YSM20_YSM20W_Mainte_K.pdf - 第50页

2-2 2 1 . 노 즐 상 태의 확 인 노 즐 선 단 에 솔더가 묻어 있 거 나 , 노즐구멍 이 막 혀 있 으 면 흡착 에 러 와 인 식 에 러 가 발생 하는 경우 가 있 습니 다 . 또 한 , 노즐 의 탄성동작이 둔해 지 면 흡장 착 에러 의 원 인 이 됩 니 다 . 이 러 한 트러 블을 막 기 위 해 , 각 노 즐을 정 기 적 으로 점 검 하 고 청 소 하 여 주십시 오 . 1 . 1 …

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2
반적으로 끄고 실행합니 .
, 따라서전원넣은 채 상정지 상태에서 습니 .
, 충분히 안전확인비상정튼을 누른 , 하여 주십 .
나아가 , 용에 따라 동작 확인우에 전원해서 작습니 .
우에충분안전하고 작주십 .
, 장비우에다음 충족시주십 .
동작조건
1. 공급압 .
2. 안전커버있을 것 .
3. 일괄교환 대차를 장착 , 대차클램 .
4. 노즐 , 정상상태팅되 .
n
요점
의 작업서 등에 기어 있「비지 상를 해」한다는 것 , 오션 패「EMERGENCY STOP
을 오으로 돌려서 비지 상를 해「READY」버튼을 눌서 서 ON 상로 한다는 의.
헤드부유지보수에 대해
2 빔의 경우 , 드유근하수월앞쪽 (A ) 헤드유닛으로 , (B ) 헤드유닛
앞쪽으로 동시켜서 작업합니 .
헤드 유닛부
2빔 사양 (전후 HM헤드의 예)
헤드유닛의 유지보수 포인트
장비정면
<뒤쪽의 헤드를 작업할 경우> <앞쪽의 헤드를 작업할 경우>
장비정면
헤드유닛의 이동
헤드유닛의 이동
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n
요점
을 이킬 경우는 ,의 [ 동 앞 ] 또는 [ 동 뒤 ] 튼을 눌서 이면 편합니.
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1. 태의
솔더가 묻어 , 노즐구멍흡착발생하는 경우습니 .
, 노즐탄성동작이 둔해흡장에러 . 트러블을 , 즐을
으로 주십시 .
1.1 트웨어
노즐오염의 확인방 ([ 노즐선단오염 ] 버튼 )
기에「노즐」이 , 노즐 선단에 솔더 등이 어서 빛이 나는 말하 , 이로 인해 나는
부품으로 잘못 식해 버리원인니다 .「노즐선염체」는 , 부품이 없는 상태에노즐 선카메라
함으로서 , 노즐오염 정도판단하능입니다 .
n
요점
「노즐선단 오」는 노즐 중심의 빛의 반사를 인하는 기능이므로 , 해당 노즐은 301A, 302A, 311A 등 선단이 작
즐이 대상이 됩 .
n
요점
즐 사양은 장에 따라 다르므로 , 추가설이 필할 경
가 있. 상한 설에 관해 , 야로 문
십시오 .
1
노즐교환합니다 .
스테이션우는 , 같이 수동
으로 즐을 교환해 주십시 .
1. 「셋업화면의 [ 노즐 ] 버튼눌러서 ,
생산에 노즐을 확합니 .
e
2. 상정지 버튼을 누르고 , 안전커
오픈합니다 .
3. 즐을 헤드장착합니 .
4. 커버 , 비상정해제 .
n
요점
즐 스이 있을 경 , Step1은 생략합.
2
[ 노즐선단 오염체크 ] 버튼누릅니다 .
「셋업」화면의 [ 즐선오염 ] 버튼을 눌러
십시오 .
3
실행할 내용택합니다 .
메시내용을 확인하고 , 튼을
주십시 .
[ ] 택한 경우
자동 즐체실행즐을
인합니다 .
[ 니오 ] 선택한 경우
현재 헤드장착되있는 노즐중에서 상이
즐을 합니 .
4
시지를 확인합니다 .
즐선오염실행하고 , 메시확인해
「NG」일 우는 , 3 「1.2 노즐청소
참조해서 노즐을 청소주십시 .
실행내용의 선택
Step 3
[아니오]의 경우
해당버튼 선택
58201-N2-00
[노즐선단 오염체크] 버튼을 누른다
Step 2
[노즐선단 오염체크] 버튼
58200-N2-10
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2
노즐막힘확인방 ([ 장치 ] -「헤드」탭 화면을 한다 )
기에「노즐막힘」이노즐구멍솔더 등이 어서 , 부품이 음에도 불구하압이 상승해 버리상태
말합니 . 결과 , 미실등의 가능성이 있습 . 노즐막힘의 확아래의 순서주십시
. 다음과 같이 Type302A 노즐을 들어서 막힘확인하는 해서 합니 .
n
요점
즐 막의 판정 기준이 되즐 해의 진공레 , 노의 타에 따라 다릅. Type302A 이의 노은 후
「1.1.1 즐 해의 진공레벨」을 참해 주십 .
1
노즐합니다 .
e
1. 비상정튼을 누르고 , 장안전커
합니 . 드에 Type302A 즐을
장착해 .
스테이션장비[ 즐변 ]
튼을 눌러서 모든 헤드Type302A 즐을
착합니다 .
2. 블을 전환해 , AB 닛에
즐을 장착주십시 .
2
수치를 세트합니 .
[ 장치 ]-「헤드화면을 열고 , 우측 하단
[ 리세 ] 튼을 눌러서 , 공레벨의 수치
리세주십시 . 테이환해서
테이블 실시합니다 .
3
부압을 발생시킵니다 .
[ 장치 ]-「헤드」화에서 , 드의 [ ]
튼을 ON , 치가 상승하5~10 후에
OFF 주십시 . 이블을 환해서
이블 실시합니다 .
4
수치를 인합니다 .
드의 표시된「최대값」의
수치테이환해서 확인해 주십시 .
확인한 수치60~110 이면 정상범위
. 만약 , 110 우는 , 노즐 구멍이
워져 있을 가으므로 3 「1.2 노즐
소」「1.2.2 에어로의 청소참조
즐을 청소주십시 .
n
요점
즐을 청한 후에 상기 Step1~4 를 실도 정가 되지 않을 경우는 , 스인 샤프트안이 더져 있을 가능이 있
. 제 3 「5.1 스라인 샤프트의 청를 참서 샤프의 내부를 청해 주십 .
부압확인
Step 4
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부압발생
Step 1~3
[노즐변경] 버튼
테이블 선택
[리세트] 버튼 [진공]버튼
58202-N2-00