된 폭으로 변경됩니다 .
3
푸쉬업 유닛을 상승시킵니다 .
1. [ 푸쉬업 ] 버튼을 눌러서「컨베이어 푸쉬업」
화면을 표시합니다 .
2. 「두께」에「0.1mm」를 입력하고 [OK] 버튼을
눌러 주십시오 . 푸쉬업 유닛이 상승합니다 .
3. 상기의 순서대로 , 푸쉬업 유닛을 스테이지 1
과 스테이지 2 양쪽다 상승시켜 주십시오 .
n
요점
Step1 에서 선택한 기판 데이터의 기판사이즈 X 가 380mm 를
넘을 경우에는 , 상류측의 [ 푸쉬업 ] 버튼은 비활성화되어 있습
니다. 하류측의 푸쉬업 유닛을 상승시키면 , 연동해서 상류측
푸쉬업 유닛도 상승합니다.
n
요점
푸쉬업 유닛을 상승시키면 , U 축의 가이드와 볼스크류에 접근
하기 쉬워집니다 .
푸쉬업 유닛의 상승
Step 3
스테이지 1
[푸쉬업] 버튼
「0.1mm」 를 입력
스테이지 2
[푸쉬업] 버튼
58308-N2-00
컨베이어를 최소폭으로 한다
Step 2
[컨베이어폭] 버튼 「50mm」을 입력
58307-N2-00
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e
4
W 축과 U 축의 각부를 청소합니다 .
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전커버를
오픈합니다 .
2. 대차사양의 경우는 , 대차를 탈착합니다 .
3. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을
받는 물건은 전부 빼 둡니다 .
4. 먼지가 나지 않는 와이퍼 등으로 , W 축 및 U
축의 볼스크류 (8 개 ), 가이드 (6 개 ), 6 각
스플라인 (4 개 ) 전체의 오래된 구리스나 더러
움을 닦아 주십시오 .
n
요점
청소 작업시에는 , 볼스크류의 리드 홈과 가이드 레일의 홈을
정성껏 닦아 주십시오 . 또한 , 이물질의 발생 여부도 확인해
주십시오 .
n
요점
볼스크류, 가이드 , 6 각 스플라인의 장소와 수량에 대해서는 ,
「제 5 장 급유개소 일람」을 참조해 주십시오 .
5
컨베이어를 최대폭으로 합니다 .
1. 장비의 안전커버를 닫고 , 비상정지를 해제합
니다 . 대차사양의 경우는 대차를 장착합니다 .
2. [ 컨베이어폭 ] 버튼을 눌러서 ,「컨베이어폭」
화면을 표시합니다 .
3. 「변경후의 컨베이어폭」에 듀얼 스테이지 사양
의 최대 컨베이어폭인「490mm」를 입력하고 ,
[OK] 버튼을 눌러 주십시오 . 컨베이어폭이 지
정된 폭으로 변경됩니다 .
참고
컨베이어폭을 변경하면 , 자동적으로 푸쉬업 유닛이 하강합니
다.
6
푸쉬업 유닛을 상승시킵니다 .
Step3 과 같은식으로 푸쉬업 유닛을 상승시켜
주십시오 .
e
7
나머지 부분을 청소합니다 .
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전커버를
오픈합니다 .
2. 대차 사양의 경우는 , 대차를 탈착합니다 .
3. Step4 에서 청소한 나머지 다른 부분을 먼지
가 나지 않는 와이퍼로 닦아냅니다 .
W축과 U축의 청소2
Step 7
남은 다른 부분을 닦아낸다
57355-N2-00
컨베이어 폭의 입력
Step 5
[컨베이어폭] 버튼 「490mm」을 입력
58309-N2-00
W축과 U축의 청소
Step 4
57350-N2-10
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3
8
구리스를 도포합니다 .
보호장갑을 낀 손에 지정 구리스(NSL)를 묻혀서,
6 각 스플라인의 표면과 볼스크류의 표면 및 홈부
분에 구리스를 골고루 도포해 주십시오 .
9
가이드에 구리스를 주입합니다 .
가이드에는 구리스건을 사용해서 급유합니다 .
구리스건 ( 굽은타입 노즐 ) 을 사용해서 , 가이드의
구리스 니플로부터 지정 구리스 (NSL) 를 주입합
니다 .
또한 , W2 축 , W3 축의 앞쪽 구리스 니플 (4 군데 )
은 , 후술의 Step14 에서 급유합니다 .
n
요점
새로운 구리스가 틈새로 부터 스며나올 때까지 급유합니다.
n
요점
가이드의 구리스 니플의 위치 및 수량에 대해서는 ,「제 5 장
급유개소 일람」을 참조해 주십시오 .
가이드의 급유
Step 9
구리스 니플
구리스건 (30°굽은타입 노즐)
<구리스 니플의 위치>
구리스 니플
리니어 가이드 블록
가이드
r에서 급유
W1W2W3
W4
57357-N2-00
볼스크류와 6각 스플라인의 급유
Step 8
구리스 (균일하게 도포)
57356-N2-00